AR වීදුරු සඳහා අඟල් 12 4H-SiC වේෆර්

ලක්ෂණ ප්‍රතිඵලවලින් පෙන්නුම් කරන්නේ අඟල් 12 සන්නායක 4H-SiC උපස්ථරය තීරණාත්මක පරාමිතීන් හරහා ශක්තිමත් ද්‍රව්‍යමය ගුණාත්මක භාවයක් පෙන්නුම් කරන බවයි:

(1) බහුරූපී සංශුද්ධතාවය සහ ඒකාකාරිත්වය

• රාමන් ප්‍රදේශ සිතියම්කරණය පෙන්වයි100% 4H-SiC පොලිටයිප් ආවරණයඋපස්ථරය පුරා.

• අනෙකුත් බහුවර්ග (උදා: 6H හෝ 15R) ඇතුළත් කිරීමක් අනාවරණය වී නොමැති අතර, එය අඟල් 12 පරිමාණයෙන් විශිෂ්ට බහුවර්ග පාලනයක් පෙන්නුම් කරයි.

(2) ක්ෂුද්‍ර නල ඝනත්වය (MPD)

• වේෆර්-පරිමාණ අන්වීක්ෂ සිතියම්ගත කිරීම මඟින් පෙන්නුම් කරන්නේ aක්ෂුද්‍ර පයිප්ප ඝනත්වය < 0.01 cm⁻², මෙම උපාංග සීමා කිරීමේ දෝෂ කාණ්ඩයේ ඵලදායී මර්දනය පිළිබිඹු කරයි.

(3) විද්‍යුත් ප්‍රතිරෝධකතාව සහ ඒකාකාරිත්වය

• ස්පර්ශ නොවන ප්‍රතිරෝධකතා සිතියම්ගත කිරීම (ලක්ෂ්‍ය 361 මිනුම) පෙන්වන්නේ:

  • ප්‍රතිරෝධක පරාසය:20.5–23.6 mΩ·සෙ.මී.

  • සාමාන්‍ය ප්‍රතිරෝධකතාව:22.8 mΩ·සෙ.මී.

  • අසමානතාවය:< 2%
    මෙම ප්‍රතිඵල මගින් හොඳ මාත්‍රක සංස්ථාපන අනුකූලතාවයක් සහ වාසිදායක වේෆර් පරිමාණ විද්‍යුත් ඒකාකාරිත්වයක් පෙන්නුම් කරයි.

(4) ස්ඵටිකරූපී ගුණාත්මකභාවය (HRXRD)

• HRXRD රොකිං වක්‍ර මිනුම් මත(004) පරාවර්තනය, ගන්නා ලද්දේලකුණු පහක්වේෆර් විෂ්කම්භය දිශාව ඔස්සේ, පෙන්වන්න:

  • බහු-උච්ච හැසිරීම් නොමැතිව තනි, ආසන්න-සමමිතික මුදුන්, අඩු-කෝණ ධාන්‍ය මායිම් ලක්ෂණ නොමැති බව යෝජනා කරයි.

  • සාමාන්‍ය FWHM:20.8 චාප තත්පර (″), ඉහළ ස්ඵටිකරූපී ගුණත්වය පෙන්නුම් කරයි.

(5) ඉස්කුරුප්පු විස්ථාපන ඝනත්වය (TSD)

• තෝරාගත් කැටයම් කිරීම සහ ස්වයංක්‍රීය ස්කෑන් කිරීමෙන් පසුව,ඉස්කුරුප්පු විස්ථාපන ඝනත්වයමනිනු ලබන්නේ2 සෙ.මී⁻², අඟල් 12 පරිමාණයෙන් අඩු TSD පෙන්නුම් කරයි.

ඉහත ප්‍රතිඵලවලින් නිගමනය:
උපස්ථරය පෙන්නුම් කරන්නේවිශිෂ්ට 4H පොලිටයිප් සංශුද්ධතාවය, අතිශය අඩු ක්ෂුද්‍ර පයිප්ප ඝනත්වය, ස්ථායී සහ ඒකාකාර අඩු ප්‍රතිරෝධකතාව, ශක්තිමත් ස්ඵටිකරූපී ගුණාත්මකභාවය සහ අඩු ඉස්කුරුප්පු විස්ථාපන ඝනත්වය, උසස් උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා එහි යෝග්‍යතාවයට සහාය වීම.