අඟල් 12 SIC උපස්ථර සිලිකන් කාබයිඩ් ප්‍රයිම් ශ්‍රේණියේ විෂ්කම්භය 300mm විශාල ප්‍රමාණය 4H-N අධි බල උපාංග තාපය විසුරුවා හැරීම සඳහා සුදුසු වේ

අඟල් 12 SIC උපස්ථරය සිලිකන් කාබයිඩ් ප්‍රයිම් ශ්‍රේණියේ විෂ්කම්භය 300mm විශාල ප්‍රමාණය 4H-N අධි බලැති උපාංග තාපය විසුරුවා හැරීම සඳහා සුදුසු වේ විශේෂාංගගත රූපය

කෙටි විස්තරය:

අඟල් 12 සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරයක් (SiC උපස්ථරයක්) යනු සිලිකන් කාබයිඩ් තනි ස්ඵටිකයකින් සාදන ලද විශාල ප්‍රමාණයේ, ඉහළ ක්‍රියාකාරී අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය උපස්ථරයකි. සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) යනු විශිෂ්ට විද්‍යුත්, තාප සහ යාන්ත්‍රික ගුණ සහිත පුළුල් කලාප පරතරය සහිත අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍යයක් වන අතර එය අධි බල, අධි සංඛ්‍යාත සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරවල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා බහුලව භාවිතා වේ. අඟල් 12 (මි.මී. 300) උපස්ථරය සිලිකන් කාබයිඩ් තාක්ෂණයේ වර්තමාන උසස් පිරිවිතරය වන අතර එමඟින් නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සැලකිය යුතු ලෙස වැඩිදියුණු කළ හැකි අතර පිරිවැය අඩු කළ හැකිය.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

නිෂ්පාදන ලක්ෂණ

1. ඉහළ තාප සන්නායකතාවය: සිලිකන් කාබයිඩ් වල තාප සන්නායකතාවය සිලිකන් වලට වඩා 3 ගුණයකට වඩා වැඩි වන අතර එය අධි බලැති උපාංග තාපය විසුරුවා හැරීම සඳහා සුදුසු වේ.

2. ඉහළ බිඳවැටීමේ ක්ෂේත්‍ර ශක්තිය: බිඳවැටීමේ ක්ෂේත්‍ර ශක්තිය සිලිකන් මෙන් 10 ගුණයක් වන අතර එය අධි පීඩන යෙදුම් සඳහා සුදුසු වේ.

3.පුළුල් කලාප පරතරය: කලාප පරතරය 3.26eV (4H-SiC), ඉහළ උෂ්ණත්ව සහ ඉහළ සංඛ්‍යාත යෙදුම් සඳහා සුදුසු වේ.

4. ඉහළ දෘඪතාව: මෝස් දෘඪතාව 9.2 කි, දියමන්ති වලට පමණක් දෙවැනි වේ, විශිෂ්ට ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධයක් සහ යාන්ත්‍රික ශක්තියක් ඇත.

5. රසායනික ස්ථායිතාව: ශක්තිමත් විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, ඉහළ උෂ්ණත්වයේ සහ කටුක පරිසරයේ ස්ථාවර ක්‍රියාකාරිත්වය.

6. විශාල ප්‍රමාණය: අඟල් 12 (මි.මී. 300) උපස්ථරය, නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම, ඒකක පිරිවැය අඩු කිරීම.

7.අඩු දෝෂ ඝනත්වය: අඩු දෝෂ ඝනත්වය සහ ඉහළ අනුකූලතාව සහතික කිරීම සඳහා උසස් තත්ත්වයේ තනි ස්ඵටික වර්ධන තාක්ෂණය.

නිෂ්පාදන ප්‍රධාන යෙදුම් දිශාව

1. බල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ:

මොස්ෆෙට්: විදුලි වාහන, කාර්මික මෝටර් ධාවක සහ බල පරිවර්තකවල භාවිතා වේ.

ඩයෝඩ: කාර්යක්ෂම නිවැරදි කිරීම සහ බල සැපයුම් මාරු කිරීම සඳහා භාවිතා කරන ෂොට්කි ඩයෝඩ (SBD) වැනි.

2. Rf උපාංග:

Rf බල ඇම්ප්ලිෆයර්: 5G සන්නිවේදන මූලික මධ්‍යස්ථාන සහ චන්ද්‍රිකා සන්නිවේදනයන්හි භාවිතා වේ.

ක්ෂුද්‍ර තරංග උපාංග: රේඩාර් සහ රැහැන් රහිත සන්නිවේදන පද්ධති සඳහා සුදුසු වේ.

3. නව බලශක්ති වාහන:

විදුලි ධාවක පද්ධති: විදුලි වාහන සඳහා මෝටර් පාලක සහ ඉන්වර්ටර්.

ආරෝපණ ගොඩ: වේගවත් ආරෝපණ උපකරණ සඳහා බල මොඩියුලය.

4. කාර්මික යෙදුම්:

අධි වෝල්ටීයතා ඉන්වර්ටර්: කාර්මික මෝටර් පාලනය සහ බලශක්ති කළමනාකරණය සඳහා.

ස්මාර්ට් ජාලකය: HVDC සම්ප්‍රේෂණ සහ බල ඉලෙක්ට්‍රොනික ට්‍රාන්ස්ෆෝමර් සඳහා.

5. අභ්‍යවකාශය:

ඉහළ උෂ්ණත්ව ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ: අභ්‍යවකාශ උපකරණවල ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයන් සඳහා සුදුසු වේ.

6. පර්යේෂණ ක්ෂේත්‍රය:

පුළුල් කලාප පරතරය අර්ධ සන්නායක පර්යේෂණ: නව අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය සහ උපාංග සංවර්ධනය සඳහා.

අඟල් 12 සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරය යනු ඉහළ තාප සන්නායකතාවය, ඉහළ බිඳවැටීමේ ක්ෂේත්‍ර ශක්තිය සහ පුළුල් කලාප පරතරය වැනි විශිෂ්ට ගුණාංග සහිත ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය උපස්ථරයකි. එය බල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, ගුවන් විදුලි සංඛ්‍යාත උපාංග, නව බලශක්ති වාහන, කාර්මික පාලනය සහ අභ්‍යවකාශ යන ක්ෂේත්‍රවල බහුලව භාවිතා වන අතර ඊළඟ පරම්පරාවේ කාර්යක්ෂම සහ අධි බලැති ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සංවර්ධනය ප්‍රවර්ධනය කිරීම සඳහා ප්‍රධාන ද්‍රව්‍යයකි.

සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරවලට දැනට AR වීදුරු වැනි පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණවල සෘජු යෙදුම් අඩු වුවද, කාර්යක්ෂම බල කළමනාකරණය සහ කුඩා ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණවල ඒවායේ විභවය අනාගත AR/VR උපාංග සඳහා සැහැල්ලු, ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත බල සැපයුම් විසඳුම් සඳහා සහාය විය හැකිය. වර්තමානයේ, සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරයේ ප්‍රධාන සංවර්ධනය නව බලශක්ති වාහන, සන්නිවේදන යටිතල පහසුකම් සහ කාර්මික ස්වයංක්‍රීයකරණය වැනි කාර්මික ක්ෂේත්‍රවල සංකේන්ද්‍රණය වී ඇති අතර අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය වඩාත් කාර්යක්ෂම හා විශ්වාසදායක දිශාවකට සංවර්ධනය කිරීමට ප්‍රවර්ධනය කරයි.

XKH උසස් තත්ත්වයේ 12" SIC උපස්ථර පුළුල් තාක්ෂණික සහාය සහ සේවාවන් සමඟ සැපයීමට කැපවී සිටී, ඒවා අතර:

1. අභිරුචිකරණය කළ නිෂ්පාදනය: පාරිභෝගික අවශ්‍යතා අනුව විවිධ ප්‍රතිරෝධකතාව, ස්ඵටික දිශානතිය සහ මතුපිට ප්‍රතිකාර උපස්ථරය සැපයීමට සිදුවේ.

2. ක්‍රියාවලි ප්‍රශස්තිකරණය: නිෂ්පාදන කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා එපිටැක්සියල් වර්ධනය, උපාංග නිෂ්පාදනය සහ අනෙකුත් ක්‍රියාවලීන් සඳහා තාක්ෂණික සහාය පාරිභෝගිකයින්ට ලබා දීම.

3. පරීක්ෂණ සහ සහතික කිරීම: උපස්ථරය කර්මාන්ත ප්‍රමිතීන්ට අනුකූල වන බව සහතික කිරීම සඳහා දැඩි දෝෂ හඳුනාගැනීම සහ තත්ත්ව සහතික කිරීම ලබා දීම.

4. පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන සහයෝගීතාව: තාක්ෂණික නවෝත්පාදනයන් ප්‍රවර්ධනය කිරීම සඳහා ගනුදෙනුකරුවන් සමඟ ඒකාබද්ධව නව සිලිකන් කාබයිඩ් උපාංග සංවර්ධනය කිරීම.

දත්ත ප්‍රස්තාරය

අඟල් 1 2 සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) උපස්ථර පිරිවිතර
ශ්‍රේණිය		ZeroMPD නිෂ්පාදනය ශ්‍රේණිය (Z ශ්‍රේණිය)	සම්මත නිෂ්පාදනය ශ්‍රේණිය (P ශ්‍රේණිය)		ඩමී ශ්‍රේණිය (ඩී ශ්‍රේණිය)
විෂ්කම්භය		3 0 0 මි.මී.~305 මි.මී.
ඝනකම	4එච්-එන්	750μm±15μm	750μm±25μm
	4H-SI	750μm±15μm	750μm±25μm
වේෆර් දිශානතිය		4H-N සඳහා අක්ෂයෙන් පිටත: 4.0° <1120 >±0.5° දෙසට, 4H-SI සඳහා අක්ෂය මත: <0001> 4H-SI සඳහා ±0.5°
ක්ෂුද්‍ර පයිප්ප ඝනත්වය	4එච්-එන්	≤0.4සෙ.මී.-2	≤4සෙ.මී.-2		≤25සෙ.මී.-2
	4H-SI	≤5සෙ.මී.-2	≤10සෙ.මී.-2		≤25සෙ.මී.-2
ප්‍රතිරෝධකතාව	4එච්-එන්	0.015~0.024 Ω·සෙ.මී.			0.015~0.028 Ω·සෙ.මී.
	4H-SI	≥1E10 Ω·සෙ.මී.			≥1E5 Ω·සෙ.මී.
ප්‍රාථමික පැතලි දිශානතිය		{10-10} ±5.0°
ප්‍රාථමික පැතලි දිග	4එච්-එන්	අදාළ නොවේ
	4H-SI	නොච්
දාර බැහැර කිරීම		3 මි.මී.
LTV/TTV/දුන්න/වෝර්ප්		≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm			≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm
රළුබව		පෝලන්ත Ra≤1 nm
		CMP Ra≤0.2 nm			Ra≤0.5 nm
අධි තීව්‍රතා ආලෝකය නිසා දාර ඉරිතැලීම් අධි තීව්‍රතා ආලෝකයෙන් හෙක්ස් තහඩු ඉහළ තීව්‍රතා ආලෝකය අනුව බහු-වර්ගයේ ප්‍රදේශ දෘශ්‍ය කාබන් ඇතුළත් කිරීම් අධි තීව්‍රතා ආලෝකයෙන් සිලිකන් මතුපිට සීරීම්		කිසිවක් නැත සමුච්චිත ප්‍රදේශය ≤0.05% කිසිවක් නැත සමුච්චිත ප්‍රදේශය ≤0.05% කිසිවක් නැත			සමුච්චිත දිග ≤ 20 මි.මී., තනි දිග ≤ 2 මි.මී. සමුච්චිත ප්‍රදේශය ≤0.1% සමුච්චිත ප්‍රදේශය≤3% සමුච්චිත ප්‍රදේශය ≤3% සමුච්චිත දිග≤1×වේෆර් විෂ්කම්භය
අධි තීව්‍රතා ආලෝකයෙන් එජ් චිප්ස්		පළල සහ ගැඹුර ≥0.2mm ට අවසර නැත.			7 ක් අවසර දී ඇත, ≤1 මි.මී. බැගින්
(TSD) නූල් දැමීමේ ඉස්කුරුප්පු විස්ථාපනය		≤500 සෙ.මී.-2		අදාළ නොවේ
(BPD) පාදක තල විස්ථාපනය		≤1000 සෙ.මී.-2		අදාළ නොවේ
අධි තීව්‍රතා ආලෝකයෙන් සිලිකන් මතුපිට දූෂණය		කිසිවක් නැත
ඇසුරුම්කරණය		බහු වේෆර් කැසට් හෝ තනි වේෆර් බහාලුමක්
සටහන්:
1 දාර බැහැර කිරීමේ ප්‍රදේශය හැර, දෝෂ සීමාවන් මුළු වේෆර් මතුපිටටම අදාළ වේ. 2 සීරීම් පරීක්ෂා කළ යුත්තේ Si මුහුණේ පමණි. 3 විස්ථාපනය පිළිබඳ දත්ත KOH කැටයම් කළ වේෆර් වලින් පමණි.

විශාල ප්‍රමාණයේ, අඩු දෝෂ සහිත සහ ඉහළ අනුකූලතාවයකින් යුත් අඟල් 12 සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරවල ඉදිරි ගමන ප්‍රවර්ධනය කිරීම සඳහා XKH පර්යේෂණ සහ සංවර්ධනය සඳහා ආයෝජනය කිරීම දිගටම කරගෙන යනු ඇති අතර, XKH පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ (AR/VR උපාංග සඳහා බල මොඩියුල වැනි) සහ ක්වොන්ටම් පරිගණනය වැනි නැගී එන ක්ෂේත්‍රවල එහි යෙදුම් ගවේෂණය කරයි. පිරිවැය අඩු කිරීමෙන් සහ ධාරිතාව වැඩි කිරීමෙන්, XKH අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයට සමෘද්ධිය ගෙන එනු ඇත.