අඟල් 12 (මි.මී. 300) ඉදිරිපස විවෘත නැව් පෙට්ටිය FOSB වේෆර් වාහක පෙට්ටිය වේෆර් හැසිරවීම සහ නැව්ගත කිරීම සඳහා 25pcs ධාරිතාව ස්වයංක්‍රීය මෙහෙයුම්
මූලික ලක්ෂණ
| විශේෂාංගය | විස්තර |
| වේෆර් ධාරිතාව | තව් 25ක්300mm වේෆර් සඳහා, වේෆර් ප්‍රවාහනය සහ ගබඩා කිරීම සඳහා ඉහළ ඝනත්ව විසඳුමක් ලබා දෙයි. |
| අනුකූලතාව | සම්පූර්ණයෙන්මඅර්ධ/FIMSසහඒඑම්එච්එස්අනුකූලතාවය, අර්ධ සන්නායක ෆැබ් වල ස්වයංක්‍රීය ද්‍රව්‍ය හැසිරවීමේ පද්ධති සමඟ අනුකූලතාව සහතික කිරීම. |
| ස්වයංක්‍රීය මෙහෙයුම් | නිර්මාණය කර ඇත්තේස්වයංක්‍රීය හැසිරවීම, මිනිස් අන්තර්ක්‍රියා අඩු කිරීම සහ දූෂණ අවදානම අවම කිරීම. |
| අතින් හැසිරවීමේ විකල්පය | මිනිස් මැදිහත්වීමක් අවශ්‍ය අවස්ථාවන්හිදී හෝ ස්වයංක්‍රීය නොවන ක්‍රියාවලීන්හිදී අතින් ප්‍රවේශ වීමේ නම්‍යශීලීභාවය ලබා දෙයි. |
| ද්‍රව්‍ය සංයුතිය | සාදන ලද්දේඅතිශය පිරිසිදු, අඩු වායු විමෝචන ද්‍රව්‍ය, අංශු උත්පාදනය හා දූෂණය වීමේ අවදානම අඩු කිරීම. |
| වේෆර් රඳවා ගැනීමේ පද්ධතිය | උසස්වේෆර් රඳවා ගැනීමේ පද්ධතියප්‍රවාහනයේදී වේෆර් චලනය වීමේ අවදානම අවම කරයි, වේෆර් ආරක්ෂිතව ස්ථානයේ පවතින බව සහතික කරයි. |
| පිරිසිදුකම නිර්මාණය | අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා අවශ්‍ය ඉහළ ප්‍රමිතීන් පවත්වා ගනිමින් අංශු උත්පාදනය හා දූෂණය වීමේ අවදානම අවම කිරීම සඳහා විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත. |
| කල්පැවැත්ම සහ ශක්තිය | ප්‍රවාහනයේ දැඩි අවශ්‍යතාවන්ට ඔරොත්තු දෙන අතරම වාහකයේ ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා ඉහළ ශක්තියකින් යුත් ද්‍රව්‍ය වලින් ගොඩනගා ඇත. |
| අභිරුචිකරණය | දීමනාඅභිරුචිකරණ විකල්පවිවිධ වේෆර් ප්‍රමාණ හෝ ප්‍රවාහන අවශ්‍යතා සඳහා, ගනුදෙනුකරුවන්ට ඔවුන්ගේ අවශ්‍යතාවලට අනුව පෙට්ටිය සකස් කර ගැනීමට ඉඩ සලසයි. |
විස්තරාත්මක විශේෂාංග
300mm වේෆර් සඳහා 25-තව් ධාරිතාව
eFOSB වේෆර් වාහකය 300mm වේෆර් 25ක් දක්වා ඉඩ සැලසීමට නිර්මාණය කර ඇති අතර, ආරක්ෂිත වේෆර් ස්ථානගත කිරීම සහතික කිරීම සඳහා සෑම ස්ලට් එකක්ම නිශ්චිතව පරතරයකින් තබා ඇත. මෙම සැලසුම මඟින් වේෆර් අතර සම්බන්ධතා වළක්වමින් වේෆර් කාර්යක්ෂමව ගොඩගැසීමට ඉඩ සලසයි, එමඟින් සීරීම්, දූෂණය හෝ යාන්ත්‍රික හානි අවදානම අඩු කරයි.
ස්වයංක්‍රීය හැසිරවීම
eFOSB පෙට්ටිය ස්වයංක්‍රීය ද්‍රව්‍ය හැසිරවීමේ පද්ධති (AMHS) සමඟ භාවිතා කිරීම සඳහා ප්‍රශස්තිකරණය කර ඇති අතර එමඟින් වේෆර් චලනය විධිමත් කිරීමට සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ප්‍රතිදානය වැඩි කිරීමට උපකාරී වේ. ක්‍රියාවලිය ස්වයංක්‍රීය කිරීමෙන්, දූෂණය හෝ හානි වැනි මිනිස් හැසිරවීම හා සම්බන්ධ අවදානම් සැලකිය යුතු ලෙස අවම වේ. eFOSB පෙට්ටියේ සැලසුම මඟින් එය තිරස් සහ සිරස් දිශානතිය යන දෙකෙහිම ස්වයංක්‍රීයව හැසිරවිය හැකි බව සහතික කරයි, සුමට හා විශ්වාසදායක ප්‍රවාහන ක්‍රියාවලියක් සඳහා පහසුකම් සපයයි.
අතින් හැසිරවීමේ විකල්පය
ස්වයංක්‍රීයකරණය ප්‍රමුඛත්වය දී ඇති අතර, eFOSB පෙට්ටිය අතින් හැසිරවීමේ විකල්ප සමඟද අනුකූල වේ. ස්වයංක්‍රීය පද්ධති නොමැති ප්‍රදේශවලට වේෆර් ගෙනයාමේදී හෝ අමතර නිරවද්‍යතාවයක් හෝ සැලකිල්ලක් අවශ්‍ය අවස්ථාවන්හිදී වැනි මිනිස් මැදිහත්වීමක් අවශ්‍ය අවස්ථාවන්හිදී මෙම ද්විත්ව ක්‍රියාකාරිත්වය ප්‍රයෝජනවත් වේ.
අතිශය පිරිසිදු, අඩු වායු විමෝචක ද්‍රව්‍ය
eFOSB පෙට්ටියේ භාවිතා කරන ද්‍රව්‍ය විශේෂයෙන් තෝරාගෙන ඇත්තේ එහි අඩු වායු පිටකිරීමේ ගුණාංග සඳහා වන අතර එමඟින් වේෆර් දූෂණය විය හැකි වාෂ්පශීලී සංයෝග විමෝචනය වීම වළක්වයි. මීට අමතරව, ද්‍රව්‍ය අංශු වලට බෙහෙවින් ප්‍රතිරෝධී වන අතර, එය වේෆර් ප්‍රවාහනයේදී දූෂණය වැළැක්වීම සඳහා තීරණාත්මක සාධකයකි, විශේෂයෙන් පිරිසිදුකම ඉතා වැදගත් පරිසරවල.
අංශු උත්පාදනය වැළැක්වීම
පෙට්ටියේ සැලසුම හැසිරවීමේදී අංශු ජනනය වීම වැළැක්වීම සඳහා විශේෂයෙන් ඉලක්ක කරගත් විශේෂාංග ඇතුළත් වේ. කුඩාම අංශු පවා සැලකිය යුතු දෝෂ ඇති කළ හැකි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී ඉතා වැදගත් වන, වේෆර් දූෂණයෙන් තොර බව මෙය සහතික කරයි.
කල්පැවැත්ම සහ විශ්වසනීයත්වය
eFOSB පෙට්ටිය ප්‍රවාහනයේ භෞතික ආතතීන්ට ඔරොත්තු දිය හැකි කල් පවතින ද්‍රව්‍ය වලින් සාදා ඇති අතර එමඟින් කාලයත් සමඟ පෙට්ටිය එහි ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව රඳවා තබා ගනී. මෙම කල්පැවැත්ම නිතර නිතර ප්‍රතිස්ථාපන අවශ්‍යතාවය අඩු කරන අතර දිගු කාලීනව එය ලාභදායී විසඳුමක් බවට පත් කරයි.
අභිරුචිකරණ විකල්ප
සෑම අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන රේඛාවකටම අනන්‍ය අවශ්‍යතා තිබිය හැකි බව තේරුම් ගනිමින්, eFOSB වේෆර් වාහක පෙට්ටිය අභිරුචිකරණ විකල්ප ලබා දෙයි. තව් ගණන සකස් කිරීම, පෙට්ටි ප්‍රමාණය වෙනස් කිරීම හෝ විශේෂ ද්‍රව්‍ය ඇතුළත් කිරීම වැනි, නිශ්චිත සේවාදායක අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා eFOSB පෙට්ටිය සකස් කළ හැකිය.
අයදුම්පත්
එමඅඟල් 12 (මි.මී. 300) ඉදිරිපස විවෘත නැව් පෙට්ටිය (eFOSB)අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය තුළ විවිධ යෙදුම්වල භාවිතය සඳහා නිර්මාණය කර ඇත, ඒවා අතර:
අර්ධ සන්නායක වේෆර් හැසිරවීම
eFOSB පෙට්ටිය නිෂ්පාදනයේ සෑම අදියරකදීම, මූලික නිෂ්පාදනයේ සිට පරීක්ෂා කිරීම සහ ඇසුරුම් කිරීම දක්වා 300mm වේෆර් හැසිරවීමට ආරක්ෂිත සහ කාර්යක්ෂම ක්‍රමයක් සපයයි. නිරවද්‍යතාවය සහ පිරිසිදුකම ප්‍රධාන වන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී ඉතා වැදගත් වන දූෂණය හා හානි අවදානම එය අවම කරයි.
වේෆර් ගබඩාව
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පරිසරයන් තුළ, වේෆර් ඒවායේ අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා දැඩි කොන්දේසි යටතේ ගබඩා කළ යුතුය. eFOSB වාහකය ආරක්ෂිත, පිරිසිදු සහ ස්ථාවර පරිසරයක් ලබා දීමෙන් ආරක්ෂිත ගබඩා කිරීම සහතික කරයි, ගබඩා කිරීමේදී වේෆර් පිරිහීමේ අවදානම අඩු කරයි.
ප්‍රවාහනය
විවිධ පහසුකම් අතර හෝ ෆැබ් තුළ අර්ධ සන්නායක වේෆර් ප්‍රවාහනය කිරීමේදී සියුම් වේෆර් ආරක්ෂා කිරීම සඳහා ආරක්ෂිත ඇසුරුම් අවශ්‍ය වේ. eFOSB පෙට්ටිය ප්‍රවාහනයේදී ප්‍රශස්ත ආරක්ෂාවක් ලබා දෙන අතර, වේෆර් හානි නොවී පැමිණෙන බව සහතික කරමින්, ඉහළ නිෂ්පාදන අස්වැන්නක් පවත්වා ගනී.
AMHS සමඟ ඒකාබද්ධ වීම
කාර්යක්ෂම ද්‍රව්‍ය හැසිරවීම අත්‍යවශ්‍ය වන නවීන, ස්වයංක්‍රීය අර්ධ සන්නායක ෆැබ් වල භාවිතය සඳහා eFOSB පෙට්ටිය වඩාත් සුදුසුය. AMHS සමඟ පෙට්ටියේ ගැළපුම නිෂ්පාදන රේඛා තුළ වේෆර් වේගයෙන් චලනය කිරීමට පහසුකම් සපයයි, ඵලදායිතාව ඉහළ නංවයි සහ හැසිරවීමේ දෝෂ අවම කරයි.
FOSB මූල පද ප්‍රශ්නෝත්තර
Q1: අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී වේෆර් හැසිරවීම සඳහා eFOSB පෙට්ටිය සුදුසු වන්නේ කුමක් නිසාද?
ඒ 1:eFOSB පෙට්ටිය අර්ධ සන්නායක වේෆර් සඳහා විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇති අතර, ඒවා හැසිරවීම, ගබඩා කිරීම සහ ප්‍රවාහනය සඳහා ආරක්ෂිත සහ ස්ථාවර පරිසරයක් සපයයි. SEMI/FIMS සහ AMHS ප්‍රමිතීන්ට අනුකූල වීම ස්වයංක්‍රීය පද්ධති සමඟ බාධාවකින් තොරව ඒකාබද්ධ වීම සහතික කරයි. පෙට්ටියේ අතිශය පිරිසිදු, අඩු වායු පිටවන ද්‍රව්‍ය සහ වේෆර් රඳවා ගැනීමේ පද්ධතිය දූෂණය වීමේ අවදානම අවම කරන අතර ක්‍රියාවලිය පුරාම වේෆර් අඛණ්ඩතාව සහතික කරයි.
Q2: වේෆර් ප්‍රවාහනයේදී eFOSB පෙට්ටිය දූෂණය වීම වළක්වන්නේ කෙසේද?
ඒ 2:eFOSB පෙට්ටිය වායු පිටවීමට ප්‍රතිරෝධී ද්‍රව්‍ය වලින් සාදා ඇති අතර එමඟින් වේෆර් දූෂණය කළ හැකි වාෂ්පශීලී සංයෝග මුදා හැරීම වළක්වයි. එහි සැලසුම අංශු උත්පාදනය ද අඩු කරන අතර වේෆර් රඳවා ගැනීමේ පද්ධතිය වේෆර් නිසි ස්ථානයේ සුරක්ෂිත කරයි, ප්‍රවාහනයේදී යාන්ත්‍රික හානි හා දූෂණය වීමේ අවදානම අවම කරයි.
Q3: eFOSB පෙට්ටිය අතින් සහ ස්වයංක්‍රීය පද්ධති දෙකෙහිම භාවිතා කළ හැකිද?
A3:ඔව්, eFOSB පෙට්ටිය බහුකාර්ය වන අතර දෙකෙහිම භාවිතා කළ හැකිය.ස්වයංක්‍රීය පද්ධතිසහ අතින් හැසිරවීමේ අවස්ථා. එය මිනිස් මැදිහත්වීම් අඩු කිරීම සඳහා ස්වයංක්‍රීය හැසිරවීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත, නමුත් අවශ්‍ය විටෙක අතින් ප්‍රවේශ වීමටද එය ඉඩ සලසයි.
Q4: eFOSB පෙට්ටිය විවිධ වේෆර් ප්‍රමාණ සඳහා අභිරුචිකරණය කළ හැකිද?
ඒ 4:ඔව්, eFOSB පෙට්ටිය පිරිනමයිඅභිරුචිකරණ විකල්පවිවිධ වේෆර් ප්‍රමාණ, තව් වින්‍යාසයන් හෝ නිශ්චිත හැසිරවීමේ අවශ්‍යතා සපුරාලීමට, විවිධ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන මාර්ගවල අද්විතීය අවශ්‍යතා සපුරාලීම සහතික කරයි.
Q5: eFOSB පෙට්ටිය වේෆර් හැසිරවීමේ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරන්නේ කෙසේද?
A5:eFOSB පෙට්ටිය සක්‍රීය කිරීමෙන් කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරයිස්වයංක්‍රීය මෙහෙයුම්, අතින් මැදිහත්වීමේ අවශ්‍යතාවය අඩු කිරීම සහ අර්ධ සන්නායක ෆැබ් තුළ වේෆර් ප්‍රවාහනය විධිමත් කිරීම. එහි සැලසුම වේෆර් ආරක්ෂිතව පවතින බව සහතික කරයි, හැසිරවීමේ දෝෂ අවම කරයි සහ සමස්ත ප්‍රතිදානය වැඩි දියුණු කරයි.
නිගමනය
අඟල් 12 (මි.මී. 300) ඉදිරිපස විවෘත නැව් පෙට්ටිය (eFOSB) අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ වේෆර් හැසිරවීම, ගබඩා කිරීම සහ ප්‍රවාහනය සඳහා ඉතා විශ්වාසදායක සහ කාර්යක්ෂම විසඳුමකි. එහි උසස් විශේෂාංග, කර්මාන්ත ප්‍රමිතීන්ට අනුකූල වීම සහ බහුකාර්යතාව සමඟින්, එය වේෆර් අඛණ්ඩතාව ආරක්ෂා කිරීමට සහ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව ප්‍රශස්ත කිරීමට ඵලදායී ක්‍රමයක් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින්ට සපයයි. ස්වයංක්‍රීය හෝ අතින් හැසිරවීම සඳහා වේවා, eFOSB පෙට්ටිය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ දැඩි ඉල්ලීම් සපුරාලන අතර, නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ සෑම අදියරකදීම දූෂණයෙන් තොර සහ හානිවලින් තොර වේෆර් ප්‍රවාහනය සහතික කරයි.
විස්තරාත්මක රූප සටහන
