MOS හෝ SBD සඳහා අඟල් 4 SiC Epi වේෆර්

MOS හෝ SBD විශේෂාංගී රූපය සඳහා අඟල් 4 SiC Epi වේෆර්

කෙටි විස්තරය:

SiCC සතුව සම්පූර්ණ SiC (Silicon Carbide) වේෆර් උපස්ථර නිෂ්පාදන රේඛාවක් ඇත, ස්ඵටික වර්ධනය ඒකාබද්ධ කිරීම, වේෆර් සැකසීම, වේෆර් සැකසීම, ඔප දැමීම, පිරිසිදු කිරීම සහ පරීක්ෂා කිරීම. දැනට, අපට 5x5mm2, 10x10mm2, 2″, 3″, 4″ සහ 6″ ප්‍රමාණයේ අක්ෂීය හෝ අක්‍ෂය අර්ධ පරිවාරක සහ අර්ධ සන්නායක 4H සහ 6H SiC වේෆර් ලබා දිය හැක, දෝෂ මර්දනය කිරීම, ස්ඵටික විනිවිද යාම සහ වේගවත් වර්ධනය සහ අනෙකුත් එය ප්රධාන තාක්ෂණයන් හරහා කැඩී ඇත දෝෂ මර්දනය, ස්ඵටික බීජ සැකසීම සහ වේගවත් වර්ධනය වැනි, සහ සිලිකන් කාබයිඩ් epitaxy, උපාංග සහ අනෙකුත් ආශ්‍රිත මූලික පර්යේෂණවල මූලික පර්යේෂණ සහ සංවර්ධනය ප්‍රවර්ධනය කරන ලදී.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

Epitaxy යන්නෙන් අදහස් කරන්නේ සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරයක මතුපිට උසස් තත්ත්වයේ තනි ස්ඵටික ද්රව්ය ස්ථරයක් වර්ධනය වීමයි. ඒවා අතර, අර්ධ පරිවාරක සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරයක් මත ගැලියම් නයිට්රයිඩ් epitaxial ස්ථරයේ වර්ධනය විෂමජාතීය epitaxy ලෙස හැඳින්වේ; සන්නායක සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරයක් මතුපිට සිලිකන් කාබයිඩ් epitaxial ස්ථරයක් වර්ධනය සමජාතීය epitaxy ලෙස හැඳින්වේ.

Epitaxial යනු ප්‍රධාන ක්‍රියාකාරී ස්ථරයේ වර්ධනයේ උපාංග සැලසුම් අවශ්‍යතා වලට අනුකූලව, බොහෝ දුරට චිපයේ ක්‍රියාකාරිත්වය සහ උපාංගයේ ක්‍රියාකාරිත්වය, 23% ක පිරිවැය තීරණය කරයි. මෙම අදියරේදී SiC තුනී පටල epitaxy හි ප්‍රධාන ක්‍රමවලට ඇතුළත් වන්නේ: රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම (CVD), අණුක කදම්භ epitaxy (MBE), ද්‍රව අදියර epitaxy (LPE) සහ ස්පන්දන ලේසර් තැන්පත් කිරීම සහ sublimation (PLD).

Epitaxy යනු සමස්ත කර්මාන්තයේ ඉතා තීරණාත්මක සබැඳියකි. අර්ධ පරිවාරක සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථර මත GaN epitaxial ස්ථර වර්ධනය කිරීමෙන්, සිලිකන් කාබයිඩ් මත පදනම් වූ GaN epitaxial වේෆර් නිපදවනු ලබන අතර, ඒවා තවදුරටත් ඉහළ ඉලෙක්ට්‍රෝන සංචලතා ට්‍රාන්සිස්ටර (HEMTs) වැනි GaN RF උපාංග බවට පත් කළ හැක;

සන්නායක උපස්ථරය මත සිලිකන් කාබයිඩ් epitaxial ස්තරය වර්ධනය කිරීම මගින් සිලිකන් කාබයිඩ් epitaxial වේෆර් ලබා ගැනීම සහ Schottky diodes, gold-oxygen half-field effect ට්‍රාන්සිස්ටර, පරිවරණය කරන ලද ද්වාර බයිපෝලර් ට්‍රාන්සිස්ටර සහ අනෙකුත් බල උපාංග නිෂ්පාදනය මත epitaxial ස්ථරයේ. උපාංගයේ ක්‍රියාකාරීත්වය පිළිබඳ එපිටාක්සියල් කර්මාන්තයේ දියුණුවට ඉතා විශාල බලපෑමක් ඇති කරයි ද ඉතා තීරණාත්මක ය භූමිකාව.