අඟල් 8 SiC සිලිකන් කාබයිඩ් වේෆර් 4H-N වර්ගය 0.5mm නිෂ්පාදන ශ්රේණියේ පර්යේෂණ ශ්රේණියේ අභිරුචි ඔප දැමූ උපස්ථරය
අඟල් 8 සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරයේ 4H-N වර්ගයේ ප්රධාන ලක්ෂණ අතරට:
1. ක්ෂුද්ර නල ඝනත්වය: ≤ 0.1/cm² හෝ ඊට අඩු, උදාහරණයක් ලෙස සමහර නිෂ්පාදනවල ක්ෂුද්ර නල ඝනත්වය 0.05/cm² ට වඩා සැලකිය යුතු ලෙස අඩු වේ.
2. ස්ඵටික ආකෘති අනුපාතය: 4H-SiC ස්ඵටික ආකෘති අනුපාතය 100% දක්වා ළඟා වේ.
3. ප්රතිරෝධකතාව: 0.014~0.028 Ω·cm, හෝ 0.015-0.025 Ω·cm අතර වඩාත් ස්ථායී වේ.
4. මතුපිට රළුබව: CMP Si මුහුණ Ra≤0.12nm.
5. ඝනකම: සාමාන්යයෙන් 500.0±25μm හෝ 350.0±25μm.
6. චැම්ෆරින් කෝණය: ඝනකම අනුව A1/A2 සඳහා 25±5° හෝ 30±5°.
7. සම්පූර්ණ විස්ථාපන ඝනත්වය: ≤3000/cm².
8. මතුපිට ලෝහ දූෂණය: ≤1E+11 පරමාණු/cm².
9. නැමීම සහ විකෘති කිරීම: පිළිවෙලින් ≤ 20μm සහ ≤2μm.
මෙම ලක්ෂණ නිසා අඟල් 8 සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරවලට අධි-උෂ්ණත්ව, අධි-සංඛ්යාත සහ අධි බලැති ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග නිෂ්පාදනයේදී වැදගත් යෙදුම් වටිනාකමක් ඇත.
අඟල් 8 සිලිකන් කාබයිඩ් වේෆරයට යෙදුම් කිහිපයක් තිබේ.
1. බල උපාංග: SiC වේෆර්, බල MOSFET (ලෝහ-ඔක්සයිඩ්-අර්ධ සන්නායක ක්ෂේත්ර-ආචරණ ට්රාන්සිස්ටර), ෂොට්කි ඩයෝඩ සහ බල ඒකාබද්ධ කිරීමේ මොඩියුල වැනි බල ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා බහුලව භාවිතා වේ. SiC හි ඉහළ තාප සන්නායකතාවය, ඉහළ බිඳවැටීමේ වෝල්ටීයතාවය සහ ඉහළ ඉලෙක්ට්රෝන සංචලනය හේතුවෙන්, මෙම උපාංගවලට ඉහළ උෂ්ණත්ව, අධි වෝල්ටීයතා සහ අධි සංඛ්යාත පරිසරවල කාර්යක්ෂම, ඉහළ කාර්ය සාධන බල පරිවර්තනයක් ලබා ගත හැකිය.
2. දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග: ප්රකාශ අනාවරක, ලේසර් ඩයෝඩ, පාරජම්බුල ප්රභව ආදිය නිෂ්පාදනය කිරීමට භාවිතා කරන දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්රොනික උපාංගවල SiC වේෆර් වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. සිලිකන් කාබයිඩ්හි උසස් දෘශ්ය සහ ඉලෙක්ට්රොනික ගුණාංග නිසා එය තෝරා ගැනීමේ ද්රව්යය බවට පත් කරයි, විශේෂයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්වයන්, ඉහළ සංඛ්යාත සහ ඉහළ බල මට්ටම් අවශ්ය වන යෙදුම් සඳහා.
3. රේඩියෝ සංඛ්යාත (RF) උපාංග: SiC චිප් RF බල ඇම්ප්ලිෆයර්, අධි-සංඛ්යාත ස්විච, RF සංවේදක සහ තවත් බොහෝ දේ වැනි RF උපාංග නිෂ්පාදනය කිරීමට ද භාවිතා කරයි. SiC හි ඉහළ තාප ස්ථායිතාව, අධි-සංඛ්යාත ලක්ෂණ සහ අඩු පාඩු නිසා රැහැන් රහිත සන්නිවේදනය සහ රේඩාර් පද්ධති වැනි RF යෙදුම් සඳහා එය වඩාත් සුදුසු වේ.
4.අධි-උෂ්ණත්ව ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ: ඒවායේ ඉහළ තාප ස්ථායිතාව සහ උෂ්ණත්ව ප්රත්යාස්ථතාව හේතුවෙන්, ඉහළ උෂ්ණත්ව බල ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ, සංවේදක සහ පාලක ඇතුළු ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයන්හි ක්රියාත්මක වීමට නිර්මාණය කර ඇති ඉලෙක්ට්රොනික නිෂ්පාදන නිෂ්පාදනය කිරීමට SiC වේෆර් භාවිතා කරයි.
අඟල් 8 සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථර 4H-N වර්ගයේ ප්රධාන යෙදුම් මාර්ග අතරට අධි-උෂ්ණත්ව, අධි-සංඛ්යාත සහ අධි බලැති ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග නිෂ්පාදනය ඇතුළත් වේ, විශේෂයෙන් මෝටර් රථ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ, සූර්ය ශක්තිය, සුළං බල උත්පාදනය, විදුලි දුම්රිය එන්ජින්, සර්වර්, ගෘහ උපකරණ සහ විදුලි වාහන යන ක්ෂේත්රවල. මීට අමතරව, SiC MOSFET සහ Schottky ඩයෝඩ වැනි උපාංග මාරු කිරීමේ සංඛ්යාත, කෙටි-පරිපථ අත්හදා බැලීම් සහ ඉන්වර්ටර් යෙදුම්වල විශිෂ්ට කාර්ය සාධනයක් පෙන්නුම් කර ඇති අතර, බල ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණවල ඒවායේ භාවිතය මෙහෙයවයි.
පාරිභෝගික අවශ්යතා අනුව විවිධ ඝනකම් සහිතව XKH අභිරුචිකරණය කළ හැකිය. විවිධ මතුපිට රළුබව සහ ඔප දැමීමේ ප්රතිකාර තිබේ. විවිධ වර්ගයේ මාත්රණ (නයිට්රජන් මාත්රණය වැනි) සඳහා සහය දක්වයි. පාරිභෝගිකයින්ට භාවිත ක්රියාවලියේදී ගැටළු විසඳා ගත හැකි බව සහතික කිරීම සඳහා XKH හට තාක්ෂණික සහාය සහ උපදේශන සේවා සැපයිය හැකිය. අඟල් 8 සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරයට පිරිවැය අඩු කිරීම සහ වැඩි ධාරිතාව අනුව සැලකිය යුතු වාසි ඇති අතර එමඟින් අඟල් 6 උපස්ථරයට සාපේක්ෂව ඒකක චිප පිරිවැය 50% කින් පමණ අඩු කළ හැකිය. ඊට අමතරව, අඟල් 8 උපස්ථරයේ වැඩි වූ ඝණකම යන්ත්රෝපකරණ අතරතුර ජ්යාමිතික අපගමනයන් සහ දාර විකෘති කිරීම අඩු කිරීමට උපකාරී වන අතර එමඟින් අස්වැන්න වැඩි දියුණු වේ.
විස්තරාත්මක රූප සටහන


