අඟල් 8 SiC නිෂ්පාදන ශ්‍රේණියේ වේෆර් 4H-N SiC උපස්ථරය

කෙටි විස්තරය:

අඟල් 8 SiC උපස්ථර බල MOSFET (ලෝහ ඔක්සයිඩ් අර්ධ සන්නායක ක්ෂේත්‍ර ආචරණ ට්‍රාන්සිස්ටර), Schottky ඩයෝඩ සහ අනෙකුත් බල අර්ධ සන්නායක උපාංග වැනි අධි බලැති ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංගවල භාවිතා වේ.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

පහත වගුව අපගේ අඟල් 8 SiC වේෆර්වල පිරිවිතර පෙන්වයි.

අඟල් 8 N-type SiC DSP පිරිවිතර
අංකය	අයිතමය	ඒකකය	නිෂ්පාදනය	පර්යේෂණ	ඩමි
1: පරාමිතීන්
1.1	පොලිටයිප්	--	4H	4H	4H
1.2	මතුපිට දිශානතිය	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2:විදුලි පරාමිතිය
2.1	dopant	--	n-වර්ගය නයිට්රජන්	n-වර්ගය නයිට්රජන්	n-වර්ගය නයිට්රජන්
2.2	ප්රතිරෝධය	ඕම් · සෙ.මී	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3: යාන්ත්රික පරාමිතිය
3.1	විෂ්කම්භය	mm	200± 0.2	200± 0.2	200± 0.2
3.2	ඝණකම	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	නොච් දිශානතිය	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	නොච් ගැඹුර	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	දුන්න	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Warp	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: ව්යුහය
4.1	ක්ෂුද්ර නල ඝනත්වය	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	ලෝහ අන්තර්ගතය	පරමාණු/සෙ.මී.2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5. ඉදිරිපස ගුණාත්මකභාවය
5.1	ඉදිරිපස	--	Si	Si	Si
5.2	මතුපිට නිමාව	--	Si-Face CMP	Si-Face CMP	Si-Face CMP
5.3	අංශුව	ea/wafer	≤100(ප්‍රමාණය≥0.3μm)	NA	NA
5.4	සීරීම	ea/wafer	≤5,මුළු දිග≤200mm	NA	NA
5.5	දාරය චිප්ස් / ඉන්ඩෙන්ට්ස් / ඉරිතැලීම් / පැල්ලම් / දූෂණය	--	කිසිවක් නැත	කිසිවක් නැත	NA
5.6	පොලිටයිප් ප්රදේශ	--	කිසිවක් නැත	ප්රදේශය ≤10%	ප්රදේශය ≤30%
5.7	ඉදිරිපස සලකුණු කිරීම	--	කිසිවක් නැත	කිසිවක් නැත	කිසිවක් නැත
6: පසුපස ගුණාත්මකභාවය
6.1	පසුපස නිමාව	--	සී-ෆේස් එම්.පී	සී-ෆේස් එම්.පී	සී-ෆේස් එම්.පී
6.2	සීරීම	mm	NA	NA	NA
6.3	පිටුපස දෝෂ දාරය චිප්ස්/ඉන්ඩන්ට්	--	කිසිවක් නැත	කිසිවක් නැත	NA
6.4	පිටුපස රළුබව	nm	රා≤5	රා≤5	රා≤5
6.5	පසුපස සලකුණු කිරීම	--	නොච්	නොච්	නොච්
7: දාරය
7.1	දාරය	--	චැම්ෆර්	චැම්ෆර්	චැම්ෆර්
8:පැකේජය
8.1	ඇසුරුම් කිරීම	--	රික්තය සමඟ Epi-සූදානම් ඇසුරුම් කිරීම	රික්තය සමඟ Epi-සූදානම් ඇසුරුම් කිරීම	රික්තය සමඟ Epi-සූදානම් ඇසුරුම් කිරීම
8.2	ඇසුරුම් කිරීම	--	බහු වේෆර් කැසට් ඇසුරුම්	බහු වේෆර් කැසට් ඇසුරුම්	බහු වේෆර් කැසට් ඇසුරුම්