AlN-on-NPSS වේෆර්: ඉහළ උෂ්ණත්වය, අධි බලැති සහ RF යෙදුම් සඳහා ඔප දැමූ නොවන නිල් මැණික් උපස්ථරය මත ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත ඇලුමිනියම් නයිට්‍රයිඩ් ස්ථරය.
විශේෂාංග
ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත AlN ස්ථරය: ඇලුමිනියම් නයිට්‍රයිඩ් (AlN) එහිඉහළ තාප සන්නායකතාවය(~200 W/m·K),පළල් බෑන්ඩ්ගැප්, සහඉහළ බිඳවැටීමේ වෝල්ටීයතාවය, එය කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයිඅධි බලැති, අධි-සංඛ්‍යාත, සහඉහළ උෂ්ණත්වයඅයදුම්පත්.
ඔප දැමූ නොවන නිල් මැණික් උපස්ථරය (NPSS): ඔප දැමූ නොවන නිල් මැණික් මඟින්ලාභදායී, යාන්ත්‍රිකව ශක්තිමත්පදනම, මතුපිට ඔප දැමීමේ සංකීර්ණතාවයකින් තොරව එපිටැක්සියල් වර්ධනය සඳහා ස්ථාවර පදනමක් සහතික කරයි. NPSS හි විශිෂ්ට යාන්ත්‍රික ගුණාංග එය අභියෝගාත්මක පරිසරයන් සඳහා කල් පවතින බවට පත් කරයි.
ඉහළ තාප ස්ථායිතාව: AlN-on-NPSS වේෆරයට අධික උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන්ට ඔරොත්තු දිය හැකි අතර, එය භාවිතයට සුදුසු වේ.බල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, වාහන පද්ධති, LED, සහදෘශ්‍ය යෙදුම්ඉහළ උෂ්ණත්ව තත්ත්වයන් යටතේ ස්ථාවර කාර්ය සාධනයක් අවශ්‍ය වේ.
විදුලි පරිවරණය: AlN සතුව විශිෂ්ට විද්‍යුත් පරිවාරක ගුණ ඇති අතර, එය යෙදුම් සඳහා පරිපූර්ණ කරයි.විදුලි හුදකලාවඇතුළුව, තීරණාත්මක වේRF උපාංගසහමයික්‍රෝවේව් ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ.
සුපිරි තාප විසර්ජනය: ඉහළ තාප සන්නායකතාවක් සහිතව, AlN ස්ථරය ඵලදායී තාප විසර්ජනය සහතික කරයි, එය ඉහළ බලයක් සහ සංඛ්‍යාතයක් යටතේ ක්‍රියාත්මක වන උපාංගවල ක්‍රියාකාරිත්වය සහ කල්පැවැත්ම පවත්වා ගැනීම සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වේ.
තාක්ෂණික පරාමිතීන්
| පරාමිතිය | පිරිවිතර |
| වේෆර් විෂ්කම්භය | අඟල් 2, අඟල් 4 (අභිරුචි ප්‍රමාණ තිබේ) |
| උපස්ථර වර්ගය | ඔප දැමූ නොවන නිල් මැණික් උපස්ථරය (NPSS) |
| AlN ස්ථර ඝනකම | 2µm සිට 10µm දක්වා (අභිරුචිකරණය කළ හැකි) |
| උපස්ථර ඝණකම | 430µm ± 25µm (අඟල් 2 සඳහා), 500µm ± 25µm (අඟල් 4 සඳහා) |
| තාප සන්නායකතාවය | 200 W/m·K |
| විද්‍යුත් ප්‍රතිරෝධකතාව | ඉහළ පරිවරණය, RF යෙදුම් සඳහා සුදුසු වේ |
| මතුපිට රළුබව | Ra ≤ 0.5µm (AlN ස්ථරය සඳහා) |
| ද්‍රව්‍ය සංශුද්ධතාවය | ඉහළ සංශුද්ධතාවය AlN (99.9%) |
| වර්ණ | සුදු/සුදු පැහැයෙන් තොර (ලා පැහැති NPSS උපස්ථරයක් සහිත AlN ස්ථරය) |
| වේෆර් වෝර්ප් | < 30µm (සාමාන්‍ය) |
| තහනම් උත්තේජක වර්ගය | මාත්‍රණය නොකළ (අභිරුචිකරණය කළ හැක) |
අයදුම්පත්
එමAlN-on-NPSS වේෆර්විවිධ කර්මාන්ත හරහා ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත යෙදුම් රාශියක් සඳහා නිර්මාණය කර ඇත:
අධි බලැති ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ: AlN ස්ථරයේ ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ පරිවාරක ගුණාංග එය කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයිබල ට්‍රාන්සිස්ටර, සෘජුකාරක, සහබල ICභාවිතා කරන ලදීමෝටර් රථ, කාර්මික, සහපුනර්ජනනීය බලශක්තියපද්ධති.
රේඩියෝ-සංඛ්‍යාත (RF) සංරචක: AlN හි විශිෂ්ට විද්‍යුත් පරිවාරක ගුණාංග, එහි අඩු අලාභය සමඟ එක්ව, නිෂ්පාදනයට හැකියාව ලබා දෙයිRF ට්‍රාන්සිස්ටර, HEMTs (අධි-ඉලෙක්ට්‍රෝන-චලන ට්‍රාන්සිස්ටර), සහ වෙනත්මයික්‍රෝවේව් සංරචකඉහළ සංඛ්‍යාත සහ බල මට්ටම්වලදී කාර්යක්ෂමව ක්‍රියා කරන.
දෘශ්‍ය උපාංග: AlN-on-NPSS වේෆර් භාවිතා කරනු ලබන්නේලේසර් ඩයෝඩ, LED, සහප්‍රකාශ අනාවරක, කොහෙදඉහළ තාප සන්නායකතාවයසහයාන්ත්‍රික ශක්තිමත් බවදීර්ඝ ආයු කාලයක් පුරා කාර්ය සාධනය පවත්වා ගැනීම සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වේ.
ඉහළ උෂ්ණත්ව සංවේදක: අධික තාපයට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව නිසා වේෆරය සුදුසු වන්නේඋෂ්ණත්ව සංවේදකසහපාරිසරික නිරීක්ෂණයවැනි කර්මාන්ත වලඅභ්‍යවකාශය, මෝටර් රථ, සහතෙල් සහ ගෑස්.
අර්ධ සන්නායක ඇසුරුම්කරණය: භාවිතා කරන ලද්දේ තාප පැතිරීම්සහතාප කළමනාකරණ ස්ථරඇසුරුම් පද්ධතිවල, අර්ධ සන්නායකවල විශ්වසනීයත්වය සහ කාර්යක්ෂමතාව සහතික කිරීම.
ප්‍රශ්නෝත්තර
ප්‍ර: සිලිකන් වැනි සාම්ප්‍රදායික ද්‍රව්‍යවලට වඩා AlN-on-NPSS වේෆර්වල ප්‍රධාන වාසිය කුමක්ද?
A: ප්‍රධාන වාසිය වන්නේ AlN's යඉහළ තාප සන්නායකතාවය, එමඟින් තාපය කාර්යක්ෂමව විසුරුවා හැරීමට ඉඩ සලසයි, එය වඩාත් සුදුසු වේඅධි බලැතිසහඅධි-සංඛ්‍යාත යෙදුම්තාප කළමනාකරණය ඉතා වැදගත් වන තැන. අතිරේකව, AlN සතුව aපළල් බෑන්ඩ්ගැප්සහ විශිෂ්ටයිවිදුලි පරිවරණය, එය භාවිතයට වඩා උසස් කරයිRFසහමයික්‍රෝවේව් උපාංගසාම්ප්‍රදායික සිලිකන් හා සසඳන විට.
ප්‍ර: NPSS වේෆර්වල AlN ස්ථරය අභිරුචිකරණය කළ හැකිද?
A: ඔව්, ඔබේ යෙදුමේ නිශ්චිත අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා AlN ස්ථරය ඝනකම අනුව (2µm සිට 10µm හෝ ඊට වැඩි) අභිරුචිකරණය කළ හැකිය. අපි මාත්‍රණ වර්ගය (N-වර්ගය හෝ P-වර්ගය) සහ විශේෂිත කාර්යයන් සඳහා අමතර ස්ථර අනුව අභිරුචිකරණය ද පිරිනමන්නෙමු.
ප්‍ර: මෝටර් රථ කර්මාන්තයේ මෙම වේෆර් සඳහා සාමාන්‍ය යෙදුම කුමක්ද?
A: මෝටර් රථ කර්මාන්තයේ දී, AlN-on-NPSS වේෆර් බහුලව භාවිතා වන්නේබල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, LED ආලෝකකරණ පද්ධති, සහඋෂ්ණත්ව සංවේදක. ඒවා විවිධ උෂ්ණත්ව තත්ත්වයන් යටතේ ක්‍රියාත්මක වන ඉහළ කාර්යක්ෂමතා පද්ධති සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වන උසස් තාප කළමනාකරණය සහ විද්‍යුත් පරිවරණය සපයයි.
විස්තරාත්මක රූප සටහන
