වැඩුණු නිල් මැණික් බූල් ඉන්ගෝට් ස්ඵටික ky ක්රමය
විස්තරාත්මක රූප සටහන
දළ විශ්ලේෂණය
A නිල් මැණික් බෝලයයනු නිල් මැණික් වේෆර්, දෘශ්ය කවුළු, ඇඳුම්-ප්රතිරෝධී කොටස් සහ මැණික් කැපීම සඳහා උඩුගං බලා අමුද්රව්ය ලෙස සේවය කරන ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් (Al₂O₃) හි විශාල, වැඩුණු තනි ස්ඵටිකයකි.මෝස් 9 දෘඪතාව, විශිෂ්ට තාප ස්ථායිතාව(ද්රවාංකය ~2050 °C), සහපුළුල් පරාස විනිවිදභාවයUV සිට මැද-IR දක්වා, කල්පැවැත්ම, පිරිසිදුකම සහ දෘශ්ය ගුණාත්මකභාවය සහජීවනයෙන් පැවතිය යුතු මිණුම් ලකුණ වන්නේ නිල් මැණික් ය.
අපි කර්මාන්තයෙන් ඔප්පු කරන ලද වර්ධන ක්රම මගින් නිපදවන ලද, ප්රශස්තිකරණය කරන ලද වර්ණ රහිත සහ මාත්රණය කරන ලද නිල් මැණික් බෝල සපයන්නෙමු.GaN/AlGaN එපිටැක්සි, නිරවද්ය දෘෂ්ටි විද්යාව, සහඉහළ විශ්වසනීයත්වයක් සහිත කාර්මික සංරචක.
අපෙන් Sapphire Boule ඇයි?
-
පළමුව ස්ඵටික ගුණාත්මකභාවය:අඩු අභ්යන්තර ආතතිය, අඩු බුබුලු/ස්ට්රයි අන්තර්ගතය, පහළට කැපීම සහ එපිටැක්සි සඳහා දැඩි දිශානති පාලනය.
-
ක්රියාවලි නම්යශීලීභාවය:ඔබේ අයදුම්පත සඳහා ප්රමාණය, ආතතිය සහ පිරිවැය සමතුලිත කිරීම සඳහා KY/HEM/CZ/Verneuil වර්ධන විකල්ප.
-
පරිමාණය කළ හැකි ජ්යාමිතිය:සිලින්ඩරාකාර, කැරට් හැඩැති හෝ බ්ලොක් බෝල්ස්, අභිරුචි පැතලි, බීජ/අවසන් ප්රතිකාර සහ යොමු තල සමඟ.
-
සොයා ගත හැකි සහ නැවත නැවත කළ හැකි:කණ්ඩායම් වාර්තා, මිනුම් විද්යා වාර්තා සහ පිළිගැනීමේ නිර්ණායක ඔබේ පිරිවිතරයන්ට අනුකූල වේ.
වර්ධන තාක්ෂණයන්
-
KY (කයිරොපොලොස්):විශාල විෂ්කම්භයක් සහිත, අඩු පීඩන බෝල; ද්වි-වර්ණතා ඒකාකාර බව වැදගත් වන එපි-ශ්රේණියේ වේෆර් සහ ප්රකාශ විද්යාව සඳහා ප්රිය කරයි.
-
HEM (තාප හුවමාරු ක්රමය):විශිෂ්ට තාප අනුක්රමණ සහ ආතති පාලනය; ඝන දෘෂ්ටි විද්යාව සහ වාරික epi අමුද්රව්ය සඳහා ආකර්ශනීයයි.
-
CZ (චොක්රල්ස්කි):දිශානතිය සහ ප්රජනන හැකියාව පිළිබඳ දැඩි පාලනය; ස්ථාවර, ඉහළ අස්වැන්නක් සහිත පෙති කැපීම සඳහා හොඳ තේරීමක්.
-
වර්නියුයිල් (ගිනිදැල්-විලයනය):පිරිවැය-කාර්යක්ෂම, ඉහළ ප්රතිදානය; සාමාන්ය දෘෂ්ටි විද්යාව, යාන්ත්රික කොටස් සහ මැණික් පූර්ව ආකෘති සඳහා සුදුසු වේ.
ස්ඵටික දිශානතිය, ජ්යාමිතිය සහ ප්රමාණය
-
සම්මත දිශානති: සී-තලය (0001), a-තලය (11-20), ආර්-තලය (1-102), m-තලය (10-10); අභිරුචි ගුවන් යානා තිබේ.
-
දිශානති නිරවද්යතාවය:Laue/XRD අනුව ≤ ±0.1° (ඉල්ලීම මත තදයි).
-
හැඩතල:සිලින්ඩරාකාර හෝ කැරට් වර්ගයේ බෝල්ස්, හතරැස්/සෘජුකෝණාස්රාකාර කුට්ටි සහ දඬු.
-
සාමාන්ය ප්රමාණයේ ලියුම් කවරය: Ø30–220 මි.මී., දිග 50-400 මි.මී.(විශාල/කුඩා ඇණවුම් කිරීමට සාදා ඇත).
-
අවසානය/යොමු විශේෂාංග:බීජ/අන්ත මුහුණත යන්ත්රෝපකරණ, යොමු පැතලි/නොච්, සහ පහළට පෙළගැස්වීම සඳහා විශ්වාසනීය.
ද්රව්ය සහ දෘශ්ය ගුණාංග
-
සංයුතිය:තනි-ස්ඵටික Al₂O₃, අමුද්රව්ය සංශුද්ධතාවය ≥ 99.99%.
-
ඝනත්වය:~3.98 g/cm³
-
දෘඪතාව:මෝස් 9
-
වර්තන දර්ශකය (589 nm): එන්ₒ≈ 1.768, යනුවෙනි.එන්ₑ≈ 1.760 (සෘණ ඒක අක්ෂීය; Δn ≈ 0.008)
-
සම්ප්රේෂණ කවුළුව: UV සිට ~5 µm දක්වා(ඝනකම සහ අපිරිසිදුකම මත රඳා පවතී)
-
තාප සන්නායකතාවය (300 K):~25 W·m⁻¹·K⁻¹
-
CTE (20–300 °C):~5–8 × 10⁻⁶ /K (දිශානතිය මත රඳා පවතින)
-
යංගේ මාපාංකය:~345 ගිගාපැස්කල්
-
විදුලි:ඉහළ පරිවාරක (පරිමා ප්රතිරෝධකතාව සාමාන්යයෙන් ≥ 10¹⁴ Ω·cm)
ශ්රේණි සහ විකල්ප
-
එපිටැක්සි ශ්රේණිය:ඉහළ අස්වැන්නක් සහිත GaN/AlGaN MOCVD වේෆර් (අඟල් 2–8 සහ ඊට වැඩි පහළට) සඳහා අතිශය අඩු බුබුලු/ස්ට්රයි සහ අවම ආතති ද්වි-වර්තනය.
-
දෘශ්ය ශ්රේණිය:කවුළු, කාච සහ IR දර්ශන පුවරු සඳහා ඉහළ අභ්යන්තර සම්ප්රේෂණය සහ සමජාතීයතාව.
-
සාමාන්ය/යාන්ත්රික ශ්රේණිය:ඔරලෝසු ස්ඵටික, බොත්තම්, ඇඳුම් කොටස් සහ නිවාස සඳහා කල් පවතින, පිරිවැය-ප්රශස්ත කළ අමුද්රව්ය.
-
මාත්රණය/වර්ණය:
-
අවර්ණ(සම්මත)
Cr:Al₂O₃(රූබි),වර්ගය:අල්₂ඕ₃(Ti:sapphire) පූර්ව ආකෘති
ඉල්ලීම මත අනෙකුත් වර්ණදේහ (Fe/Ti)
-
අයදුම්පත්
අර්ධ සන්නායක: GaN LED, ක්ෂුද්ර LED, බල HEMT, RF උපාංග (නිල් මැණික් වේෆර් අමුද්රව්ය) සඳහා උපස්ථර.
ප්රකාශ විද්යාව සහ ෆෝටෝනික්ස්: අධි-උෂ්ණත්ව/පීඩන කවුළු, IR දර්ශන තොටුපළ, ලේසර් කුහර කවුළු, අනාවරක ආවරණ.
පාරිභෝගික සහ පැළඳිය හැකි ද්රව්ය: ඔරලෝසු ස්ඵටික, කැමරා කාච ආවරණ, ඇඟිලි සලකුණු සංවේදක ආවරණ, වාරික බාහිර කොටස්.
කාර්මික සහ අභ්යවකාශ: තුණ්ඩ, කපාට ආසන, මුද්රා වළලු, ආරක්ෂිත කවුළු සහ නිරීක්ෂණ වරායන්.
ලේසර්/ස්ඵටික වර්ධනය: මාත්රණය කරන ලද බෝල වලින් ලබාගත් නිල් මැණික් සහ රූබි ධාරක.
එක්-බැලූ බැල්මට දත්ත (සාමාන්ය, යොමුව සඳහා)
| පරාමිතිය | අගය (සාමාන්ය) |
|---|---|
| සංයුතිය | ඒක-ස්ඵටික Al₂O₃ (≥ 99.99% සංශුද්ධතාවය) |
| දිශානතිය | c / a / r / m (ඉල්ලීම මත අභිරුචි) |
| දර්ශකය @ 589 nm | එන්ₒ≈ 1.768, යනුවෙනි.එන්ₑ≈ 1.760 |
| සම්ප්රේෂණ පරාසය | ~0.2–5 µm (ඝනකම මත රඳා පවතින) |
| තාප සන්නායකතාවය | ~25 W·m⁻¹·K⁻¹ (300 K) |
| CTE (20–300 °C) | ~5–8 × 10⁻⁶/කි |
| යංගේ මොඩියුලස් | ~345 ගිගාපැස්කල් |
| ඝනත්වය | ~3.98 g/cm³ |
| දෘඪතාව | මෝස් 9 |
| විදුලි | පරිවරණ; පරිමාව ප්රතිරෝධකතාව ≥ 10¹⁴ Ω·සෙ.මී. |
නිල් මැණික් වේෆර් නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය
-
ස්ඵටික වර්ධනය
අධි-පිරිසිදු ඇලුමිනා (Al₂O₃) උණු කර තනි නිල් මැණික් ස්ඵටික ඉන්ගෝට් එකක් බවට වගා කරනු ලබන්නේකයිරොපොලොස් (KY) or චොක්රල්ස්කි (CZ)ක්රමය. -
ඉන්ගොට් සැකසීම
ඉන්ගෝට් එක සම්මත හැඩයකට යන්තගත කර ඇත - කැපීම, විෂ්කම්භය හැඩගැස්වීම සහ කෙළවර-මුහුණ සැකසීම. -
පෙති කැපීම
නිල් මැණික් කුට්ටිය තුනී වේෆර් වලට කපා ඇත්තේදියමන්ති වයර් කියත්. -
ද්විත්ව ඒක පාර්ශවීය ලැපින්
කියත් සලකුණු ඉවත් කර ඒකාකාර ඝනකමක් ලබා ගැනීම සඳහා වේෆරයේ දෙපැත්තම ලැප් කර ඇත. -
ඇනීලිං
වේෆර් තාප පිරියම් කර ඇත්තේඅභ්යන්තර ආතතිය මුදා හැරීමසහ ස්ඵටික ගුණාත්මකභාවය සහ විනිවිදභාවය වැඩි දියුණු කිරීම. -
දාර ඇඹරීම
තවදුරටත් සැකසීමේදී කැඩීම සහ ඉරිතැලීම් වැළැක්වීම සඳහා වේෆර් දාර නැමුණු ලෙස සකසා ඇත. -
සවි කිරීම
නිරවද්ය ඔප දැමීම සහ පරීක්ෂා කිරීම සඳහා වේෆර් වාහක හෝ රඳවනයන් මත සවි කර ඇත. -
ද්විත්ව ඒක පාර්ශවීය යාන්ත්රික ඔප දැමීම (DMP)
මතුපිට සුමට බව වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා වේෆර් මතුපිට යාන්ත්රිකව ඔප දමා ඇත. -
CMP (රසායනික යාන්ත්රික ඔප දැමීම)
රසායනික හා යාන්ත්රික ක්රියා ඒකාබද්ධ කරමින් සියුම් ඔප දැමීමේ පියවරක් නිර්මාණය කරයි.දර්පණ වැනි මතුපිට. -
දෘශ්ය පරීක්ෂාව
ක්රියාකරුවන් හෝ ස්වයංක්රීය පද්ධති දෘශ්යමාන මතුපිට දෝෂ පරීක්ෂා කරයි. -
සමතලා බව පරීක්ෂා කිරීම
මාන නිරවද්යතාවය සහතික කිරීම සඳහා පැතලි බව සහ ඝණකම ඒකාකාරිත්වය මනිනු ලැබේ. -
RCA පිරිසිදු කිරීම
සම්මත රසායනික පිරිසිදු කිරීම කාබනික, ලෝහමය සහ අංශු දූෂක ඉවත් කරයි. -
ස්ක්රබර් පිරිසිදු කිරීම
යාන්ත්රික ස්ක්රබ් කිරීම මගින් ඉතිරි ක්ෂුද්ර අංශු ඉවත් කරයි. -
මතුපිට දෝෂ පරීක්ෂාව
ස්වයංක්රීය දෘශ්ය පරීක්ෂාව මගින් සීරීම්, වලවල් හෝ දූෂණය වැනි ක්ෂුද්ර දෝෂ අනාවරණය කරයි.
-
ස්ඵටික වර්ධනය
අධි-පිරිසිදු ඇලුමිනා (Al₂O₃) උණු කර තනි නිල් මැණික් ස්ඵටික ඉන්ගෝට් එකක් බවට වගා කරනු ලබන්නේකයිරොපොලොස් (KY) or චොක්රල්ස්කි (CZ)ක්රමය. -
ඉන්ගොට් සැකසීම
ඉන්ගෝට් එක සම්මත හැඩයකට යන්තගත කර ඇත - කැපීම, විෂ්කම්භය හැඩගැස්වීම සහ කෙළවර-මුහුණ සැකසීම. -
පෙති කැපීම
නිල් මැණික් කුට්ටිය තුනී වේෆර් වලට කපා ඇත්තේදියමන්ති වයර් කියත්. -
ද්විත්ව ඒක පාර්ශවීය ලැපින්
කියත් සලකුණු ඉවත් කර ඒකාකාර ඝනකමක් ලබා ගැනීම සඳහා වේෆරයේ දෙපැත්තම ලැප් කර ඇත. -
ඇනීලිං
වේෆර් තාප පිරියම් කර ඇත්තේඅභ්යන්තර ආතතිය මුදා හැරීමසහ ස්ඵටික ගුණාත්මකභාවය සහ විනිවිදභාවය වැඩි දියුණු කිරීම. -
දාර ඇඹරීම
තවදුරටත් සැකසීමේදී කැඩීම සහ ඉරිතැලීම් වැළැක්වීම සඳහා වේෆර් දාර නැමුණු ලෙස සකසා ඇත. -
සවි කිරීම
නිරවද්ය ඔප දැමීම සහ පරීක්ෂා කිරීම සඳහා වේෆර් වාහක හෝ රඳවනයන් මත සවි කර ඇත. -
ද්විත්ව ඒක පාර්ශවීය යාන්ත්රික ඔප දැමීම (DMP)
මතුපිට සුමට බව වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා වේෆර් මතුපිට යාන්ත්රිකව ඔප දමා ඇත. -
CMP (රසායනික යාන්ත්රික ඔප දැමීම)
රසායනික හා යාන්ත්රික ක්රියා ඒකාබද්ධ කරමින් සියුම් ඔප දැමීමේ පියවරක් නිර්මාණය කරයි.දර්පණ වැනි මතුපිට. -
දෘශ්ය පරීක්ෂාව
ක්රියාකරුවන් හෝ ස්වයංක්රීය පද්ධති දෘශ්යමාන මතුපිට දෝෂ පරීක්ෂා කරයි. -
සමතලා බව පරීක්ෂා කිරීම
මාන නිරවද්යතාවය සහතික කිරීම සඳහා පැතලි බව සහ ඝණකම ඒකාකාරිත්වය මනිනු ලැබේ. -
RCA පිරිසිදු කිරීම
සම්මත රසායනික පිරිසිදු කිරීම කාබනික, ලෝහමය සහ අංශු දූෂක ඉවත් කරයි. -
ස්ක්රබර් පිරිසිදු කිරීම
යාන්ත්රික ස්ක්රබ් කිරීම මගින් ඉතිරි ක්ෂුද්ර අංශු ඉවත් කරයි. -
මතුපිට දෝෂ පරීක්ෂාව
ස්වයංක්රීය දෘශ්ය පරීක්ෂාව මගින් සීරීම්, වලවල් හෝ දූෂණය වැනි ක්ෂුද්ර දෝෂ අනාවරණය කරයි.
Sapphire Boule (Single-Crystal Al₂O₃) — නිතර අසන ප්රශ්න
Q1: නිල් මැණික් බෝලයක් යනු කුමක්ද?
A: ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් (Al₂O₃) හි වර්ධනය වූ තනි ස්ඵටිකයක්. එය නිල් මැණික් වේෆර්, දෘශ්ය කවුළු සහ ඉහළ ඇඳුම් සංරචක සෑදීමට භාවිතා කරන උඩුගං බලා ඇති "ඉන්ගොට්" වේ.
ප්රශ්නය 2: බෝලයක් වේෆර් හෝ ජනෙල් වලට සම්බන්ධ වන්නේ කෙසේද?
A: බෝලය එපි-ශ්රේණියේ වේෆර් හෝ දෘශ්ය/යාන්ත්රික කොටස් නිපදවීම සඳහා දිශානුගත කර ඇත → පෙති කපන ලද → ලැප් කරන ලද → ඔප දමා ඇත. ප්රභව බෝලයේ ඒකාකාරිත්වය පහළ අස්වැන්නට දැඩි ලෙස බලපායි.
3 වන ප්රශ්නය: කුමන වර්ධන ක්රම තිබේද සහ ඒවා වෙනස් වන්නේ කෙසේද?
A: KY (කයිරොපොලොස්)සහහෙම්විශාල අස්වැන්නක්,අඩු ආතතියබෝල්ස් - එපිටැක්සි සහ ඉහළ මට්ටමේ දෘෂ්ටි විද්යාව සඳහා වඩාත් සුදුසුය.CZ (චොක්රල්ස්කි)විශිෂ්ටයිදිශානති පාලනයසහ ගොඩින් ගොඩ අනුකූලතාව.වර්නියුයිල් (ගිනිදැල්-විලයනය) is පිරිවැය-කාර්යක්ෂමසාමාන්ය දෘෂ්ටි විද්යාව සහ මැණික් පූර්ව ආකෘති සඳහා.
Q4: ඔබ සපයන දිශානති මොනවාද? සාමාන්යයෙන් කුමන නිරවද්යතාවයද?
A: c-තලය (0001), a-තලය (11-20), r-තලය (1-102), m-තලය (10-10), සහ සිරිත් විරිත්. දිශානති නිරවද්යතාවය සාමාන්යයෙන්≤ ±0.1°Laue/XRD විසින් සත්යාපනය කරන ලදී (ඉල්ලීම මත වඩාත් දැඩි).
වගකිවයුතු අභ්යන්තර සීරීම් කළමනාකරණයක් සහිත දෘශ්ය-ශ්රේණියේ ස්ඵටික
අපගේ සියලුම නිල් මැණික් බෝල නිෂ්පාදනය කරනු ලබන්නේදෘශ්ය ශ්රේණිය, ඉල්ලුමක් ඇති දෘෂ්ටි විද්යාව සහ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සඳහා ඉහළ සම්ප්රේෂණය, තද සමජාතීයතාවය සහ අඩු ඇතුළත් කිරීම්/බුබුලු සහ විස්ථාපන ඝනත්වයන් සහතික කිරීම. අපි බීජයේ සිට බෝලය දක්වා ස්ඵටික දිශානතිය සහ ද්විවර්තනය පාලනය කරමු, සම්පූර්ණ ලොට් සොයාගැනීමේ හැකියාව සහ ධාවන හරහා අනුකූලතාව සමඟ. මානයන්, දිශානති (c-, a-, r-තලය) සහ ඉවසීම් ඔබේ පහළට කැපීමේ/ඔප දැමීමේ අවශ්යතා සඳහා අභිරුචිකරණය කළ හැකිය.
වැදගත් වන්නේ, පිරිවිතරයන්ට අනුකූල නොවන ඕනෑම ද්රව්යයක් වන්නේසම්පූර්ණයෙන්ම අභ්යන්තරව සකසන ලදීවර්ග කර, ප්රතිචක්රීකරණය කර, වගකීමෙන් යුතුව බැහැර කරන ලද සංවෘත-ලූප් වැඩ ප්රවාහයක් හරහා - එවිට ඔබට හැසිරවීමේ හෝ අනුකූලතා බරකින් තොරව විශ්වාසදායක ගුණාත්මක භාවයක් ලැබේ. මෙම ප්රවේශය අවදානම අඩු කරයි, ඊයම් කාලය කෙටි කරයි, සහ ඔබේ තිරසාර ඉලක්ක සඳහා සහාය වේ.
| ඉන්ගොට් බර පටිය (kg) | 2″ | 4″ | 6″ | 8″ | 12″ | සටහන් |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 10-30 | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සීමිත/හැකි | සාමාන්ය නොවේ | භාවිතා කර නැත | කුඩා හැඩැති පෙති කැපීම; 6″ භාවිතා කළ හැකි විෂ්කම්භය/දිග මත රඳා පවතී. |
| 30–80 | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සීමිත/හැකි | සාමාන්ය නොවේ | පුළුල් උපයෝගීතාව; ඉඳහිට 8″ නියමු බිම් කොටස්. |
| 80–150 | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සාමාන්ය නොවේ | 6–8″ නිෂ්පාදනය සඳහා හොඳ ශේෂයක්. |
| 150–250 | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සීමිත/පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන | දැඩි පිරිවිතර සහිත ආරම්භක 12″ අත්හදා බැලීම් සඳහා සහය දක්වයි. |
| 250–300 | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සීමිත/තදින් නිශ්චිත | ඉහළ පරිමාව 8″; තෝරාගත් 12″ ධාවන. |
| >300 | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සුදුසුයි | සුදුසුයි | මායිම් පරිමාණය; දැඩි ඒකාකාරිත්වය/අස්වැන්න පාලනයක් සමඟ 12″ කළ හැකි ය. |
ආශ්රිත නිෂ්පාදන
-
Al2O3 99.999% නිල් මැණික් අභිරුචි විනිවිද පෙනෙන තලය...
-
අඟල් 8 200mm නිල් මැණික් උපස්ථර නිල් මැණික් වේෆර් ...
-
අඟල් 2 සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරය 6H-N ද්විත්ව පැත්ත...
-
දම් පාට වයලට් නිල් මැණික් Al2O3 ද්රව්ය සඳහා...
-
අඟල් 8 SiC නිෂ්පාදන ශ්රේණියේ වේෆර් 4H-N SiC උපස්ථර...
-
ඉහළ දෘඪතාව පාරභාසක නිල් මැණික් තනි ස්ඵටික...