Au ආලේපිත වේෆර්, නිල් මැණික් වේෆර්, සිලිකන් වේෆර්, SiC වේෆර්, අඟල් 2 අඟල් 4 අඟල් 6, රන් ආලේපිත ඝනකම 10nm 50nm 100nm
මූලික ලක්ෂණ
| විශේෂාංගය | විස්තර |
| උපස්ථර ද්‍රව්‍ය | සිලිකන් (Si), නිල් මැණික් (Al₂O₃), සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) |
| රන් ආලේපන ඝනකම | 10nm, 50nm, 100nm, 500nm |
| රන් සංශුද්ධතාවය | 99.999%ප්‍රශස්ත ක්‍රියාකාරිත්වය සඳහා සංශුද්ධතාවය |
| ඇලවුම් පටලය | ක්‍රෝමියම් (Cr), 99.98% සංශුද්ධතාවය, ශක්තිමත් ඇලීම සහතික කිරීම |
| මතුපිට රළුබව | nm කිහිපයක් (නිරවද්‍ය යෙදුම් සඳහා සුමට මතුපිට ගුණාත්මකභාවය) |
| ප්‍රතිරෝධය (Si වේෆර්) | 1-30 ඕම්/සෙ.මී.(වර්ගය අනුව) |
| වේෆර් ප්‍රමාණයන් | අඟල්-2, අඟල්-4, අඟල් 6, සහ අභිරුචි ප්‍රමාණ |
| ඝනකම (Si Wafer) | 275µමී, 381µමී, 525µමී |
| TTV (සම්පූර්ණ ඝනකම විචලනය) | ≤ (අයි.වී.)මීටර් 20µ |
| ප්‍රාථමික පැතලි (Si වේෆර්) | 15.9 ± 1.65 මි.මී.දක්වා32.5 ± 2.5 මි.මී. |
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ රන් ආලේපනය අත්‍යවශ්‍ය වන්නේ ඇයි?
විද්‍යුත් සන්නායකතාවය
රත්තරන් යනු හොඳම ද්‍රව්‍ය වලින් එකකිවිද්‍යුත් සන්නයනයරන් ආලේපිත වේෆර් මඟින් අඩු ප්‍රතිරෝධක මාර්ග සපයන අතර, ඒවා වේගවත් හා ස්ථාවර විද්‍යුත් සම්බන්ධතා අවශ්‍ය අර්ධ සන්නායක උපාංග සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වේ.ඉහළ සංශුද්ධතාවයරත්තරන් ප්‍රශස්ත සන්නායකතාවය සහතික කරයි, සංඥා නැතිවීම අවම කරයි.
විඛාදන ප්‍රතිරෝධය
රත්තරන් යනුවිඛාදනයට ලක් නොවනසහ ඔක්සිකරණයට බෙහෙවින් ප්‍රතිරෝධී වේ. මෙය කටුක පරිසරවල ක්‍රියාත්මක වන හෝ ඉහළ උෂ්ණත්ව, තෙතමනය හෝ වෙනත් විඛාදන තත්වයන්ට යටත් වන අර්ධ සන්නායක යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. රන් ආලේපිත වේෆරයක් කාලයත් සමඟ එහි විද්‍යුත් ගුණාංග සහ විශ්වසනීයත්වය පවත්වා ගෙන යන අතර,දිගු සේවා කාලයඑය භාවිතා කරන උපාංග සඳහා.
තාප කළමනාකරණය
රන්විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවයඅර්ධ සන්නායක උපාංග ක්‍රියාත්මක කිරීමේදී ජනනය වන තාපය කාර්යක්ෂමව විසුරුවා හැරීම සහතික කරයි. මෙය විශේෂයෙන් අධි බලැති යෙදුම් සඳහා වැදගත් වේ.LED, බල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, සහදෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග, නිසි ලෙස කළමනාකරණය නොකළහොත් අතිරික්ත තාපය උපාංග අසාර්ථක වීමට හේතු විය හැකි තැන.
යාන්ත්‍රික කල්පැවැත්ම
රන් ආලේපන සපයයියාන්ත්‍රික ආරක්ෂාවවේෆරයට, හැසිරවීමේදී සහ සැකසීමේදී මතුපිට හානි වළක්වයි. මෙම එකතු කරන ලද ආරක්ෂණ තට්ටුව, ඉල්ලුමක් ඇති තත්වයන් යටතේ වුවද, වේෆර් ඒවායේ ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව සහ විශ්වසනීයත්වය රඳවා තබා ගැනීම සහතික කරයි.
ආලේපනයෙන් පසු ලක්ෂණ
වැඩිදියුණු කළ මතුපිට ගුණාත්මකභාවය
රන් ආලේපනය වැඩි දියුණු කරයිමතුපිට සුමට බවවේෆරයේ, එය ඉතා වැදගත් වේඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත්අයදුම්පත්.මතුපිට රළුබවනැනෝමීටර කිහිපයකට අවම කර ඇති අතර, එවැනි ක්‍රියාවලීන් සඳහා පරිපූර්ණ මතුපිටක් සහතික කරයි.වයර් බන්ධනය, පෑස්සීම, සහප්‍රකාශ ශිලා විද්‍යාව.
වැඩිදියුණු කළ බන්ධන සහ පෑස්සුම් ගුණාංග
රන් තට්ටුව වැඩි දියුණු කරයිබන්ධන ගුණාංගවේෆරයේ, එය වඩාත් සුදුසු වේවයර් බන්ධනයසහෆ්ලිප්-චිප් බන්ධනය. මෙමගින් ආරක්ෂිත සහ දිගුකාලීන විදුලි සම්බන්ධතා ඇති වේIC ඇසුරුම්කරණයසහඅර්ධ සන්නායක එකලස් කිරීම්.
විඛාදනයෙන් තොර සහ දිගු කල් පවතින
රළු පාරිසරික තත්ත්වයන්ට දිගු කලක් නිරාවරණය වීමෙන් පසුව පවා වේෆරය ඔක්සිකරණයෙන් හා හායනයෙන් තොරව පවතින බව රන් ආලේපනය සහතික කරයි. මෙය දායක වන්නේදිගුකාලීන ස්ථාවරත්වයඅවසාන අර්ධ සන්නායක උපාංගයේ.
තාප සහ විදුලි ස්ථායිතාව
රන් ආලේපිත වේෆර් අනුකූලතාවක් ලබා දෙයිතාප විසර්ජනයසහවිද්‍යුත් සන්නායකතාවය, වඩා හොඳ කාර්ය සාධනයකට මග පාදයි සහවිශ්වසනීයත්වයඅධික උෂ්ණත්වවලදී පවා, කාලයත් සමඟ උපාංගවල.
පරාමිතීන්
| දේපළ | වටිනාකම |
| උපස්ථර ද්‍රව්‍ය | සිලිකන් (Si), නිල් මැණික් (Al₂O₃), සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) |
| රන් ස්ථරයේ ඝනකම | 10nm, 50nm, 100nm, 500nm |
| රන් සංශුද්ධතාවය | 99.999%(ප්‍රශස්ත ක්‍රියාකාරිත්වය සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවය) |
| ඇලවුම් පටලය | ක්‍රෝමියම් (Cr),99.98%පිරිසිදුකම |
| මතුපිට රළුබව | නැනෝමීටර කිහිපයක් |
| ප්‍රතිරෝධය (Si වේෆර්) | 1-30 ඕම්/සෙ.මී. |
| වේෆර් ප්‍රමාණයන් | අඟල්-2, අඟල්-4, අඟල් 6, අභිරුචි ප්‍රමාණ |
| Si වේෆර් ඝණකම | 275µමී, 381µමී, 525µමී |
| ටීටීවී | ≤ (අයි.වී.)මීටර් 20µ |
| ප්‍රාථමික පැතලි (Si වේෆර්) | 15.9 ± 1.65 මි.මී.දක්වා32.5 ± 2.5 මි.මී. |
රන් ආලේපිත වේෆර්වල යෙදීම්
අර්ධ සන්නායක ඇසුරුම්කරණය
රන් ආලේපිත වේෆර් බහුලව භාවිතා වන්නේIC ඇසුරුම්කරණය, ඔවුන්ගේවිද්‍යුත් සන්නායකතාවය, යාන්ත්‍රික කල්පැවැත්ම, සහතාප විසර්ජනයගුණාංග විශ්වසනීයත්වය සහතික කරයිඅන්තර් සම්බන්ධකසහබන්ධනයඅර්ධ සන්නායක උපාංගවල.
LED නිෂ්පාදනය
රන් ආලේපිත වේෆර් තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයිLED නිෂ්පාදනය, ඔවුන් වැඩි දියුණු කරන තැනතාප කළමනාකරණයසහවිදුලි කාර්ය සාධනය. රන් තට්ටුව මඟින් අධි බලැති LED මඟින් ජනනය වන තාපය කාර්යක්ෂමව විසුරුවා හැරීම සහතික කරන අතර එමඟින් දිගු ආයු කාලයක් සහ වඩා හොඳ කාර්යක්ෂමතාවයක් ලබා ගත හැකිය.
දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග
In දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික විද්‍යාව, රන් ආලේපිත වේෆර් වැනි උපාංගවල භාවිතා වේප්‍රකාශ අනාවරක, ලේසර් ඩයෝඩ, සහආලෝක සංවේදකරන් ආලේපනය විශිෂ්ටයිතාප සන්නායකතාවයසහවිද්‍යුත් ස්ථායිතාව, ආලෝකය සහ විදුලි සංඥා නිවැරදිව පාලනය කිරීමට අවශ්‍ය උපාංගවල ස්ථාවර කාර්ය සාධනය සහතික කිරීම.
බල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ
රන් ආලේපිත වේෆර් අත්‍යවශ්‍ය වන්නේබල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග, එහිදී ඉහළ කාර්යක්ෂමතාව සහ විශ්වසනීයත්වය ඉතා වැදගත් වේ. මෙම වේෆර් ස්ථාවර බව සහතික කරයිබල පරිවර්තනයසහතාපය විසුරුවා හැරීමවැනි උපාංගවලබල ට්‍රාන්සිස්ටරසහවෝල්ටීයතා නියාමකයින්.
ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික විද්‍යාව සහ MEMS
In ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික විද්‍යාවසහMEMS (ක්ෂුද්‍ර විද්‍යුත් යාන්ත්‍රික පද්ධති), රන් ආලේපිත වේෆර් නිර්මාණය කිරීමට භාවිතා කරයික්ෂුද්‍ර විද්‍යුත් යාන්ත්‍රික සංරචකඒ සඳහා ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ කල්පැවැත්මක් අවශ්‍ය වේ. රන් තට්ටුව ස්ථාවර විදුලි කාර්ය සාධනයක් සපයන අතරයාන්ත්‍රික ආරක්ෂාවසංවේදී ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංගවල.
නිතර අසන ප්‍රශ්න (ප්‍රශ්න සහ පිළිතුරු)
ප්‍රශ්නය 1: වේෆර් ආලේප කිරීම සඳහා රත්තරන් භාවිතා කරන්නේ ඇයි?
ඒ 1:රත්තරන් ඒ සඳහා යොදා ගනීඋසස් විද්‍යුත් සන්නායකතාවය, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, සහතාප කළමනාකරණයගුණාංග. එය සහතික කරයිවිශ්වාසදායක අන්තර් සම්බන්ධතා, දිගු උපාංග ආයු කාලය, සහස්ථාවර කාර්ය සාධනයඅර්ධ සන්නායක යෙදීම් වලදී.
Q2: අර්ධ සන්නායක යෙදීම්වල රන් ආලේපිත වේෆර් භාවිතා කිරීමේ ප්‍රතිලාභ මොනවාද?
ඒ 2:රන් ආලේපිත වේෆර් සපයයිඉහළ විශ්වසනීයත්වයක්, දිගුකාලීන ස්ථාවරත්වය, සහවඩා හොඳ විදුලි හා තාප කාර්ය සාධනය. ඒවා ද වැඩි දියුණු කරයිබන්ධන ගුණාංගසහ ආරක්ෂා කරන්නඔක්සිකරණයසහවිඛාදනය.
Q3: මගේ අයදුම්පත සඳහා මා තෝරා ගත යුතු රන් ආලේපනයේ ඝණකම කුමක්ද?
A3:කදිම ඝණකම ඔබේ නිශ්චිත යෙදුම මත රඳා පවතී.10nmනිරවද්‍ය, සියුම් යෙදුම් සඳහා සුදුසු වන අතර,50nmදක්වා100nmඉහළ බලැති උපාංග සඳහා ආලේපන භාවිතා වේ.500nmඝන ස්ථර අවශ්‍ය වන බර වැඩ යෙදුම් සඳහා භාවිතා කළ හැක.කල්පැවැත්මසහතාපය විසුරුවා හැරීම.
Q4: ඔබට වේෆර් ප්‍රමාණයන් අභිරුචිකරණය කළ හැකිද?
ඒ 4:ඔව්, වේෆර් ලබා ගත හැක්කේඅඟල්-2, අඟල්-4, සහඅඟල් 6සම්මත ප්‍රමාණ, සහ ඔබේ නිශ්චිත අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා අපට අභිරුචි ප්‍රමාණ ද ලබා දිය හැකිය.
Q5: රන් ආලේපනය උපාංගයේ ක්‍රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කරන්නේ කෙසේද?
A5:රත්තරන් වැඩි දියුණු වේතාප විසර්ජනය, විද්‍යුත් සන්නායකතාවය, සහවිඛාදන ප්‍රතිරෝධය, මේ සියල්ල වඩාත් කාර්යක්ෂම කිරීමට දායක වන අතරවිශ්වසනීය අර්ධ සන්නායක උපාංගදිගු මෙහෙයුම් ආයු කාලයක් සහිතව.
Q6: ඇලවුම් පටලය රන් ආලේපනය වැඩි දියුණු කරන්නේ කෙසේද?
ඒ 6:එමක්‍රෝමියම් (Cr)ඇලවුම් පටලය අතර ශක්තිමත් බන්ධනයක් සහතික කරයිරන් තට්ටුවසහඋපස්ථරය, සැකසීමේදී සහ භාවිතයේදී වේෆරයේ දිරාපත්වීම වැළැක්වීම සහ අඛණ්ඩතාව සහතික කිරීම.
නිගමනය
අපගේ රන් ආලේපිත සිලිකන්, නිල් මැණික් සහ SiC වේෆර් අර්ධ සන්නායක යෙදුම් සඳහා උසස් විසඳුම් ලබා දෙන අතර උසස් විද්‍යුත් සන්නායකතාවය, තාප විසර්ජනය සහ විඛාදන ප්‍රතිරෝධය සපයයි. මෙම වේෆර් අර්ධ සන්නායක ඇසුරුම්, LED නිෂ්පාදනය, ඔප්ටෝ ඉලෙක්ට්‍රොනික විද්‍යාව සහ තවත් බොහෝ දේ සඳහා කදිමයි. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් රන්, අභිරුචිකරණය කළ හැකි ආලේපන ඝණකම සහ විශිෂ්ට යාන්ත්‍රික කල්පැවැත්ම සමඟින්, ඒවා ඉල්ලුමක් ඇති පරිසරයන් තුළ දිගුකාලීන විශ්වසනීයත්වය සහ ස්ථාවර ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කරයි.
විස්තරාත්මක රූප සටහන
