නිරවද්‍ය ඔප දැමීමක් සහිත අභිරුචිකරණය කළ හැඩැති නිල් මැණික් දෘශ්‍ය කවුළු නිල් මැණික් සංරචක
තාක්ෂණික පරාමිතීන්
| නිල් මැණික් කවුළුව | |
| මානය | 8-400 මි.මී. |
| මාන ඉවසීම | +0/-0.05මි.මී. |
| මතුපිට ගුණාත්මකභාවය (සීරීම් සහ කැණීම්) | 40/20 |
| මතුපිට නිරවද්‍යතාවය | λ/10per@633nm |
| පැහැදිලි විවරය | ＞: 엄아85%,> 90% |
| සමාන්තර ඉවසීම | ±2''-±3'' |
| බෙවල් | 0.1-0.3 මි.මී |
| ආලේපනය | පාරිභෝගික ඉල්ලීම මත AR/AF/ |
මූලික ලක්ෂණ
1.ද්‍රව්‍යමය උසස් බව
· වැඩිදියුණු කළ තාප ගුණාංග: වේගවත් උෂ්ණත්ව චක්‍රය යටතේ දෘශ්‍ය විකෘති වීම වළක්වන අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකයක් (5.3×10⁻⁶/K) සමඟින්, 35 W/m·K (100°C දී) තාප සන්නායකතාවක් ප්‍රදර්ශනය කරයි. තත්පර කිහිපයකින් 1000°C සිට කාමර උෂ්ණත්වයට තාප කම්පන සංක්‍රාන්ති වලදී පවා ද්‍රව්‍යය ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගනී.
· රසායනික ස්ථායිතාව: දීර්ඝ කාලයක් සාන්ද්‍රිත අම්ල (HF හැර) සහ ක්ෂාර (pH 1-14) වලට නිරාවරණය වන විට ශුන්‍ය හායනය පෙන්නුම් කරයි, එය රසායනික සැකසුම් උපකරණ සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.
· දෘශ්‍ය පිරිපහදුව: දියුණු C-අක්ෂ ස්ඵටික වර්ධනය හරහා, දෘශ්‍ය වර්ණාවලියේ (400-700nm) 85% සම්ප්‍රේෂණයක් ලබා ගනිමින් 0.1%/cm ට අඩු විසිරුම් පාඩු ලබා ගනී.
· විකල්ප අධි-අර්ධගෝලීය ඔප දැමීම 1064nm දී මතුපිට පරාවර්තනයන් මතුපිටකට <0.2% දක්වා අඩු කරයි.
2.නිරවද්‍ය ඉංජිනේරු හැකියාවන්
· නැනෝ පරිමාණ මතුපිට පාලනය: චුම්භක විද්‍යාත්මක නිමාව (MRF) භාවිතා කිරීමෙන්, මතුපිට රළුබව <0.3nm Ra ලබා ගනී, LIDT 1064nm දී 10J/cm² ඉක්මවන අධි බලැති ලේසර් යෙදුම් සඳහා ඉතා වැදගත් වේ, ස්පන්දන 10ns.
· සංකීර්ණ ජ්‍යාමිතික නිෂ්පාදනය: ක්ෂුද්‍ර තරල නාලිකා (50μm පළල ඉවසීම) සහ <100nm විශේෂාංග විභේදනයක් සහිත විවර්තන දෘශ්‍ය මූලද්‍රව්‍ය (DOE) නිර්මාණය කිරීම සඳහා 5-අක්ෂ අතිධ්වනික යන්ත්‍රකරණය ඇතුළත් වේ.
· මිනුම් විද්‍යාව ඒකාබද්ධ කිරීම: ත්‍රිමාණ මතුපිට ලක්ෂණ සඳහා සුදු-ආලෝක අන්තර්මිතිය සහ පරමාණුක බල අන්වීක්ෂය (AFM) ඒකාබද්ධ කරයි, 200mm උපස්ථර හරහා <100nm PV ආකෘතියේ නිරවද්‍යතාවය සහතික කරයි.
ප්‍රාථමික යෙදුම්
1.ආරක්ෂක පද්ධති වැඩිදියුණු කිරීම
· හයිපර්සොනික් වාහන ගෝලාකාර: සීකර් හිස් සඳහා MWIR සම්ප්‍රේෂණය පවත්වා ගනිමින් Mach 5+ වායු තාප බරට ඔරොත්තු දෙන ලෙස නිර්මාණය කර ඇත. විශේෂ නැනෝ සංයුක්ත දාර මුද්‍රා 15G කම්පන බර යටතේ විරූපණය වීම වළක්වයි.
· ක්වොන්ටම් සංවේදන වේදිකා: අතිශය අඩු ද්වි-වර්තන (<5nm/cm) අනුවාද මඟින් සබ්මැරීන් හඳුනාගැනීමේ පද්ධතිවල නිරවද්‍ය චුම්භකමිතිය සක්‍රීය කරයි.
2.කාර්මික ක්‍රියාවලි නවෝත්පාදනය
· අර්ධ සන්නායක අන්ත UV ලිතෝග්‍රැෆි: <0.01nm මතුපිට රළුබවක් සහිත AA ශ්‍රේණියේ ඔප දැමූ කවුළු, ස්ටෙපර් පද්ධතිවල EUV (13.5nm) විසිරුම් පාඩු අවම කරයි.
· න්‍යෂ්ටික ප්‍රතික්‍රියාකාරක අධීක්ෂණය: නියුට්‍රෝන-විනිවිද පෙනෙන ප්‍රභේද (Al₂O₃ සමස්ථානිකව පිරිසිදු කරන ලද) Gen IV ප්‍රතික්‍රියාකාරක මධ්‍යයන්හි තත්‍ය කාලීන දෘශ්‍ය අධීක්ෂණය සපයයි.
3.නැගී එන තාක්ෂණ ඒකාබද්ධතාවය
· අභ්‍යවකාශ පාදක දෘශ්‍ය සන්නිවේදනයන්: විකිරණ-දැඩි කළ අනුවාද (1Mrad ගැමා නිරාවරණයෙන් පසු) LEO චන්ද්‍රිකා ලේසර් හරස් සබැඳි සඳහා >80% සම්ප්‍රේෂණය පවත්වා ගනී.
· ජෛව ඡායාරූප විද්‍යාත්මක අතුරුමුහුණත්: ජෛව-නිෂ්ක්‍රීය මතුපිට ප්‍රතිකාර මඟින් අඛණ්ඩ ග්ලූකෝස් අධීක්ෂණය සඳහා බද්ධ කළ හැකි රාමන් වර්ණාවලීක්ෂ කවුළු සක්‍රීය කරයි.
4.උසස් බලශක්ති පද්ධති
· විලයන ප්‍රතික්‍රියාකාරක රෝග විනිශ්චය: බහු-ස්ථර සන්නායක ආලේපන (ITO-AlN) ටොකමාක් ස්ථාපනයන්හි ප්ලාස්මා නැරඹීම සහ EMI ආවරණ යන දෙකම සපයයි.
· හයිඩ්‍රජන් යටිතල පහසුකම්: ක්‍රයොජනික් ශ්‍රේණියේ අනුවාද (20K දක්වා පරීක්ෂා කර ඇත) ද්‍රව H₂ ගබඩා දර්ශනවල හයිඩ්‍රජන් බිඳවැටීම වළක්වයි.
XKH සේවා සහ සැපයුම් හැකියාවන්
1.අභිරුචි නිෂ්පාදන සේවා
· ඇඳීම මත පදනම් වූ අභිරුචිකරණය: සම්මත නොවන නිර්මාණ (මි.මී. 1 සිට 300 දක්වා මානයන්), දින 20 ක වේගවත් බෙදාහැරීම සහ සති 4 ක් ඇතුළත පළමු වරට මූලාකෘතිකරණය සඳහා සහය දක්වයි.
· ආලේපන විසඳුම්: පරාවර්තන පාඩු අවම කිරීම සඳහා ප්‍රති-පරාවර්තන (AR), ප්‍රති-අපිරිසිදු (AF) සහ තරංග ආයාම-විශේෂිත ආලේපන (UV/IR).
· නිරවද්‍ය ඔප දැමීම සහ පරීක්ෂා කිරීම: පරමාණුක මට්ටමේ ඔප දැමීම ≤0.5 nm මතුපිට රළුබවක් ලබා ගන්නා අතර, අන්තර්ෆෙරොමිතිය λ/10 පැතලි බව අනුකූලතාව සහතික කරයි.
2. සැපයුම් දාමය සහ තාක්ෂණික සහාය
· සිරස් ඒකාබද්ධ කිරීම: ස්ඵටික වර්ධනයේ (චොක්‍රල්ස්කි ක්‍රමය) සිට කැපීම, ඔප දැමීම සහ ආලේපනය දක්වා පූර්ණ ක්‍රියාවලි පාලනය, ද්‍රව්‍ය සංශුද්ධතාවය (ශුන්‍ය/මායිම්-නිදහස්) සහ කාණ්ඩ අනුකූලතාව සහතික කරයි.
· කර්මාන්ත සහයෝගීතාවය: අභ්‍යවකාශ කොන්ත්‍රාත්කරුවන් විසින් සහතික කරන ලදී; ගෘහස්ථ ආදේශනය සඳහා සුපිරි දැලිස් විෂම ව්‍යුහයන් සංවර්ධනය කිරීම සඳහා CAS සමඟ හවුල් විය.
3. නිෂ්පාදන කළඹ සහ සැපයුම්
· සම්මත ඉන්වෙන්ටරි: අඟල් 6 සිට අඟල් 12 දක්වා වේෆර් ආකෘති; ඒකක මිල 43 සිට 82 දක්වා (ප්‍රමාණය/ආලේපනය මත රඳා පවතී), එදිනම නැව්ගත කිරීම සමඟ.
· යෙදුම්-නිශ්චිත සැලසුම් සඳහා තාක්ෂණික උපදේශනය (උදා: රික්ත කුටි සඳහා පියවර කවුළු, තාප කම්පන-ප්‍රතිරෝධී ව්‍යුහයන්).
