Si වේෆර්/දෘශ්ය වීදුරු ද්රව්ය කැපීම සඳහා දියමන්ති වයර් ත්රි-ස්ථාන තනි-වයර් කැපුම් යන්ත්රය
නිෂ්පාදන හැඳින්වීම
දියමන්ති වයර් තුනේ ස්ථාන තනි වයර් කැපුම් යන්ත්රය යනු දෘඩ හා බිඳෙන සුළු ද්රව්ය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් සහ ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයකින් යුත් කැපුම් උපකරණයකි. එය කැපුම් මාධ්යය ලෙස දියමන්ති වයර් භාවිතා කරන අතර සිලිකන් වේෆර්, නිල් මැණික්, සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC), පිඟන් මැටි සහ දෘශ්ය වීදුරු වැනි ඉහළ දෘඪතාව සහිත ද්රව්ය නිරවද්යව සැකසීම සඳහා සුදුසු වේ. ස්ථාන තුනේ සැලසුමක් සහිත මෙම යන්ත්රය, නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කරන අතර නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කරන අතර තනි උපාංගයක් මත බහු වැඩ කොටස් එකවර කැපීමට හැකියාව ලබා දෙයි.
වැඩ කිරීමේ මූලධර්මය
- දියමන්ති වයර් කැපීම: අධිවේගී ප්රත්යාවර්ත චලිතය හරහා ඇඹරුම් පාදක කැපීම සිදු කිරීම සඳහා විද්යුත් ආලේපිත හෝ දුම්මල-බන්ධිත දියමන්ති වයර් භාවිතා කරයි.
- ත්රි-ස්ථාන සමමුහුර්ත කැපීම: ස්වාධීන වැඩපොළවල් තුනකින් සමන්විත වන අතර, ප්රතිදානය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා කෑලි තුනක් එකවර කැපීමට ඉඩ සලසයි.
- ආතති පාලනය: කැපීමේදී ස්ථාවර දියමන්ති වයර් ආතතිය පවත්වා ගැනීම සඳහා ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් ආතති පාලන පද්ධතියක් ඇතුළත් කර ඇති අතර එමඟින් නිරවද්යතාවය සහතික කෙරේ.
- සිසිලන සහ ලිහිසිකරණ පද්ධතිය: තාප හානිය අවම කිරීමට සහ දියමන්ති වයර් ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීමට අයන ඉවත් කළ ජලය හෝ විශේෂිත සිසිලනකාරකයක් භාවිතා කරයි.
උපකරණ විශේෂාංග
- ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් කැපීම: අතිශය තුනී වේෆර් සැකසුම් සඳහා (උදා: ප්රකාශ වෝල්ටීයතා සිලිකන් වේෆර්, අර්ධ සන්නායක වේෆර්) වඩාත් සුදුසු ± 0.02mm කැපුම් නිරවද්යතාවයක් ලබා ගනී.
- ඉහළ කාර්යක්ෂමතාව: තනි ස්ථාන යන්ත්ර හා සසඳන විට ස්ථාන තුනකින් යුත් සැලසුම ඵලදායිතාව 200% කට වඩා වැඩි කරයි.
- අඩු ද්රව්ය අලාභය: පටු කර්ෆ් නිර්මාණය (මි.මී. 0.1–0.2) ද්රව්ය නාස්තිය අඩු කරයි.
- ඉහළ ස්වයංක්රීයකරණය: අතින් මැදිහත්වීම අවම කරමින් ස්වයංක්රීය පැටවීම, පෙළගැස්වීම, කැපීම සහ බෑම පද්ධති ඇතුළත් වේ.
- ඉහළ අනුවර්තනය වීමේ හැකියාව: මොනොක්රිස්ටලීන් සිලිකන්, පොලික්රිස්ටලීන් සිලිකන්, නිල් මැණික්, SiC සහ සෙරමික් ඇතුළු විවිධ දෘඩ හා බිඳෙන සුළු ද්රව්ය කැපීමේ හැකියාව.
තාක්ෂණික වාසි
වාසිය
| විස්තර
|
බහු-ස්ථාන සමමුහුර්ත කැපීම
| ස්වාධීනව පාලනය වන ස්ථාන තුනක් මඟින් විවිධ ඝනකම් හෝ ද්රව්ය සහිත වැඩ කොටස් කැපීමට හැකියාව ලැබෙන අතර, උපකරණ භාවිතය වැඩි දියුණු කරයි.
|
බුද්ධිමත් ආතති පාලනය
| සර්වෝ මෝටර සහ සංවේදක සහිත සංවෘත-ලූප් පාලනය නිරන්තර වයර් ආතතිය සහතික කරයි, කැඩී යාම හෝ කැපුම් අපගමනය වළක්වයි.
|
ඉහළ දෘඩතා ව්යුහය
| අධි-නිරවද්ය රේඛීය මාර්ගෝපදේශ සහ සර්වෝ-ධාවනය කරන ලද පද්ධති ස්ථායී කැපීම සහතික කරන අතර කම්පන බලපෑම් අවම කරයි.
|
බලශක්ති කාර්යක්ෂමතාව සහ පරිසර හිතකාමීත්වය
| සාම්ප්රදායික පොහොර කැපීම හා සසඳන විට, දියමන්ති වයර් කැපීම දූෂණයෙන් තොර වන අතර, සිසිලනකාරකය ප්රතිචක්රීකරණය කළ හැකි අතර, අපද්රව්ය පිරිපහදු කිරීමේ පිරිවැය අඩු කරයි.
|
බුද්ධිමත් අධීක්ෂණය
| කැපුම් වේගය, ආතතිය, උෂ්ණත්වය සහ අනෙකුත් පරාමිතීන් තත්ය කාලීනව නිරීක්ෂණය කිරීම සඳහා PLC සහ ස්පර්ශ තිර පාලන පද්ධති වලින් සමන්විත වන අතර, දත්ත සොයා ගැනීමේ හැකියාව සඳහා සහාය වේ. |
තාක්ෂණික පිරිවිතර
ආකෘතිය | ස්ථාන තුනක දියමන්ති තනි රේඛා කැපුම් යන්ත්රය |
උපරිම වැඩ කොටස ප්රමාණය | 600*600මි.මී. |
වයර් ධාවන වේගය | 1000 (මිශ්ර) m/මිනිත්තුව |
දියමන්ති වයර් විෂ්කම්භය | 0.25-0.48 මි.මී |
සැපයුම් රෝදයේ රේඛීය ගබඩා ධාරිතාව | 20 කි.මී. |
කැපුම් ඝණකම පරාසය | 0-600 මි.මී. |
කැපුම් නිරවද්යතාව | 0.01 මි.මී. |
වැඩපොළේ සිරස් එසවුම් පහර | 800 මි.මී. |
කැපුම් ක්රමය | ද්රව්යය නිශ්චලයි, දියමන්ති වයරය පැද්දෙමින් පහළට යයි. |
කැපුම් පෝෂක වේගය | 0.01-10mm/min (ද්රව්ය හා ඝනකම අනුව) |
ජල ටැංකිය | 150L |
කැපුම් තරලය | මලකඩ විරෝධී ඉහළ කාර්යක්ෂම කැපුම් තරලය |
පැද්දීමේ කෝණය | ±10° |
පැද්දීමේ වේගය | 25°/තත්පර |
උපරිම කැපුම් ආතතිය | 88.0N (අවම ඒකකය 0.1n ලෙස සකසන්න) |
කැපුම් ගැඹුර | 200~600මි.මී. |
පාරිභෝගිකයාගේ කැපුම් පරාසයට අනුව අනුරූප සම්බන්ධක තහඩු සාදන්න. | - |
වැඩපොළ | 3 |
බල සැපයුම | තෙකලා පහේ වයර් AC380V/50Hz |
යන්ත්ර මෙවලමෙහි මුළු බලය | ≤32kw |
ප්රධාන මෝටරය | 1*2kw |
රැහැන් මෝටරය | 1*2kw |
වැඩ බංකු පැද්දීමේ මෝටරය | 0.4*6kw |
ආතති පාලන මෝටරය | 4.4*2kw |
වයර් මුදා හැරීමේ සහ එකතු කිරීමේ මෝටරය | 5.5*2kw |
බාහිර මානයන් (රොකර් අත් පෙට්ටිය හැර) | 4859*2190*2184මි.මී. |
බාහිර මානයන් (රොකර් අත් පෙට්ටිය ඇතුළුව) | 4859*2190*2184මි.මී. |
යන්ත්ර බර | 3600ka |
යෙදුම් ක්ෂේත්ර
- ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය: වේෆර් අස්වැන්න වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා ඒක ස්ඵටික සහ බහු ස්ඵටික සිලිකන් කුට්ටි පෙති කැපීම.
- අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය: SiC සහ GaN වේෆර් නිරවද්යව කැපීම.
- LED කර්මාන්තය: LED චිප නිෂ්පාදනය සඳහා නිල් මැණික් උපස්ථර කැපීම.
- උසස් සෙරමික්: ඇලුමිනා සහ සිලිකන් නයිට්රයිඩ් වැනි ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත සෙරමික් සෑදීම සහ කැපීම.
- දෘශ්ය වීදුරු: කැමරා කාච සහ අධෝරක්ත කවුළු සඳහා අතිශය තුනී වීදුරු නිරවද්ය ලෙස සැකසීම.