ද්විත්ව ස්ථාන හතරැස් යන්ත්‍ර ඒකස්ඵටික සිලිකන් දණ්ඩ සැකසුම් අඟල් 6/8/12 මතුපිට සමතලා බව Ra≤0.5μm

ද්විත්ව ස්ථාන හතරැස් යන්ත්‍ර ඒකස්ඵටික සිලිකන් දණ්ඩ සැකසුම් අඟල් 6/8/12 මතුපිට පැතලි බව Ra≤0.5μm විශේෂාංගගත රූපය

කෙටි විස්තරය:

ඒකස්ඵටික සිලිකන් ද්විත්ව ස්ථාන හතරැස් යන්ත්‍රය යනු ඒකස්ඵටික සිලිකන් දඬු (ඉන්ගෝට්) සැකසීම සඳහා කාර්යක්ෂම උපකරණයකි. එය ද්විත්ව ස්ථාන සමමුහුර්ත මෙහෙයුම් සැලසුමක් අනුගමනය කරන අතර එකවර සිලිකන් දඬු දෙකක් කපා ගත හැකි අතර, නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කරයි. උපාංගය දියමන්ති වයර් කැපීමේ තාක්ෂණය හෝ අභ්‍යන්තර චක්‍රලේඛ කියත් තල හරහා සිලින්ඩරාකාර සිලිකන් දඬු හතරැස්/අර්ධ-චතුරස්‍ර සිලිකන් කුට්ටි (ග්‍රිට්) බවට සකසයි, පසුව පෙති කැපීම සඳහා (සිලිකන් වේෆර් සෑදීම වැනි) සූදානම් වන අතර, ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා සහ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තවල සිලිකන් ද්‍රව්‍ය සැකසුම් සම්බන්ධතා වල බහුලව භාවිතා වේ.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

උපකරණ ලක්ෂණ：

(1) ද්විත්ව ස්ථාන සමමුහුර්ත සැකසුම්
· ද්විත්ව කාර්යක්ෂමතාව: සිලිකන් දඬු දෙකක් (Ø6"-12") එකවර සැකසීම සිම්ප්ලෙක්ස් උපකරණ හා සසඳන විට ඵලදායිතාව 40%-60% කින් වැඩි කරයි.

· ස්වාධීන පාලනය: සෑම ස්ථානයකටම විවිධ සිලිකන් දණ්ඩ පිරිවිතරයන්ට අනුවර්තනය වීමට කැපුම් පරාමිතීන් (ආතතිය, පෝෂණ වේගය) ස්වාධීනව සකස් කළ හැකිය.

(2) ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් කැපීම
· මාන නිරවද්‍යතාවය: හතරැස් තීරු පැති දුර ඉවසීම ± 0.15mm, පරාසය ≤ 0.20mm.

· මතුපිට ගුණාත්මකභාවය: කැපුම් දාර කැඩීම <0.5mm, පසුව ඇඹරීමේ ප්‍රමාණය අඩු කරන්න.

(3) බුද්ධිමත් පාලනය
· අනුවර්තන කැපීම: සිලිකන් දණ්ඩ රූප විද්‍යාව තත්‍ය කාලීනව නිරීක්ෂණය කිරීම, කැපුම් මාර්ගයෙහි ගතික ගැලපීම (නැමුණු සිලිකන් දණ්ඩ සැකසීම වැනි).

· දත්ත සොයා ගැනීමේ හැකියාව: MES පද්ධති ඩොකින් කිරීම සඳහා සහාය වීම සඳහා එක් එක් සිලිකන් දණ්ඩෙහි සැකසුම් පරාමිතීන් වාර්තා කරන්න.

(4) අඩු පරිභෝජන පිරිවැය
· දියමන්ති වයර් පරිභෝජනය: ≤0.06m/mm (සිලිකන් දණ්ඩ දිග), වයර් විෂ්කම්භය ≤0.30mm.

· සිසිලන සංසරණය: පෙරහන් පද්ධතිය සේවා කාලය දීර්ඝ කරන අතර අපද්‍රව්‍ය ද්‍රව බැහැර කිරීම අඩු කරයි.

තාක්ෂණය සහ සංවර්ධන වාසි:

(1) කැපුම් තාක්ෂණය ප්‍රශස්තිකරණය
- බහු රේඛා කැපීම: 100-200 දියමන්ති රේඛා සමාන්තරව භාවිතා කරන අතර, කැපුම් වේගය ≥40mm/min වේ.

- ආතති පාලනය: වයර් කැඩී යාමේ අවදානම අඩු කිරීම සඳහා සංවෘත ලූප ගැලපුම් පද්ධතිය (±1N).

(2) අනුකූලතා දිගුව
- ද්‍රව්‍ය අනුවර්තනය: TOPCon, HJT සහ අනෙකුත් ඉහළ කාර්යක්ෂම බැටරි සිලිකන් දඬු සමඟ අනුකූල වන P-වර්ගය/N-වර්ගයේ මොනොක්‍රිස්ටලීන් සිලිකන් සඳහා සහය දක්වයි.

- නම්‍යශීලී ප්‍රමාණය: සිලිකන් දණ්ඩ දිග 100-950mm, හතරැස් දණ්ඩ පැති දුර 166-233mm වෙනස් කළ හැකිය.

(3) ස්වයංක්‍රීයකරණය උත්ශ්‍රේණි කිරීම
- රොබෝ පැටවීම සහ බෑම: සිලිකන් දඬු ස්වයංක්‍රීයව පැටවීම/බෑම, මිනිත්තු ≤3 ට වඩා අඩුය.

- බුද්ධිමත් රෝග විනිශ්චය: සැලසුම් නොකළ අක්‍රීය කාලය අඩු කිරීම සඳහා පුරෝකථන නඩත්තුව.

(4) කර්මාන්ත නායකත්වය
- වේෆර් ආධාරකය: හතරැස් දඬු සහිත ≥100μm අතිශය තුනී සිලිකන් සැකසිය හැක, ඛණ්ඩනය වීමේ අනුපාතය <0.5%.

- බලශක්ති පරිභෝජනය ප්‍රශස්තකරණය: සිලිකන් දණ්ඩක ඒකකයකට බලශක්ති පරිභෝජනය 30% කින් අඩු වේ (සාම්ප්‍රදායික උපකරණවලට සාපේක්ෂව).

තාක්ෂණික පරාමිතීන්:

පරාමිතියේ නම	දර්ශක අගය
සැකසූ තීරු ගණන	කෑලි 2/කට්ටලය
සැකසුම් තීරු දිග පරාසය	100~950මි.මී.
යන්ත්‍රෝපකරණ ආන්තික පරාසය	166~233මි.මී.
කැපුම් වේගය	≥40 මි.මී./මිනිත්තුව
දියමන්ති වයර් වේගය	0~35m/තත්පර
දියමන්ති විෂ්කම්භය	0.30 මි.මී. හෝ ඊට අඩු
රේඛීය පරිභෝජනය	0.06 m/mm හෝ ඊට අඩු
අනුකූල වටකුරු දණ්ඩ විෂ්කම්භය	නිමි හතරැස් දණ්ඩේ විෂ්කම්භය +2mm, ඔප දැමීමේ සමත් අනුපාතය සහතික කරන්න.
කැපුම් දාර කැඩීම පාලනය කිරීම	අමු දාරය ≤0.5mm, චිපින් නැත, ඉහළ මතුපිට ගුණාත්මකභාවය
චාප දිග ඒකාකාරිත්වය	ප්‍රක්ෂේපණ පරාසය <1.5mm, සිලිකන් දණ්ඩ විකෘති කිරීම හැර
යන්ත්‍ර මානයන් (තනි යන්ත්‍රය)	4800×3020×3660මි.මී
මුළු ශ්‍රේණිගත බලය	56kW බලය
උපකරණවල මළ බර	12ට

යන්ත්‍රෝපකරණ නිරවද්‍යතා දර්ශක වගුව:

නිරවද්‍ය අයිතමය	ඉවසීමේ පරාසය
හතරැස් තීරු මායිම් ඉවසීම	±0.15 මි.මී.
හතරැස් තීරු දාර පරාසය	≤0.20 මි.මී.
හතරැස් දණ්ඩේ සියලු පැතිවල කෝණය	90°±0.05°
හතරැස් දණ්ඩේ පැතලි බව	≤0.15 මි.මී.
රොබෝ නැවත නැවත ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය	±0.05 මි.මී.

XKH හි සේවාවන්:

XKH ඒක-ස්ඵටිකරූපී සිලිකන් ද්විත්ව ස්ථාන යන්ත්‍ර සඳහා පූර්ණ-චක්‍රීය සේවා සපයයි, උපකරණ අභිරුචිකරණය (විශාල සිලිකන් දඬු සමඟ අනුකූල වේ), ක්‍රියාවලි ක්‍රියාත්මක කිරීම (කැපුම් පරාමිති ප්‍රශස්තිකරණය), මෙහෙයුම් පුහුණුව සහ අලෙවියෙන් පසු සහාය (ප්‍රධාන කොටස් සැපයුම, දුරස්ථ රෝග විනිශ්චය), පාරිභෝගිකයින් ඉහළ අස්වැන්නක් (> 99%) සහ අඩු පරිභෝජන පිරිවැය නිෂ්පාදනයක් ලබා ගැනීම සහතික කිරීම සහ තාක්ෂණික වැඩිදියුණු කිරීම් (AI කැපුම් ප්‍රශස්තිකරණය වැනි) සැපයීම ඇතුළුව. බෙදා හැරීමේ කාලය මාස 2-4 කි.