සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්‍රීය වේෆර් මුදු කැපීමේ උපකරණ වැඩ කරන ප්‍රමාණය අඟල් 8/12 වේෆර් මුදු කැපීම
තාක්ෂණික පරාමිතීන්
| පරාමිතිය | ඒකකය | පිරිවිතර |
| උපරිම වැඩ කොටස ප්‍රමාණය | mm | අඟල් 12" |
| ස්පින්ඩල් | වින්‍යාසය | තනි ස්පින්ඩලය |
| වේගය | 3,000–60,000 rpm | |
| නිමැවුම් බලය | මිනිත්තු 30,000 ට 1.8 kW (විකල්ප 2.4)⁻¹ | |
| මැක්ස් බ්ලේඩ් ඩියා. | Ø58 මි.මී. | |
| X-අක්ෂය | කැපුම් පරාසය | 310 මි.මී. |
| Y-අක්ෂය | කැපුම් පරාසය | 310 මි.මී. |
| පියවර වැඩිවීම | 0.0001 මි.මී. | |
| ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය | ≤0.003 mm/310 mm, ≤0.002 mm/5 mm (තනි දෝෂය) | |
| ඉසෙඩ්-අක්ෂය | චලන විභේදනය | 0.00005 මි.මී. |
| පුනරාවර්තන හැකියාව | 0.001 මි.මී. | |
| θ-අක්ෂය | උපරිම භ්‍රමණය | අංශක 380 |
| ස්පින්ඩල් වර්ගය | මුදු කැපීම සඳහා දෘඩ තලයකින් සමන්විත තනි ස්පින්ඩලය | |
| මුදු කැපීමේ නිරවද්‍යතාවය | μm | ±50 |
| වේෆර් ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය | μm | ±50 |
| තනි-වේෆර් කාර්යක්ෂමතාව | මිනි/වේෆර් | 8 |
| බහු-වේෆර් කාර්යක්ෂමතාව | එකවර සකසන ලද වේෆර් 4ක් දක්වා | |
| උපකරණ බර | kg | ≈3,200 |
| උපකරණ මානයන් (W×D×H) | mm | 2,730 × 1,550 × 2,070 |
මෙහෙයුම් මූලධර්මය
මෙම මූලික තාක්ෂණයන් හරහා පද්ධතිය සුවිශේෂී කප්පාදු කිරීමේ කාර්ය සාධනයක් ලබා ගනී:
1. බුද්ධිමත් චලන පාලන පද්ධතිය:
· ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් රේඛීය මෝටර් ධාවකය (පුනරාවර්තන ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය: ±0.5μm)
· සංකීර්ණ ගමන් පථ සැලසුම්කරණයට සහාය වන හය-අක්ෂ සමමුහුර්ත පාලනය
· කැපුම් ස්ථායිතාව සහතික කරන තත්‍ය කාලීන කම්පන මර්දන ඇල්ගොරිතම
2. උසස් හඳුනාගැනීමේ පද්ධතිය:
· ඒකාබද්ධ ත්‍රිමාණ ලේසර් උස සංවේදකය (නිරවද්‍යතාවය: 0.1μm)
· අධි-විභේදන CCD දෘශ්‍ය ස්ථානගත කිරීම (මෙගාපික්සල් 5)
· මාර්ගගත තත්ත්ව පරීක්ෂණ මොඩියුලය
3. සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්‍රීය ක්‍රියාවලිය:
· ස්වයංක්‍රීයව පැටවීම/බෑම (FOUP සම්මත අතුරුමුහුණත අනුකූල වේ)
· බුද්ධිමත් වර්ග කිරීමේ පද්ධතිය
· සංවෘත ලූප පිරිසිදු කිරීමේ ඒකකය (පිරිසිදුකම: 10 පන්තිය)
සාමාන්‍ය යෙදුම්
මෙම උපකරණය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන යෙදුම් හරහා සැලකිය යුතු වටිනාකමක් ලබා දෙයි:
| යෙදුම් ක්ෂේත්‍රය | ක්‍රියාවලි ද්‍රව්‍ය | තාක්ෂණික වාසි |
| IC නිෂ්පාදනය | 8/12" සිලිකන් වේෆර් | ලිතෝග්‍රැෆි පෙළගැස්ම වැඩි දියුණු කරයි |
| බල උපාංග | SiC/GaN වේෆර් | දාර දෝෂ වළක්වයි |
| MEMS සංවේදක | SOI වේෆර් | උපාංගයේ විශ්වසනීයත්වය සහතික කරයි |
| RF උපාංග | GaAs වේෆර් | අධි-සංඛ්‍යාත කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කරයි |
| උසස් ඇසුරුම්කරණය | නැවත සකස් කරන ලද වේෆර් | ඇසුරුම්කරණ අස්වැන්න වැඩි කරයි |
විශේෂාංග
1. ඉහළ සැකසුම් කාර්යක්ෂමතාව සඳහා ස්ථාන හතරක වින්‍යාසය;
2.ස්ථාවර TAIKO මුදු බන්ධනය සහ ඉවත් කිරීම;
3. ප්‍රධාන පරිභෝජන ද්‍රව්‍ය සමඟ ඉහළ අනුකූලතාව;
4. බහු-අක්ෂ සමමුහුර්ත කප්පාදු කිරීමේ තාක්ෂණය නිරවද්‍ය දාර කැපීම සහතික කරයි;
5. සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්‍රීය ක්‍රියාවලි ප්‍රවාහය ශ්‍රම පිරිවැය සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි;
6. අභිරුචිකරණය කළ වැඩ මේස නිර්මාණය මඟින් විශේෂ ව්‍යුහයන් ස්ථාවර ලෙස සැකසීමට හැකියාව ලැබේ;
කාර්යයන්
1. මුදු වැටීම් හඳුනාගැනීමේ පද්ධතිය;
2. ස්වයංක්‍රීය වැඩ මේස පිරිසිදු කිරීම;
3. බුද්ධිමත් UV බන්ධන පද්ධතිය;
4. මෙහෙයුම් ලොග් පටිගත කිරීම;
5. කර්මාන්තශාලා ස්වයංක්‍රීයකරණ මොඩියුල ඒකාබද්ධ කිරීම;
සේවා කැපවීම
ඔබේ නිෂ්පාදන ගමන පුරාවට උපකරණ කාර්ය සාධනය සහ මෙහෙයුම් කාර්යක්ෂමතාව උපරිම කිරීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති පුළුල්, සම්පූර්ණ ජීවන චක්‍ර සහාය සේවා XKH සපයයි.
1. අභිරුචිකරණ සේවා
· සකස් කරන ලද උපකරණ වින්‍යාසය: අපගේ ඉංජිනේරු කණ්ඩායම නිශ්චිත ද්‍රව්‍ය ගුණාංග (Si/SiC/GaAs) සහ ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා මත පදනම්ව පද්ධති පරාමිතීන් (කැපුම් වේගය, තල තේරීම ආදිය) ප්‍රශස්ත කිරීම සඳහා සේවාදායකයින් සමඟ සමීපව සහයෝගයෙන් කටයුතු කරයි.
· ක්‍රියාවලි සංවර්ධන සහාය: දාර රළුබව මැනීම සහ දෝෂ සිතියම්ගත කිරීම ඇතුළුව සවිස්තරාත්මක විශ්ලේෂණ වාර්තා සහිත නියැදි සැකසුම් අපි පිරිනමන්නෙමු.
· පරිභෝජන ද්‍රව්‍ය සම-සංවර්ධනය: නව ද්‍රව්‍ය සඳහා (උදා: Ga₂O₃), යෙදුම්-විශේෂිත තල/ලේසර් දෘෂ්ටි විද්‍යාව සංවර්ධනය කිරීම සඳහා අපි ප්‍රමුඛ පෙළේ පරිභෝජන නිෂ්පාදකයින් සමඟ හවුල් වෙමු.
2. වෘත්තීය තාක්ෂණික සහාය
· කැපවූ ස්ථානීය සහාය: තීරණාත්මක රැම්ප්-අප් අදියර සඳහා සහතික කළ ඉංජිනේරුවන් පවරන්න (සාමාන්‍යයෙන් සති 2-4), ආවරණය කරන්නේ:
උපකරණ ක්‍රමාංකනය සහ ක්‍රියාවලි සියුම් සුසර කිරීම
ක්‍රියාකරු නිපුණතා පුහුණුව
ISO 5 පන්තියේ පිරිසිදු කාමර ඒකාබද්ධ කිරීමේ මාර්ගෝපදේශය
· පුරෝකථන නඩත්තුව: සැලසුම් නොකළ අක්‍රීය කාලය වැළැක්වීම සඳහා කම්පන විශ්ලේෂණය සහ සර්වෝ මෝටර් රෝග විනිශ්චය සමඟ කාර්තුමය සෞඛ්‍ය පරීක්ෂාවන්.
· දුරස්ථ අධීක්ෂණය: ස්වයංක්‍රීය විෂමතා ඇඟවීම් සමඟ අපගේ IoT වේදිකාව (JCFront Connect®) හරහා තත්‍ය කාලීන උපකරණ කාර්ය සාධනය නිරීක්ෂණය කිරීම.
3. අගය එකතු කළ සේවාවන්
· ක්‍රියාවලි දැනුම පදනම: විවිධ ද්‍රව්‍ය සඳහා වලංගු කැපුම් වට්ටෝරු 300+ වෙත ප්‍රවේශ වන්න (කාර්තුමය වශයෙන් යාවත්කාලීන කරන ලදී).
· තාක්ෂණික මාර්ග සිතියම පෙළගැස්ම: දෘඪාංග/මෘදුකාංග උත්ශ්‍රේණි කිරීමේ මාර්ග (උදා: AI මත පදනම් වූ දෝෂ හඳුනාගැනීමේ මොඩියුලය) සමඟින් ඔබේ ආයෝජනය අනාගතයට ඔරොත්තු දෙයි.
· හදිසි ප්‍රතිචාරය: පැය 4ක දුරස්ථ රෝග විනිශ්චය සහ පැය 48ක ස්ථානීය මැදිහත්වීම (ගෝලීය ආවරණය) සහතික කෙරේ.
4. සේවා යටිතල පහසුකම්
· කාර්ය සාධන සහතිකය: SLA-සහාය දක්වන ප්‍රතිචාර වේලාවන් සමඟ ≥98% උපකරණ අතිකාලය සඳහා ගිවිසුම්ගත කැපවීම.
අඛණ්ඩ වැඩිදියුණු කිරීම
අපි වාර්ෂිකව පාරිභෝගික තෘප්තිය පිළිබඳ සමීක්ෂණ පවත්වන අතර සේවා සැපයීම වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා කයිසන් මුලපිරීම් ක්‍රියාත්මක කරමු. අපගේ පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන කණ්ඩායම උපකරණ වැඩිදියුණු කිරීම් සඳහා ක්ෂේත්‍ර අවබෝධයන් පරිවර්තනය කරයි - ස්ථිරාංග වැඩිදියුණු කිරීම් වලින් 30% ක් සේවාදායක ප්‍රතිපෝෂණ වලින් ආරම්භ වේ.
