අර්ධ සන්නායක සඳහා අධි-සංශුද්ධතාවයෙන් පිරුණු ක්වාර්ට්ස් වේෆර්, ෆෝටෝනික්ස් දෘශ්‍ය යෙදුම් 2″4″6″8″12″
විස්තරාත්මක රූප සටහන
ක්වාර්ට්ස් වීදුරු පිළිබඳ දළ විශ්ලේෂණය
ක්වාර්ට්ස් වේෆර් අද ඩිජිටල් ලෝකය මෙහෙයවන අසංඛ්‍යාත නවීන උපාංගවල කොඳු නාරටිය සාදයි. ඔබේ ස්මාර්ට් ජංගම දුරකතනයේ සංචාලනයේ සිට 5G මූලික ස්ථානවල කොඳු නාරටිය දක්වා, ක්වාර්ට්ස් නිහඬව ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සහ ෆෝටෝනික්ස් සඳහා අවශ්‍ය ස්ථායිතාව, සංශුද්ධතාවය සහ නිරවද්‍යතාවය ලබා දෙයි. නම්‍යශීලී පරිපථ සඳහා සහය දැක්වීම, MEMS සංවේදක සක්‍රීය කිරීම හෝ ක්වොන්ටම් පරිගණනය සඳහා පදනම සැකසීම යන ඕනෑම දෙයක්, ක්වාර්ට්ස් හි අද්විතීය ලක්ෂණ එය කර්මාන්ත පුරා අත්‍යවශ්‍ය කරයි.
"විලයන සිලිකා" හෝ "විලයන ක්වාර්ට්ස්" යනු ක්වාර්ට්ස් (SiO2) හි අස්ඵටික අවධියයි. බෝරෝසිලිකේට් වීදුරුවලට වෙනස් කළ විට, විලයන සිලිකා වලට ආකලන නොමැත; එබැවින් එය එහි පිරිසිදු ස්වරූපයෙන් පවතී, SiO2. සාමාන්‍ය වීදුරු හා සසඳන විට විලයන සිලිකා අධෝරක්ත සහ පාරජම්බුල වර්ණාවලියේ ඉහළ සම්ප්‍රේෂණයක් ඇත. විලයන සිලිකා නිපදවනු ලබන්නේ අල්ට්‍රාපියර් SiO2 උණු කිරීම සහ නැවත ඝන කිරීමෙනි. අනෙක් අතට කෘතිම විලයන සිලිකා සෑදී ඇත්තේ SiCl4 වැනි සිලිකන් බහුල රසායනික පූර්වගාමීන්ගෙන් වන අතර ඒවා වායුකරණය කර H2 + O2 වායුගෝලයක ඔක්සිකරණය වේ. මෙම අවස්ථාවේ දී සාදන ලද SiO2 දූවිලි උපස්ථරයක් මත සිලිකා වලට විලයනය වේ. විලයන සිලිකා කුට්ටි වේෆර් වලට කපා පසුව වේෆර් අවසානයේ ඔප දමනු ලැබේ.
ක්වාර්ට්ස් වීදුරු වේෆර් වල ප්‍රධාන ලක්ෂණ සහ ප්‍රතිලාභ
-
අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය (≥99.99% SiO2)
ද්‍රව්‍ය දූෂණය අවම කළ යුතු අතිශය පිරිසිදු අර්ධ සන්නායක සහ ෆෝටෝනික් ක්‍රියාවලීන් සඳහා වඩාත් සුදුසුය. -
පුළුල් තාප මෙහෙයුම් පරාසය
1100°C ට වැඩි ක්‍රයොජනික් උෂ්ණත්වයක සිට විකෘති වීමකින් හෝ පිරිහීමකින් තොරව ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගනී. -
විශිෂ්ට UV සහ IR සම්ප්‍රේෂණය
ගැඹුරු පාරජම්බුල කිරණ (DUV) සිට ආසන්න අධෝරක්ත කිරණ (NIR) දක්වා විශිෂ්ට දෘශ්‍ය පැහැදිලි බවක් ලබා දෙන අතර නිරවද්‍ය දෘශ්‍ය යෙදුම් සඳහා සහාය වේ. -
අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය
උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් යටතේ මාන ස්ථායිතාව වැඩි දියුණු කරයි, ආතතිය අඩු කරයි සහ ක්‍රියාවලි විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කරයි. -
උසස් රසායනික ප්‍රතිරෝධය
බොහෝ අම්ල, ක්ෂාර සහ ද්‍රාවක වලට නිෂ්ක්‍රීයයි - රසායනිකව ආක්‍රමණශීලී පරිසරයන්ට හොඳින් ගැලපේ. -
මතුපිට නිමාව නම්‍යශීලී බව
අතිශය සුමට, තනි-පැති හෝ ද්විත්ව-පැති ඔප දැමූ නිමාවන් සමඟ ලබා ගත හැකි අතර, ෆෝටෝනික්ස් සහ MEMS අවශ්‍යතා සමඟ අනුකූල වේ.
ක්වාර්ට්ස් වීදුරු වේෆර් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය
විලයන ලද ක්වාර්ට්ස් වේෆර් නිෂ්පාදනය කරනු ලබන්නේ පාලිත සහ නිරවද්‍ය පියවර මාලාවක් හරහා ය:
-
අමුද්‍රව්‍ය තෝරා ගැනීම
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ස්වභාවික ක්වාර්ට්ස් හෝ කෘතිම SiO₂ ප්‍රභවයන් තෝරා ගැනීම. -
දියවීම සහ විලයනය
ඇතුළත් කිරීම් සහ බුබුලු ඉවත් කිරීම සඳහා පාලිත වායුගෝලයක් යටතේ විදුලි උදුන් තුළ ක්වාර්ට්ස් ~2000°C දී උණු කරනු ලැබේ. -
බ්ලොක් සෑදීම
උණු කළ සිලිකා ඝන කුට්ටි හෝ කුට්ටි බවට සිසිල් කරනු ලැබේ. -
වේෆර් පෙති කැපීම
ඉන්ගෝට් වේෆර් හිස් තැන් වලට කැපීම සඳහා නිරවද්‍ය දියමන්ති හෝ වයර් කියත් භාවිතා කරයි. -
ලැපින් කිරීම සහ ඔප දැමීම
නිශ්චිත දෘශ්‍ය, ඝණකම සහ රළුබව පිරිවිතරයන් සපුරාලීම සඳහා මතුපිට දෙකම සමතලා කර ඔප දමා ඇත. -
පිරිසිදු කිරීම සහ පරීක්ෂා කිරීම
ISO පන්තියේ 100/1000 පිරිසිදු කාමරවල වේෆර් පිරිසිදු කර ඇති අතර දෝෂ සහ මාන අනුකූලතාව සඳහා දැඩි පරීක්ෂාවකට භාජනය වේ.
ක්වාර්ට්ස් වීදුරු වේෆර් වල ගුණාංග
| පිරිවිතර | ඒකකය | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| විෂ්කම්භය / ප්‍රමාණය (හෝ හතරැස්) | mm | 100 යි | 150 යි | 200 යි | 250 යි | 300 යි |
| ඉවසීම (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| ඝනකම | mm | 0.10 හෝ ඊට වැඩි | 0.30 හෝ ඊට වැඩි | 0.40 හෝ ඊට වැඩි | 0.50 හෝ ඊට වැඩි | 0.50 හෝ ඊට වැඩි |
| ප්‍රාථමික යොමු සමතලය | mm | 32.5 ශ්‍රේණිය | 57.5 යනු කුමක්ද? | අර්ධ-නොච් | අර්ධ-නොච් | අර්ධ-නොච් |
| LTV (5mm×5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| ටීටීවී | μm | 2 | 3 | 3 | 5 | 5 |
| දුන්න | μm | ±20 යනු කුමක්ද? | ±30 යනු කුමක්ද? | ±40 යනු කුමක්ද? | ±40 යනු කුමක්ද? | ±40 යනු කුමක්ද? |
| වෝර්ප් | μm | ≤ 30 ≤ 30 | ≤ 40 ≤ 40 | ≤ 50 ≤ 50 | ≤ 50 ≤ 50 | ≤ 50 ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| දාර වටකුරු කිරීම | mm | SEMI M1.2 ප්‍රමිතියට අනුකූලයි / IEC62276 වෙත යොමු වන්න | ||||
| මතුපිට වර්ගය | තනි පැත්ත ඔප දැමූ / ද්විත්ව පැති ඔප දැමූ | |||||
| ඔප දැමූ පැත්ත Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| පිටුපස පැති නිර්ණායක | μm | සාමාන්‍ය 0.2-0.7 හෝ අභිරුචිකරණය කර ඇත | ||||
ක්වාර්ට්ස් එදිරිව අනෙකුත් විනිවිද පෙනෙන ද්‍රව්‍ය
| දේපළ | ක්වාර්ට්ස් වීදුරු | බොරෝසිලිකේට් වීදුරු | නිල් මැණික් | සම්මත වීදුරු |
|---|---|---|---|---|
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| UV සම්ප්‍රේෂණය | විශිෂ්ටයි (JGS1) | දුප්පත් | හොඳයි | ඉතා දුර්වලයි. |
| රසායනික ප්‍රතිරෝධය | විශිෂ්ටයි | මධ්‍යස්ථ | විශිෂ්ටයි | දුප්පත් |
| පිරිසිදුකම | අතිශයින් ඉහළයි | අඩු සිට මධ්‍යස්ථ | ඉහළ | අඩු |
| තාප ප්‍රසාරණය | ඉතා අඩුයි | මධ්‍යස්ථ | අඩු | ඉහළ |
| පිරිවැය | මධ්‍යස්ථ සිට ඉහළ | අඩු | ඉහළ | ඉතා අඩුයි |
ක්වාර්ට්ස් වීදුරු වේෆර් නිතර අසන ප්‍රශ්න
Q1: ෆියුස් කරන ලද ක්වාර්ට්ස් සහ ෆියුස් කරන ලද සිලිකා අතර වෙනස කුමක්ද?
දෙකම SiO₂ හි අස්ඵටික ආකාර වුවද, විලයනය කරන ලද ක්වාර්ට්ස් සාමාන්‍යයෙන් ස්වාභාවික ක්වාර්ට්ස් ප්‍රභවයන්ගෙන් ආරම්භ වන අතර, විලයනය කරන ලද සිලිකා කෘතිමව නිපදවනු ලැබේ. ක්‍රියාකාරීව, ඒවා සමාන කාර්ය සාධනයක් ලබා දෙයි, නමුත් විලයනය කරන ලද සිලිකා තරමක් ඉහළ සංශුද්ධතාවයක් සහ සමජාතීයතාවයක් තිබිය හැකිය.
Q2: ඉහළ රික්තක පරිසරවල ෆියුස් කරන ලද ක්වාර්ට්ස් වේෆර් භාවිතා කළ හැකිද?
ඔව්. ඒවායේ අඩු වායු පිටකිරීමේ ගුණාංග සහ ඉහළ තාප ප්‍රතිරෝධය නිසා, විලයනය කරන ලද ක්වාර්ට්ස් වේෆර් රික්ත පද්ධති සහ අභ්‍යවකාශ යෙදුම් සඳහා විශිෂ්ටයි.
Q3: මෙම වේෆර් ගැඹුරු UV ලේසර් යෙදුම් සඳහා සුදුසුද?
නියත වශයෙන්ම. විලයන ලද ක්වාර්ට්ස් ~185 nm දක්වා ඉහළ සම්ප්‍රේෂණයක් ඇති අතර, එය DUV දෘෂ්ටි විද්‍යාව, ලිතෝග්‍රැෆි වෙස් මුහුණු සහ එක්සයිමර් ලේසර් පද්ධති සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.
Q4: ඔබ අභිරුචි වේෆර් නිෂ්පාදනයට සහාය දක්වනවාද?
ඔව්. ඔබගේ නිශ්චිත යෙදුම් අවශ්‍යතා මත පදනම්ව, විෂ්කම්භය, ඝණකම, මතුපිට ගුණාත්මකභාවය, පැතලි/නොච් සහ ලේසර් රටා ඇතුළු සම්පූර්ණ අභිරුචිකරණය අපි පිරිනමන්නෙමු.
අපි ගැන
XKH විශේෂ දෘශ්‍ය වීදුරු සහ නව ස්ඵටික ද්‍රව්‍යවල අධි තාක්‍ෂණික සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. අපගේ නිෂ්පාදන දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සහ හමුදාව සඳහා සේවය කරයි. අපි Sapphire දෘශ්‍ය සංරචක, ජංගම දුරකථන කාච ආවරණ, සෙරමික්, LT, සිලිකන් කාබයිඩ් SIC, ක්වාර්ට්ස් සහ අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වේෆර් පිරිනමන්නෙමු. දක්ෂ විශේෂඥතාව සහ අති නවීන උපකරණ සමඟින්, ප්‍රමුඛ පෙළේ දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික ද්‍රව්‍ය අධි තාක්‍ෂණික ව්‍යවසායයක් වීම අරමුණු කරගනිමින්, අපි සම්මත නොවන නිෂ්පාදන සැකසීමේ විශිෂ්ටත්වය අත්කර ගනිමු.
