අධෝරක්ත අනාවරක සඳහා InSb වේෆර් 2inch 3inch unped Ntype P වර්ගයේ දිශානතිය 111 100
විශේෂාංග
තහනම් උත්තේජක විකල්ප:
1.අන්ඩෝප් කරන ලද:මෙම වේෆර් කිසිදු මාත්‍රණ කාරකයකින් තොර වන අතර ප්‍රධාන වශයෙන් එපිටැක්සියල් වර්ධනය වැනි විශේෂිත යෙදුම් සඳහා භාවිතා කරනු ලැබේ, එහිදී වේෆර් පිරිසිදු උපස්ථරයක් ලෙස ක්‍රියා කරයි.
2.N-වර්ගය (Te මාත්‍රණය):ටෙලුරියම් (Te) මාත්‍රණය N-වර්ගයේ වේෆර් නිර්මාණය කිරීමට භාවිතා කරන අතර, ඉහළ ඉලෙක්ට්‍රෝන සංචලතාව ලබා දෙන අතර ඒවා අධෝරක්ත අනාවරක, අධිවේගී ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සහ කාර්යක්ෂම ඉලෙක්ට්‍රෝන ප්‍රවාහයක් අවශ්‍ය අනෙකුත් යෙදුම් සඳහා සුදුසු වේ.
3.P-වර්ගය (Ge මාත්‍රණය):ජර්මේනියම් (Ge) මාත්‍රණය P-වර්ගයේ වේෆර් නිර්මාණය කිරීමට භාවිතා කරයි, ඉහළ සිදුරු සංචලතාව සපයන අතර අධෝරක්ත සංවේදක සහ ෆොටෝඩෙටෙක්ටර් සඳහා විශිෂ්ට කාර්ය සාධනයක් ලබා දෙයි.
ප්‍රමාණ විකල්ප:
1. වේෆර් අඟල් 2 සහ අඟල් 3 විෂ්කම්භයන්ගෙන් ලබා ගත හැකිය. මෙය විවිධ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් සහ උපාංග සමඟ අනුකූලතාව සහතික කරයි.
2. අඟල් 2 වේෆරයේ විෂ්කම්භය 50.8±0.3mm වන අතර, අඟල් 3 වේෆරයේ විෂ්කම්භය 76.2±0.3mm වේ.
දිශානතිය:
1. වේෆර් 100 සහ 111 දිශානති සහිතව ලබා ගත හැකිය. 100 දිශානතිය අධිවේගී ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සහ අධෝරක්ත අනාවරක සඳහා වඩාත් සුදුසු වන අතර, 111 දිශානතිය නිශ්චිත විද්‍යුත් හෝ දෘශ්‍ය ගුණාංග අවශ්‍ය උපාංග සඳහා නිතර භාවිතා වේ.
මතුපිට ගුණාත්මකභාවය:
1.මෙම වේෆර් විශිෂ්ට ගුණාත්මක භාවය සඳහා ඔප දැමූ/කැටයම් කළ මතුපිට සමඟ එන අතර, නිරවද්‍ය දෘශ්‍ය හෝ විද්‍යුත් ලක්ෂණ අවශ්‍ය වන යෙදුම්වල ප්‍රශස්ත ක්‍රියාකාරිත්වය සක්‍රීය කරයි.
2. මතුපිට සකස් කිරීම අඩු දෝෂ ඝනත්වයක් සහතික කරයි, මෙම වේෆර් කාර්ය සාධන අනුකූලතාව ඉතා වැදගත් වන අධෝරක්ත හඳුනාගැනීමේ යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.
එපි-සූදානම්:
1.මෙම වේෆර් එපි-සූදානම් වන අතර, උසස් අර්ධ සන්නායක හෝ දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා වේෆරය මත අමතර ද්‍රව්‍ය ස්ථර තැන්පත් වන එපිටැක්සියල් වර්ධනයට අදාළ යෙදුම් සඳහා ඒවා සුදුසු වේ.
අයදුම්පත්
1. අධෝරක්ත අනාවරක:InSb වේෆර්, විශේෂයෙන් මධ්‍යම තරංග ආයාම අධෝරක්ත (MWIR) පරාසවල, අධෝරක්ත අනාවරක නිෂ්පාදනයේදී බහුලව භාවිතා වේ. ඒවා රාත්‍රී දර්ශන පද්ධති, තාප ප්‍රතිබිම්බකරණය සහ හමුදා යෙදුම් සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වේ.
2. අධෝරක්ත රූපකරණ පද්ධති:InSb වේෆර්වල ඉහළ සංවේදීතාව ආරක්ෂාව, නිරීක්ෂණ සහ විද්‍යාත්මක පර්යේෂණ ඇතුළු විවිධ අංශවල නිරවද්‍ය අධෝරක්ත රූපකරණයට ඉඩ සලසයි.
3. අධිවේගී ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ:ඒවායේ ඉහළ ඉලෙක්ට්‍රෝන සංචලනය හේතුවෙන්, මෙම වේෆර් අධිවේගී ට්‍රාන්සිස්ටර සහ දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග වැනි දියුණු ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංගවල භාවිතා වේ.
4. ක්වොන්ටම් ළිං උපාංග:ලේසර්, අනාවරක සහ අනෙකුත් දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික පද්ධතිවල ක්වොන්ටම් ළිං යෙදීම් සඳහා InSb වේෆර් කදිම වේ.
නිෂ්පාදන පරාමිතීන්
| පරාමිතිය | අඟල්-2 | අඟල්-3 |
| විෂ්කම්භය | 50.8±0.3මි.මී. | 76.2±0.3මි.මී. |
| ඝනකම | 500±5μm | 650±5μm |
| මතුපිට | ඔප දැමූ/ඇති | ඔප දැමූ/ඇති |
| තහනම් උත්තේජක වර්ගය | මාත්‍රණය නොකළ, ටෙ-මාත්‍රණය කළ (N), භූ-මාත්‍රණය කළ (P) | මාත්‍රණය නොකළ, ටෙ-මාත්‍රණය කළ (N), භූ-මාත්‍රණය කළ (P) |
| දිශානතිය | 100, 111 | 100, 111 |
| පැකේජය | තනි | තනි |
| එපි-රෙඩි | ඔව් | ඔව් |
ටෙ මාත්‍රණය (N-වර්ගය) සඳහා විද්‍යුත් පරාමිතීන්:
- සංචලතාව: 2000-5000 සෙ.මී.²/V·s
- ප්‍රතිරෝධකතාව: (1-1000) Ω·සෙ.මී.
- EPD (දෝෂ ඝනත්වය): ≤2000 දෝෂ/cm²
Ge Doped (P-Type) සඳහා විද්‍යුත් පරාමිතීන්:
- සංචලතාව: 4000-8000 සෙ.මී.²/V·s
- ප්‍රතිරෝධකතාව: (0.5-5) Ω·සෙ.මී.
EPD (දෝෂ ඝනත්වය): ≤2000 දෝෂ/cm²
ප්‍රශ්නෝත්තර (නිතර අසනු ලබන ප්‍රශ්න)
Q1: අධෝරක්ත හඳුනාගැනීමේ යෙදුම් සඳහා කදිම මාත්‍රණ වර්ගය කුමක්ද?
ඒ 1:ටෙ-ඩෝප් කළ (N-වර්ගය)මධ්‍යම තරංග ආයාම අධෝරක්ත (MWIR) අනාවරක සහ රූපකරණ පද්ධතිවල ඉහළ ඉලෙක්ට්‍රෝන සංචලතාව සහ විශිෂ්ට ක්‍රියාකාරිත්වයක් ලබා දෙන බැවින්, වේෆර් සාමාන්‍යයෙන් අධෝරක්ත හඳුනාගැනීමේ යෙදුම් සඳහා කදිම තේරීම වේ.
Q2: අධිවේගී ඉලෙක්ට්‍රොනික යෙදුම් සඳහා මට මෙම වේෆර් භාවිතා කළ හැකිද?
A2: ඔව්, InSb වේෆර්, විශේෂයෙන්N-වර්ගයේ තහනම් උත්තේජක භාවිතයසහ100 දිශානතිය, ඒවායේ ඉහළ ඉලෙක්ට්‍රෝන සංචලනය නිසා ට්‍රාන්සිස්ටර, ක්වොන්ටම් ළිං උපාංග සහ දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික සංරචක වැනි අධිවේගී ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සඳහා හොඳින් ගැලපේ.
Q3: InSb වේෆර් සඳහා 100 සහ 111 දිශානති අතර වෙනස්කම් මොනවාද?
A3: ද100 යිඅධිවේගී ඉලෙක්ට්‍රොනික කාර්ය සාධනයක් අවශ්‍ය උපාංග සඳහා දිශානතිය බහුලව භාවිතා වන අතර,111 (111)විවිධ විද්‍යුත් හෝ දෘශ්‍ය ලක්ෂණ අවශ්‍ය වන විශේෂිත යෙදුම් සඳහා දිශානතිය බොහෝ විට භාවිතා වේ, ඇතැම් දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සහ සංවේදක ද ඇතුළුව.
Q4: InSb වේෆර් සඳහා Epi-Ready විශේෂාංගයේ වැදගත්කම කුමක්ද?
A4: දඑපි-රෙඩිවිශේෂාංගයෙන් අදහස් වන්නේ වේෆරය එපිටැක්සියල් තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන් සඳහා පූර්ව-ප්‍රතිකාර කර ඇති බවයි. දියුණු අර්ධ සන්නායක හෝ දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදනය වැනි වේෆරය මත අමතර ද්‍රව්‍ය ස්ථර වර්ධනය අවශ්‍ය වන යෙදුම් සඳහා මෙය ඉතා වැදගත් වේ.
Q5: අධෝරක්ත තාක්ෂණ ක්ෂේත්‍රයේ InSb වේෆර් වල සාමාන්‍ය යෙදුම් මොනවාද?
A5: InSb වේෆර් ප්‍රධාන වශයෙන් අධෝරක්ත හඳුනාගැනීම, තාප රූපකරණය, රාත්‍රී දර්ශන පද්ධති සහ අනෙකුත් අධෝරක්ත සංවේදක තාක්ෂණයන්හි භාවිතා වේ. ඒවායේ ඉහළ සංවේදීතාව සහ අඩු ශබ්දය ඒවා වඩාත් සුදුසු වේමධ්‍යම තරංග ආයාම අධෝරක්ත (MWIR)අනාවරක.
ප්‍රශ්නය 6: වේෆරයේ ඝණකම එහි ක්‍රියාකාරිත්වයට බලපාන්නේ කෙසේද?
A6: වේෆරයේ ඝණකම එහි යාන්ත්‍රික ස්ථායිතාව සහ විද්‍යුත් ලක්ෂණ සඳහා තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ද්‍රව්‍යමය ගුණාංග පිළිබඳ නිරවද්‍ය පාලනයක් අවශ්‍ය වන වඩාත් සංවේදී යෙදුම්වල තුනී වේෆර් බොහෝ විට භාවිතා වන අතර, ඝන වේෆර් ඇතැම් කාර්මික යෙදුම් සඳහා වැඩි දියුණු කළ කල්පැවැත්මක් සපයයි.
Q7: මගේ යෙදුම සඳහා සුදුසු වේෆර් ප්‍රමාණය තෝරා ගන්නේ කෙසේද?
A7: සුදුසු වේෆර් ප්‍රමාණය නිර්මාණය කරනු ලබන නිශ්චිත උපාංගය හෝ පද්ධතිය මත රඳා පවතී. කුඩා වේෆර් (අඟල් 2) බොහෝ විට පර්යේෂණ සහ කුඩා පරිමාණ යෙදුම් සඳහා භාවිතා කරන අතර, විශාල වේෆර් (අඟල් 3) සාමාන්‍යයෙන් මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනය සඳහා සහ වැඩි ද්‍රව්‍ය අවශ්‍ය වන විශාල උපාංග සඳහා භාවිතා වේ.
නිගමනය
InSb වේෆර්අඟල්-2සහඅඟල්-3ප්‍රමාණ, සමඟඅහෝසි කරන ලදී, N-වර්ගය, සහP-වර්ගයවිචලනයන්, අර්ධ සන්නායක සහ දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික යෙදීම්වල, විශේෂයෙන් අධෝරක්ත හඳුනාගැනීමේ පද්ධතිවල ඉතා වටිනා වේ.100 යිසහ111 (111)අධිවේගී ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණවල සිට අධෝරක්ත රූපකරණ පද්ධති දක්වා විවිධ තාක්ෂණික අවශ්‍යතා සඳහා දිශානති නම්‍යශීලී බවක් ලබා දෙයි. ඒවායේ සුවිශේෂී ඉලෙක්ට්‍රෝන සංචලනය, අඩු ශබ්දය සහ නිරවද්‍ය මතුපිට ගුණාත්මකභාවය සමඟින්, මෙම වේෆර් වඩාත් සුදුසු වේමධ්‍යම තරංග ආයාම අධෝරක්ත අනාවරකසහ අනෙකුත් ඉහළ කාර්යසාධන යෙදුම්.
විස්තරාත්මක රූප සටහන
