5G/6G සන්නිවේදනය සඳහා LiTaO3 වේෆර් 2inch-8inch 10x10x0.5 mm 1sp 2sp
තාක්ෂණික පරාමිතීන්
| නම | දෘශ්‍ය ශ්‍රේණියේ LiTaO3 | ශබ්ද වගු මට්ටම LiTaO3 |
| අක්ෂීය | Z කැපීම + / - 0.2° | 36° Y කැපුම / 42° Y කැපුම / X කැපුම (+ / - 0.2°) |
| විෂ්කම්භය | 76.2මි.මී. + / - 0.3මි.මී./ 100±0.2මි.මී. | 76.2මි.මී. + /-0.3මි.මී. 100මි.මී. + /-0.3මි.මී. 0r 150±0.5මි.මී. |
| දින තලය | 22මි.මී. + / - 2මි.මී. | 22මි.මී. + /-2මි.මී. 32මි.මී. + /-2මි.මී. |
| ඝනකම | 500um + /-5මි.මී. 1000um + /-5මි.මී. | 500um + /-20 මි.මී. 350um + /-20 මි.මී. |
| ටීටීවී | ≤ 10මි | ≤ 10මි |
| කියුරි උෂ්ණත්වය | 605 °C + / - 0.7 °C (DTA ක්‍රමය) | 605 °C + / -3 °C (DTAක්‍රමය |
| මතුපිට ගුණාත්මකභාවය | ද්විත්ව ඒක පාර්ශවීය ඔප දැමීම | ද්විත්ව ඒක පාර්ශවීය ඔප දැමීම |
| චැම්ෆර්ඩ් දාර | දාර වටකුරු කිරීම | දාර වටකුරු කිරීම |
ප්‍රධාන ලක්ෂණ
1.විදුලි සහ දෘශ්‍ය කාර්ය සාධනය
· විද්‍යුත්-දෘශ්‍ය සංගුණකය: r33 30 pm/V (X-cut) දක්වා ළඟා වේ, LiNbO3 ට වඩා 1.5× ඉහළ, අතිශය පුළුල් කලාප විද්‍යුත්-දෘශ්‍ය මොඩියුලේෂන් (>40 GHz කලාප පළල) සක්‍රීය කරයි.
· පුළුල් වර්ණාවලි ප්‍රතිචාරය: සම්ප්‍රේෂණ පරාසය 0.4–5.0 μm (8 mm ඝණකම), පාරජම්බුල අවශෝෂණ දාරය 280 nm තරම් අඩු, UV ලේසර් සහ ක්වොන්ටම් තිත් උපාංග සඳහා වඩාත් සුදුසුය.
· අඩු පයිරෝ ඉලෙක්ට්‍රික් සංගුණකය: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), ඉහළ උෂ්ණත්ව අධෝරක්ත සංවේදකවල ස්ථායිතාව සහතික කරයි.
2. තාප සහ යාන්ත්‍රික ගුණාංග
· ඉහළ තාප සන්නායකතාවය: 4.6 W/m·K (X-කැපීම), ක්වාර්ට්ස් මෙන් හතර ගුණයක්, -200–500°C තාප චක්‍රයට ඔරොත්තු දීම.
· අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), තාප ආතතිය අවම කිරීම සඳහා සිලිකන් ඇසුරුම් සමඟ අනුකූල වේ.
3. දෝෂ පාලනය සහ සැකසුම් නිරවද්‍යතාවය
· ක්ෂුද්‍ර පයිප්ප ඝනත්වය: <0.1 cm⁻² (අඟල් 8 වේෆර්), විස්ථාපන ඝනත්වය <500 cm⁻² (KOH කැටයම් හරහා සත්‍යාපනය කර ඇත).
· මතුපිට ගුණාත්මකභාවය: EUV ලිතෝග්‍රැෆි ශ්‍රේණියේ පැතලි බව අවශ්‍යතා සපුරාලන, Ra <0.5 nm දක්වා CMP-ඔප දමා ඇත.
ප්‍රධාන යෙදුම්
| වසම | යෙදුම් අවස්ථා | තාක්ෂණික වාසි |
| දෘශ්‍ය සන්නිවේදනය | 100G/400G DWDM ලේසර්, සිලිකන් ෆෝටෝනික්ස් දෙමුහුන් මොඩියුල | LiTaO3 වේෆරයේ පුළුල් වර්ණාවලි සම්ප්‍රේෂණය සහ අඩු තරංග මාර්ගෝපදේශ අලාභය (α <0.1 dB/cm) C-කලාප ප්‍රසාරණය සක්‍රීය කරයි. |
| 5G/6G සන්නිවේදනය | SAW පෙරහන් (1.8–3.5 GHz), BAW-SMR පෙරහන් | 42°Y-කැපුම් වේෆර් Kt² >15% ලබා ගන්නා අතර, අඩු ඇතුළු කිරීමේ අලාභයක් (<1.5 dB) සහ ඉහළ රෝල්-ඕෆ් (>30 dB) ලබා දෙයි. |
| ක්වොන්ටම් ටෙක්නොලොජීස් | තනි-ෆෝටෝන අනාවරක, පරාමිතික පහළ-පරිවර්තන ප්‍රභවයන් | ඉහළ රේඛීය නොවන සංගුණකය (χ(2)=40 pm/V) සහ අඩු අඳුරු ගණන් කිරීමේ අනුපාතය (<100 ගණන්/තත්පර) ක්වොන්ටම් විශ්වාසවන්තභාවය වැඩි දියුණු කරයි. |
| කාර්මික සංවේදනය | අධි උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදක, ධාරා ට්‍රාන්ස්ෆෝමර් | LiTaO3 වේෆරයේ පීසෝ ඉලෙක්ට්‍රික් ප්‍රතිචාරය (g33 >20 mV/m) සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව ඉවසීම (>400°C) ආන්තික පරිසරයන්ට ගැලපේ. |
XKH සේවා
1. අභිරුචි වේෆර් නිෂ්පාදනය
· ප්‍රමාණය සහ කැපීම: X/Y/Z-කැපීම, 42°Y-කැපීම සහ අභිරුචි කෝණික කැපුම් (±0.01° ඉවසීම) සහිත අඟල් 2–8 වේෆර්.
· මාත්‍රණ පාලනය: විද්‍යුත්-දෘශ්‍ය සංගුණක සහ තාප ස්ථායිතාව ප්‍රශස්ත කිරීම සඳහා චොක්‍රල්ස්කි ක්‍රමය (සාන්ද්‍රණ පරාසය 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) හරහා Fe, Mg මාත්‍රණය කිරීම.
2.උසස් ක්‍රියාවලි තාක්ෂණයන්
· ආවර්තිතා පොලිං (PPLT): LTOI වේෆර් සඳහා ස්මාර්ට්-කට් තාක්ෂණය, ±10 nm වසම් කාල පරිච්ඡේද නිරවද්‍යතාවය සහ අර්ධ-අදියර-ගැලපෙන (QPM) සංඛ්‍යාත පරිවර්තනය සාක්ෂාත් කර ගැනීම.
· විෂමජාතීය ඒකාබද්ධ කිරීම: අධි-සංඛ්‍යාත SAW පෙරහන් සඳහා ඝනකම පාලනය (300–600 nm) සහ 8.78 W/m·K දක්වා තාප සන්නායකතාවක් සහිත Si-පාදක LiTaO3 සංයුක්ත වේෆර් (POI).
3.තත්ත්ව කළමනාකරණ පද්ධති
· අන්තයේ සිට අවසානය දක්වා පරීක්ෂාව: රාමන් වර්ණාවලීක්ෂය (බහුරූපී සත්‍යාපනය), XRD (ස්ඵටිකතාව), AFM (මතුපිට රූප විද්‍යාව), සහ දෘශ්‍ය ඒකාකාරතා පරීක්ෂාව (Δn <5×10⁻⁵).
4. ගෝලීය සැපයුම් දාම සහාය
· නිෂ්පාදන ධාරිතාව: මාසික ප්‍රතිදානය > 5,000 වේෆර් (අඟල් 8: 70%), පැය 48ක හදිසි බෙදාහැරීමක් සමඟ.
· සැපයුම් ජාලය: උෂ්ණත්වය පාලනය කරන ලද ඇසුරුම් සහිත ගුවන්/මුහුදු භාණ්ඩ ප්‍රවාහනය හරහා යුරෝපය, උතුරු ඇමරිකාව සහ ආසියා-පැසිෆික් කලාපය පුරා ආවරණය.
