LT ලිතියම් ටැන්ටලේට් (LiTaO3) ස්ඵටික 2 අඟල්/3 අඟල්/4 අඟල්/6 අඟල් ඔරියන්ටයිටන් Y-42°/36°/108° ඝණකම 250-500um
තාක්ෂණික පරාමිතීන්
| නම | දෘශ්‍ය ශ්‍රේණියේ LiTaO3 | ශබ්ද වගු මට්ටම LiTaO3 |
| අක්ෂීය | Z කැපීම + / - 0.2° | 36° Y කැපුම / 42° Y කැපුම / X කැපුම(+ / - 0.2°) |
| විෂ්කම්භය | 76.2මි.මී. + / - 0.3මි.මී./100±0.2මි.මී. | 76.2මි.මී. + /-0.3මි.මී.100මි.මී. + /-0.3මි.මී. 0r 150±0.5මි.මී. |
| දින තලය | 22මි.මී. + / - 2මි.මී. | 22මි.මී. + /-2මි.මී.32මි.මී. + /-2මි.මී. |
| ඝනකම | 500um + /-5මි.මී.1000um + /-5මි.මී. | 500um + /-20 මි.මී.350um + /-20 මි.මී. |
| ටීටීවී | ≤ 10මි | ≤ 10මි |
| කියුරි උෂ්ණත්වය | 605 °C + / - 0.7 °C (DTA ක්‍රමය) | 605 °C + / -3 °C (DTAක්‍රමය |
| මතුපිට ගුණාත්මකභාවය | ද්විත්ව ඒක පාර්ශවීය ඔප දැමීම | ද්විත්ව ඒක පාර්ශවීය ඔප දැමීම |
| චැම්ෆර්ඩ් දාර | දාර වටකුරු කිරීම | දාර වටකුරු කිරීම |
ප්‍රධාන ලක්ෂණ
1.ස්ඵටික ව්‍යුහය සහ විද්‍යුත් ක්‍රියාකාරිත්වය
· ස්ඵටික විද්‍යාත්මක ස්ථායිතාව: 100% 4H-SiC බහු-වර්ගයේ ආධිපත්‍යය, බහු-ස්ඵටික ඇතුළත් කිරීම් ශුන්‍ය වේ (උදා: 6H/15R), XRD රොකිං වක්‍රය පූර්ණ-පළල අර්ධ-උපරිම (FWHM) ≤32.7 චාප තත්පර.
· ඉහළ වාහක සංචලතාව: ඉලෙක්ට්‍රෝන සංචලතාව 5,400 cm²/V·s (4H-SiC) සහ සිදුරු සංචලතාව 380 cm²/V·s, අධි-සංඛ්‍යාත උපාංග සැලසුම් සක්‍රීය කරයි.
· විකිරණ දෘඪතාව: 1×10¹⁵ n/cm² විස්ථාපන හානි සීමාවක් සහිත 1 MeV නියුට්‍රෝන ප්‍රකිරණයකට ඔරොත්තු දෙන අතර, අභ්‍යවකාශ සහ න්‍යෂ්ටික යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසුය.
2. තාප හා යාන්ත්‍රික ගුණාංග
· සුවිශේෂී තාප සන්නායකතාවය: 4.9 W/cm·K (4H-SiC), සිලිකන් මෙන් තුන් ගුණයකින් වැඩි වීම, 200°C ට වැඩි ක්‍රියාකාරිත්වයට සහාය වීම.
· අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය: 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C) CTE, සිලිකන් පාදක ඇසුරුම් සමඟ අනුකූලතාව සහතික කිරීම සහ තාප ආතතිය අවම කිරීම.
3. දෝෂ පාලනය සහ සැකසුම් නිරවද්‍යතාවය
· ක්ෂුද්‍ර පයිප්ප ඝනත්වය: <0.3 cm⁻² (අඟල් 8 වේෆර්), විස්ථාපන ඝනත්වය <1,000 cm⁻² (KOH කැටයම් හරහා සත්‍යාපනය කර ඇත).
· මතුපිට ගුණාත්මකභාවය: EUV ලිතෝග්‍රැෆි ශ්‍රේණියේ පැතලි බව අවශ්‍යතා සපුරාලන, Ra <0.2 nm දක්වා CMP-ඔප දමා ඇත.
ප්‍රධාන යෙදුම්
| වසම | යෙදුම් අවස්ථා | තාක්ෂණික වාසි |
| දෘශ්‍ය සන්නිවේදනය | 100G/400G ලේසර්, සිලිකන් ෆෝටෝනික් දෙමුහුන් මොඩියුල | InP බීජ උපස්ථර මඟින් සෘජු කලාප පරතරය (1.34 eV) සහ Si-පාදක විෂම එපිටැක්සි සක්‍රීය කරයි, දෘශ්‍ය සම්බන්ධක අලාභය අඩු කරයි. |
| නව බලශක්ති වාහන | 800V අධි වෝල්ටීයතා ඉන්වර්ටර්, ඔන්බෝඩ් චාජර් (OBC) | 4H-SiC උපස්ථර 1,200 V ට වඩා ඔරොත්තු දෙන අතර, සන්නායක පාඩු 50% කින් සහ පද්ධති පරිමාව 40% කින් අඩු කරයි. |
| 5G සන්නිවේදනය | මිලිමීටර-තරංග RF උපාංග (PA/LNA), මූලික ස්ථාන බල ඇම්ප්ලිෆයර් | අර්ධ පරිවාරක SiC උපස්ථර (ප්‍රතිරෝධකතාව >10⁵ Ω·cm) අධි-සංඛ්‍යාත (60 GHz+) නිෂ්ක්‍රීය ඒකාබද්ධ කිරීම සක්‍රීය කරයි. |
| කාර්මික උපකරණ; | අධි උෂ්ණත්ව සංවේදක, ධාරා පරිවර්තක, න්‍යෂ්ටික ප්‍රතික්‍රියාකාරක මොනිටර | InSb බීජ උපස්ථර (0.17 eV කලාප පරතරය) 300%@10 T දක්වා චුම්භක සංවේදීතාව ලබා දෙයි. |
LiTaO₃ වේෆර් - ප්‍රධාන ලක්ෂණ
1. උසස් පීසෝ ඉලෙක්ට්‍රික් කාර්ය සාධනය
· ඉහළ පීසෝ ඉලෙක්ට්‍රික් සංගුණක (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) 5G RF පෙරහන් සඳහා <1.5dB ඇතුළත් කිරීමේ අලාභයක් සහිත ඉහළ සංඛ්‍යාත SAW/BAW උපාංග සක්‍රීය කරයි.
· විශිෂ්ට විද්‍යුත් යාන්ත්‍රික සම්බන්ධ කිරීම 6GHz ට අඩු සහ mmWave යෙදුම් සඳහා පුළුල් කලාප පළල (≥5%) පෙරහන් සැලසුම් සඳහා සහය දක්වයි.
2. දෘශ්‍ය ගුණාංග
· 40GHz කලාප පළලට වඩා වැඩි ප්‍රමාණයක් ලබා ගන්නා විද්‍යුත්-දෘශ්‍ය මොඩියුලේටර් සඳහා පුළුල් කලාප විනිවිදභාවය (> 400-5000nm සිට 70% සම්ප්‍රේෂණය)
· ශක්තිමත් රේඛීය නොවන දෘශ්‍ය සංවේදීතාව (χ⁽²⁾~30pm/V) ලේසර් පද්ධතිවල කාර්යක්ෂම දෙවන හාර්මොනික් උත්පාදනය (SHG) සඳහා පහසුකම් සපයයි.
3. පාරිසරික ස්ථායිතාව
· ඉහළ කියුරි උෂ්ණත්වය (600°C) වාහන ශ්‍රේණියේ (-40°C සිට 150°C) පරිසරවල පීසෝ ඉලෙක්ට්‍රික් ප්‍රතිචාරය පවත්වා ගනී.
· අම්ල/ක්ෂාර (pH1-13) වලට එරෙහිව රසායනික නිෂ්ක්‍රීයතාවය කාර්මික සංවේදක යෙදීම්වල විශ්වසනීයත්වය සහතික කරයි.
4. අභිරුචිකරණ හැකියාවන්
· දිශානති ඉංජිනේරු විද්‍යාව: සකස් කරන ලද පීසෝ ඉලෙක්ට්‍රික් ප්‍රතිචාර සඳහා X-කැපීම (51°), Y-කැපීම (0°), Z-කැපීම (36°)
· මාත්‍රණ විකල්ප: Mg-මාත්‍රණය (දෘශ්‍ය හානි ප්‍රතිරෝධය), Zn-මාත්‍රණය (වැඩි දියුණු කළ d₃₃)
· මතුපිට නිමාවන්: එපිටැක්සියල්-සූදානම් ඔප දැමීම (Ra<0.5nm), ITO/Au ලෝහකරණය
LiTaO₃ වේෆර් - ප්‍රාථමික යෙදුම්
1. RF ඉදිරිපස-අන්ත මොඩියුල
· සංඛ්‍යාතයේ උෂ්ණත්ව සංගුණකය (TCF) <|-15ppm/°C| සහිත 5G NR SAW පෙරහන් (බෑන්ඩ් n77/n79)
· WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz) සඳහා අල්ට්‍රා-වයිඩ්බෑන්ඩ් BAW අනුනාදක
2. ඒකාබද්ධ ෆෝටෝනික්ස්
· සුසංයෝගී දෘශ්‍ය සන්නිවේදනය සඳහා අධිවේගී Mach-Zehnder මොඩියුලේටර් (>100Gbps)
· 3-14μm සිට සුසර කළ හැකි කැපුම් තරංග ආයාම සහිත QWIP අධෝරක්ත අනාවරක
3. මෝටර් රථ ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ
· 200kHz ට වැඩි ක්‍රියාකාරී සංඛ්‍යාතයක් සහිත අතිධ්වනික වාහන නැවැත්වීමේ සංවේදක
· -40°C සිට 125°C දක්වා තාප චක්‍රයේ නොනැසී පවතින TPMS පීසෝ ඉලෙක්ට්‍රික් පරිවර්තක
4. ආරක්ෂක පද්ධති
· 60dB ට වැඩි කලාප ප්‍රතික්ෂේප කිරීමක් සහිත EW ග්‍රාහක පෙරහන්
· 3-5μm MWIR විකිරණ සම්ප්‍රේෂණය කරන මිසයිල සීකර් IR කවුළු
5. නැගී එන තාක්ෂණයන්
· මයික්‍රෝවේව්-දෘෂ්‍ය බවට පරිවර්තනය සඳහා දෘෂ්ටි යාන්ත්‍රික ක්වොන්ටම් පරිවර්තක
· වෛද්‍ය අල්ට්‍රා සවුන්ඩ් රූපකරණය සඳහා PMUT අරා (>20MHz විභේදනය)
LiTaO₃ වේෆර් - XKH සේවා
1. සැපයුම් දාම කළමනාකරණය
· සම්මත පිරිවිතර සඳහා සති 4ක ඉදිරි කාලයක් සහිත බෝල්-ටු-වේෆර් සැකසීම
· තරඟකරුවන්ට සාපේක්ෂව 10-15% මිල වාසියක් ලබා දෙන පිරිවැය-ප්‍රශස්ත නිෂ්පාදනය
2. අභිරුචි විසඳුම්
· දිශානතියට විශේෂිත වූ වේෆරින්: ප්‍රශස්ත SAW කාර්ය සාධනය සඳහා 36°±0.5° Y-කැපීම
· මාත්‍රණය කරන ලද සංයුති: දෘශ්‍ය යෙදුම් සඳහා MgO (5mol%) මාත්‍රණය කිරීම
ලෝහකරණ සේවා: Cr/Au (100/1000Å) ඉලෙක්ට්‍රෝඩ රටාකරණය
3. තාක්ෂණික සහාය
· ද්‍රව්‍ය ලක්ෂණකරණය: XRD පැද්දෙන වක්‍ර (FWHM <0.01°), AFM මතුපිට විශ්ලේෂණය
· උපාංග සමාකරණය: SAW පෙරහන් සැලසුම් ප්‍රශස්තිකරණය සඳහා FEM ආකෘති නිර්මාණය
නිගමනය
LiTaO₃ වේෆර් මඟින් RF සන්නිවේදනය, ඒකාබද්ධ ෆෝටෝනික්ස් සහ කටුක පරිසර සංවේදක හරහා තාක්ෂණික දියුණුව සක්‍රීය කරයි. XKH හි ද්‍රව්‍යමය විශේෂඥතාව, නිෂ්පාදන නිරවද්‍යතාවය සහ යෙදුම් ඉංජිනේරු සහාය පාරිභෝගිකයින්ට ඊළඟ පරම්පරාවේ ඉලෙක්ට්‍රොනික පද්ධතිවල නිර්මාණ අභියෝග ජය ගැනීමට උපකාරී වේ.
ආශ්රිත නිෂ්පාදන
-
මැණික් කැපීම සඳහා රූබි ද්‍රව්‍ය කෘතිම කොරන්ඩම්...
-
රසායනාගාරයෙන් නිර්මාණය කරන ලද රූබි රළු ගල් විචිත්රවත් රතු අභ්යන්තර...
-
2අඟල් 6H-N සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරය සික් වේෆර් ...
-
සිලිකන් කාබයිඩ් ප්‍රතිරෝධය සහිත දිගු ස්ඵටික උදුන...
-
සින්තටික් එමරල්ඩ් කොළ නිල් මැණික්, ගී ගයන්න...
-
Sapphire IPL බ්ලොක් 50*50*15mmt කැටි කිරීමේ ස්ථානය ...