මයික්‍රොජෙට් ලේසර් තාක්ෂණ උපකරණ වේෆර් කැපීම SiC ද්‍රව්‍ය සැකසීම

කෙටි විස්තරය:

මයික්‍රොජෙට් ලේසර් තාක්‍ෂණ උපකරණ යනු අධි ශක්ති ලේසර් සහ මයික්‍රෝන මට්ටමේ ද්‍රව ජෙට් ඒකාබද්ධ කරන නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ පද්ධතියකි. ලේසර් කදම්භය අධිවේගී ද්‍රව ජෙට් (ඩයෝනීකරණය කළ ජලය හෝ විශේෂ ද්‍රව) සමඟ සම්බන්ධ කිරීමෙන්, ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් සහ අඩු තාප හානියක් සහිත ද්‍රව්‍ය සැකසීම සාක්ෂාත් කරගත හැකිය. මෙම තාක්ෂණය දෘඩ හා බිඳෙන සුළු ද්‍රව්‍ය (SiC, නිල් මැණික්, වීදුරු වැනි) කැපීම, කැණීම සහ ක්ෂුද්‍ර ව්‍යුහ සැකසීම සඳහා විශේෂයෙන් සුදුසු වන අතර අර්ධ සන්නායක, ප්‍රකාශ විද්‍යුත් සංදර්ශකය, වෛද්‍ය උපකරණ සහ අනෙකුත් ක්ෂේත්‍රවල බහුලව භාවිතා වේ.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

වැඩ කිරීමේ මූලධර්මය:

1. ලේසර් සම්බන්ධ කිරීම: ස්පන්දන ලේසර් (UV/කොළ/අධෝරක්ත) ද්‍රව ජෙට් එක තුළ නාභිගත කර ස්ථාවර ශක්ති සම්ප්‍රේෂණ නාලිකාවක් සාදයි.

2. ද්‍රව මාර්ගෝපදේශය: අධිවේගී ජෙට් යානය (ප්‍රවාහ අනුපාතය 50-200m/s) සැකසුම් ප්‍රදේශය සිසිල් කිරීම සහ තාප සමුච්චය වීම සහ දූෂණය වළක්වා ගැනීම සඳහා සුන්බුන් ඉවත් කිරීම.

3. ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම: ලේසර් ශක්තිය මඟින් ද්‍රව්‍යයේ සීතල සැකසුම් ලබා ගැනීම සඳහා ද්‍රවයේ කුහර ආචරණය ඇති කරයි (තාප බලපෑමට ලක් වූ කලාපය <1μm).

4. ගතික පාලනය: විවිධ ද්‍රව්‍ය හා ව්‍යුහයන්ගේ අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා ලේසර් පරාමිතීන් (බලය, සංඛ්‍යාතය) සහ ජෙට් පීඩනය තත්‍ය කාලීනව ගැලපීම.

ප්‍රධාන පරාමිතීන්:

1. ලේසර් බලය: 10-500W (වෙනස් කළ හැකි)

2. ජෙට් විෂ්කම්භය: 50-300μm

3. යන්ත්‍රෝපකරණ නිරවද්‍යතාවය: ±0.5μm (කැපීම), ගැඹුර සිට පළල අනුපාතය 10:1 (කැපීම)

තාක්ෂණික වාසි:

(1) තාප හානිය පාහේ ශුන්‍ය වේ
- ද්‍රව ජෙට් සිසිලනය තාප බලපෑමට ලක් වූ කලාපය (HAZ) **<1μm** දක්වා පාලනය කරයි, සාම්ප්‍රදායික ලේසර් සැකසුම් (HAZ සාමාන්‍යයෙන් >10μm) නිසා ඇතිවන ක්ෂුද්‍ර ඉරිතැලීම් වළක්වයි.

(2) අතිශය ඉහළ නිරවද්‍යතා යන්ත්‍රෝපකරණ
- **±0.5μm** දක්වා කැපීමේ/කැණීමේ නිරවද්‍යතාවය, දාර රළුබව Ra<0.2μm, පසුව ඔප දැමීමේ අවශ්‍යතාවය අඩු කරයි.

- සංකීර්ණ ත්‍රිමාණ ව්‍යුහ සැකසුම් සඳහා සහාය වීම (කේතුකාකාර සිදුරු, හැඩැති තව් වැනි).

(3) පුළුල් ද්‍රව්‍ය අනුකූලතාව
- දෘඩ හා බිඳෙන සුළු ද්‍රව්‍ය: SiC, නිල් මැණික්, වීදුරු, පිඟන් මැටි (සාම්ප්‍රදායික ක්‍රම මගින් පහසුවෙන් කැඩී යා හැක).

- තාප සංවේදී ද්‍රව්‍ය: පොලිමර්, ජීව විද්‍යාත්මක පටක (තාප විරූපණය වීමේ අවදානමක් නැත).

(4) පාරිසරික ආරක්ෂාව සහ කාර්යක්ෂමතාව
- දූවිලි දූෂණයක් නැත, දියර ප්‍රතිචක්‍රීකරණය කර පෙරීම කළ හැකිය.

- සැකසුම් වේගය 30%-50% කින් වැඩි වීම (යන්ත්‍රකරණයට එරෙහිව).

(5) බුද්ධිමත් පාලනය
- ඒකාබද්ධ දෘශ්‍ය ස්ථානගත කිරීම සහ AI පරාමිති ප්‍රශස්තිකරණය, අනුවර්තන ද්‍රව්‍ය ඝණකම සහ දෝෂ.

තාක්ෂණික පිරිවිතර:

කවුන්ටර ටොප් ශබ්දය	300300150	400400200
රේඛීය අක්ෂය XY	රේඛීය මෝටරය. රේඛීය මෝටරය	රේඛීය මෝටරය. රේඛීය මෝටරය
රේඛීය අක්ෂය Z	150 යි	200 යි
ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය μm	+/-5	+/-5
නැවත නැවත ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය μm	+/-2	+/-2
ත්වරණය G	1	0.29 යනු
සංඛ්‍යාත්මක පාලනය	3 අක්ෂ /3+1 අක්ෂය /3+2 අක්ෂය	3 අක්ෂ /3+1 අක්ෂය /3+2 අක්ෂය
සංඛ්‍යාත්මක පාලන වර්ගය	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
තරංග ආයාමය nm	532/1064	532/1064
ශ්‍රේණිගත බලය W	200/50/100	200/50/100
ජල ජෙට් යානය	40-100	40-100
තුණ්ඩ පීඩන තීරුව	50-100	50-600
මානයන් (යන්ත්‍ර මෙවලම) (පළල * දිග * උස) මි.මී.	144519442260	170015002120
ප්‍රමාණය (පාලන කැබිනට්ටුව) (W * L * H)	70025001600	70025001600
බර (උපකරණ) ටී	2.5 මාලා	3
බර (පාලන කැබිනට්ටුව) KG	800 යි	800 යි
සැකසුම් හැකියාව	මතුපිට රළුබව Ra≤1.6um විවෘත කිරීමේ වේගය ≥1.25mm/s වට ප්‍රමාණය කැපීම ≥6mm/s රේඛීය කැපුම් වේගය ≥50mm/s	මතුපිට රළුබව Ra≤1.2um විවෘත කිරීමේ වේගය ≥1.25mm/s වට ප්‍රමාණය කැපීම ≥6mm/s රේඛීය කැපුම් වේගය ≥50mm/s
	ගැලියම් නයිට්‍රයිඩ් ස්ඵටික, අතිශය පුළුල් කලාප පරතරය අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය (දියමන්ති/ගැලියම් ඔක්සයිඩ්), අභ්‍යවකාශ විශේෂ ද්‍රව්‍ය, LTCC කාබන් සෙරමික් උපස්ථරය, ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා, සින්ටයිලේටර් ස්ඵටික සහ අනෙකුත් ද්‍රව්‍ය සැකසුම් සඳහා. සටහන: සැකසුම් ධාරිතාව ද්‍රව්‍යමය ලක්ෂණ අනුව වෙනස් වේ.

සැකසුම් නඩුව:

XKH හි සේවාවන්:

XKH, මුල් ක්‍රියාවලි සංවර්ධනය සහ උපකරණ තේරීමේ උපදේශනයේ සිට, මධ්‍ය කාලීන අභිරුචිකරණය කළ පද්ධති ඒකාබද්ධ කිරීම (ලේසර් ප්‍රභවයේ විශේෂ ගැලපීම, ජෙට් පද්ධතිය සහ ස්වයංක්‍රීයකරණ මොඩියුලය ඇතුළුව), පසුකාලීන මෙහෙයුම් සහ නඩත්තු පුහුණුව සහ අඛණ්ඩ ක්‍රියාවලි ප්‍රශස්තිකරණය දක්වා, මයික්‍රොජෙට් ලේසර් තාක්‍ෂණ උපකරණ සඳහා සම්පූර්ණ ජීවන චක්‍ර සේවා සහාය ලබා දෙයි, සමස්ත ක්‍රියාවලියම වෘත්තීය තාක්ෂණික කණ්ඩායම් සහායෙන් සමන්විත වේ; වසර 20 ක නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ අත්දැකීම් මත පදනම්ව, අර්ධ සන්නායක සහ වෛද්‍ය වැනි විවිධ කර්මාන්ත සඳහා උපකරණ සත්‍යාපනය, මහා පරිමාණ නිෂ්පාදන හඳුන්වාදීම සහ අලෙවියෙන් පසු වේගවත් ප්‍රතිචාරය (පැය 24 ක තාක්ෂණික සහාය + ප්‍රධාන අමතර කොටස් සංචිතය) ඇතුළු එක්-නැවතුම් විසඳුම් අපට ලබා දිය හැකි අතර, මාස 12 ක දිගු වගකීමක් සහ ජීවිත කාලය පුරාම නඩත්තු කිරීම සහ උත්ශ්‍රේණි කිරීමේ සේවාව පොරොන්දු වේ. පාරිභෝගික උපකරණ සෑම විටම කර්මාන්තයේ ප්‍රමුඛ සැකසුම් කාර්ය සාධනය සහ ස්ථාවරත්වය පවත්වා ගෙන යන බවට සහතික වන්න.