උසස් ද්රව්ය සඳහා මයික්රොජෙට් ජල-මාර්ගෝපදේශ ලේසර් කැපුම් පද්ධතිය
ඉහළම වාසි
1. ජල මාර්ගෝපදේශය හරහා අසමසම බලශක්ති අවධානය
ලේසර් තරංග මාර්ගෝපදේශයක් ලෙස සියුම් ලෙස පීඩනයට ලක් වූ ජල ජෙට් යානයක් භාවිතා කිරීමෙන්, පද්ධතිය වායු මැදිහත්වීම් ඉවත් කර සම්පූර්ණ ලේසර් නාභිගත කිරීම සහතික කරයි. ප්රතිඵලය වන්නේ තියුණු, පිරිසිදු දාර සහිත අතිශය පටු කැපුම් පළල - 20μm තරම් කුඩා - ය.
2. අවම තාප පියසටහන
පද්ධතියේ තත්ය කාලීන තාප නියාමනය මඟින් තාප බලපෑමට ලක් වූ කලාපය කිසි විටෙකත් 5μm නොඉක්මවන බව සහතික කරයි, එය ද්රව්ය ක්රියාකාරිත්වය ආරක්ෂා කිරීම සහ ක්ෂුද්ර ඉරිතැලීම් වළක්වා ගැනීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.
3. පුළුල් ද්රව්ය අනුකූලතාව
ද්විත්ව තරංග ආයාම ප්රතිදානය (532nm/1064nm) වැඩිදියුණු කළ අවශෝෂණ සුසර කිරීමක් සපයන අතර, යන්ත්රය දෘශ්යමය වශයෙන් විනිවිද පෙනෙන ස්ඵටිකවල සිට පාරාන්ධ සෙරමික් දක්වා විවිධ උපස්ථර වලට අනුවර්තනය කළ හැකිය.
4. අධිවේගී, අධි-නිරවද්ය චලන පාලනය
රේඛීය සහ සෘජු-ධාවක මෝටර සඳහා විකල්ප සමඟින්, පද්ධතිය නිරවද්යතාවයට හානියක් නොකර ඉහළ-ප්රතිදාන අවශ්යතා සඳහා සහය දක්වයි. පස්-අක්ෂ චලිතය තවදුරටත් සංකීර්ණ රටා උත්පාදනය සහ බහු-දිශානුගත කැපීම් සක්රීය කරයි.
5. මොඩියුලර් සහ පරිමාණය කළ හැකි නිර්මාණය
පරිශීලකයින්ට යෙදුම් ඉල්ලීම් මත පදනම්ව පද්ධති වින්යාසයන් සකස් කළ හැකිය - රසායනාගාර පාදක මූලාකෘතිකරණයේ සිට නිෂ්පාදන පරිමාණයේ යෙදවීම් දක්වා - එය පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන සහ කාර්මික වසම් හරහා සුදුසු වේ.
යෙදුම් ක්ෂේත්ර
තුන්වන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක:
SiC සහ GaN වේෆර් සඳහා පරිපූර්ණ මෙම පද්ධතිය, සුවිශේෂී දාර අඛණ්ඩතාවයකින් ඩයිසිං, අගල් කැපීම සහ පෙති කැපීම සිදු කරයි.
දියමන්ති සහ ඔක්සයිඩ් අර්ධ සන්නායක යන්ත්රෝපකරණ:
කාබනීකරණයක් හෝ තාප විරූපණයක් නොමැතිව, තනි-ස්ඵටික දියමන්ති සහ Ga₂O₃ වැනි ඉහළ දෘඪතාවක් ඇති ද්රව්ය කැපීම සහ කැණීම සඳහා භාවිතා වේ.
උසස් අභ්යවකාශ සංරචක:
ජෙට් එන්ජින් සහ චන්ද්රිකා සංරචක සඳහා අධි-ආතන්ය සෙරමික් සංයුක්ත සහ සුපිරි මිශ්ර ලෝහවල ව්යුහාත්මක හැඩගැස්වීමට සහාය වේ.
ප්රකාශ වෝල්ටීයතා සහ සෙරමික් උපස්ථර:
අන්තර් සම්බන්ධතා සඳහා සිදුරු සහ ස්ලොට් ඇඹරීම ඇතුළුව තුනී වේෆර් සහ LTCC උපස්ථර වල බර්-රහිත කැපීම සක්රීය කරයි.
සින්ටිලේටර් සහ දෘශ්ය සංරචක:
Ce:YAG, LSO, සහ අනෙකුත් බිඳෙන සුළු දෘශ්ය ද්රව්යවල මතුපිට සුමට බව සහ සම්ප්රේෂණය පවත්වා ගනී.
පිරිවිතර
විශේෂාංගය | පිරිවිතර |
ලේසර් මූලාශ්රය | DPSS Nd:YAG |
තරංග ආයාම විකල්ප | 532nm / 1064nm |
බල මට්ටම් | වොට් 50 / 100 / 200 |
නිරවද්යතාවය | ±5μm |
කැපුම් පළල | 20μm තරම් පටුයි |
තාපයෙන් බලපෑමට ලක් වූ කලාපය | ≤5μm |
චලන වර්ගය | රේඛීය / සෘජු ධාවකය |
සහාය දක්වන ද්රව්ය | SiC, GaN, දියමන්ති, Ga₂O₃, ආදිය. |
මෙම පද්ධතිය තෝරා ගන්නේ ඇයි?
● තාප ඉරිතැලීම් සහ දාර චිපින් වැනි සාමාන්ය ලේසර් යන්ත්රෝපකරණ ගැටළු ඉවත් කරයි.
● අධික වියදම් සහිත ද්රව්ය සඳහා අස්වැන්න සහ අනුකූලතාව වැඩි දියුණු කරයි.
● නියමු පරිමාණ සහ කාර්මික භාවිතය යන දෙකටම අනුවර්තනය කළ හැකිය.
● ද්රව්ය විද්යාව පරිණාමය වීම සඳහා අනාගතයට ඔරොත්තු දෙන වේදිකාවක්
ප්රශ්නෝත්තර
Q1: මෙම පද්ධතියට සැකසිය හැකි ද්රව්ය මොනවාද?
A: පද්ධතිය විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත්තේ දෘඩ හා බිඳෙන සුළු ඉහළ වටිනාකමක් ඇති ද්රව්ය සඳහා ය. එයට සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC), ගැලියම් නයිට්රයිඩ් (GaN), දියමන්ති, ගැලියම් ඔක්සයිඩ් (Ga₂O₃), LTCC උපස්ථර, අභ්යවකාශ සංයුක්ත, ප්රකාශ වෝල්ටීයතා වේෆර් සහ Ce:YAG හෝ LSO වැනි සින්ටයිලේටර් ස්ඵටික ඵලදායී ලෙස සැකසිය හැකිය.
Q2: ජල මාර්ගෝපදේශක ලේසර් තාක්ෂණය ක්රියා කරන්නේ කෙසේද?
A: එය ලේසර් කදම්භය සම්පූර්ණ අභ්යන්තර පරාවර්තනය හරහා මෙහෙයවීම සඳහා අධි පීඩන ක්ෂුද්ර ජල ජෙට් එකක් භාවිතා කරයි, අවම විසිරීමකින් ලේසර් ශක්තිය ඵලදායී ලෙස යොමු කරයි.මෙය අතිශය සියුම් අවධානය, අඩු තාප බර සහ 20μm දක්වා රේඛා පළල සහිත නිරවද්ය කැපීම් සහතික කරයි.
Q3: පවතින ලේසර් බල වින්යාසයන් මොනවාද?
A: පාරිභෝගිකයින්ට ඔවුන්ගේ සැකසුම් වේගය සහ විභේදන අවශ්යතා අනුව 50W, 100W සහ 200W ලේසර් බල විකල්ප වලින් තෝරා ගත හැකිය.සියලුම විකල්ප ඉහළ කදම්භ ස්ථායිතාව සහ පුනරාවර්තන හැකියාව පවත්වා ගනී.
විස්තරාත්මක රූප සටහන




