SiC නිල් මැණික් අතිශය දෘඩ බිඳෙන සුළු ද්‍රව්‍ය සඳහා බහු-වයර් දියමන්ති කියත් යන්ත්‍රය
බහු-වයර් දියමන්ති කියත් යන්ත්‍රය පිළිබඳ හැඳින්වීම
බහු-වයර් දියමන්ති කියත් යන්ත්‍රය යනු අතිශයින් දෘඩ හා බිඳෙන සුළු ද්‍රව්‍ය සැකසීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අති නවීන පෙති කැපීමේ පද්ධතියකි. සමාන්තර දියමන්ති ආලේපිත වයර් රාශියක් යෙදවීමෙන්, යන්ත්‍රයට එකවර තනි චක්‍රයක් තුළ බහු වේෆර් කපා ගත හැකි අතර, ඉහළ ප්‍රතිදානය සහ නිරවද්‍යතාවය යන දෙකම ලබා ගත හැකිය. මෙම තාක්ෂණය අර්ධ සන්නායක, සූර්ය ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා, LED සහ උසස් පිඟන් මැටි වැනි කර්මාන්තවල, විශේෂයෙන් SiC, නිල් මැණික්, GaN, ක්වාර්ට්ස් සහ ඇලුමිනා වැනි ද්‍රව්‍ය සඳහා අත්‍යවශ්‍ය මෙවලමක් බවට පත්ව ඇත.
සාම්ප්‍රදායික තනි-වයර් කැපීම හා සසඳන විට, බහු-වයර් වින්‍යාසය කාණ්ඩයකට දුසිම් ගනනක් සිට සිය ගණනක් දක්වා පෙති ලබා දෙයි, විශිෂ්ට පැතලි බව (Ra < 0.5 μm) සහ මාන නිරවද්‍යතාවය (±0.02 mm) පවත්වා ගනිමින් චක්‍ර කාලය බෙහෙවින් අඩු කරයි. එහි මොඩියුලර් සැලසුම ස්වයංක්‍රීය වයර් ආතතිය, වැඩ කොටස් හැසිරවීමේ පද්ධති සහ මාර්ගගත අධීක්ෂණය ඒකාබද්ධ කරයි, දිගුකාලීන, ස්ථාවර සහ සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්‍රීය නිෂ්පාදනය සහතික කරයි.
බහු වයර් දියමන්ති කියත් යන්ත්‍රයේ තාක්ෂණික පරාමිතීන්
| අයිතමය | පිරිවිතර | අයිතමය | පිරිවිතර |
|---|---|---|---|
| උපරිම වැඩ ප්‍රමාණය (හතරැස්) | 220 × 200 × 350 මි.මී. | ධාවක මෝටරය | 17.8 kW × 2 |
| උපරිම වැඩ ප්‍රමාණය (වටය) | Φ205 × 350 මි.මී. | වයර් ඩ්‍රයිව් මෝටරය | 11.86 kW × 2 |
| ස්පින්ඩල් පරතරය | Φ250 ±10 × 370 × 2 අක්ෂය (මි.මී.) | වැඩ මේස එසවුම් මෝටරය | 2.42 kW × 1 |
| ප්‍රධාන අක්ෂය | 650 මි.මී. | පැද්දෙන මෝටරය | 0.8 kW × 1 |
| වයර් ධාවන වේගය | 1500 m/මිනිත්තුව | සැකසුම් මෝටරය | 0.45 kW × 2 |
| වයර් විෂ්කම්භය | Φ0.12–0.25 මි.මී. | ආතති මෝටරය | 4.15 kW × 2 |
| එසවුම් වේගය | 225 මි.මී./මිනිත්තුව | ස්ලරි මෝටරය | 7.5 kW × 1 |
| උපරිම මේස භ්‍රමණය | ±12° | ස්ලරි ටැංකි ධාරිතාව | 300 ලීටර් |
| පැද්දීමේ කෝණය | ±3° | සිසිලනකාරක ප්‍රවාහය | 200 ලී/මිනිත්තුව |
| පැද්දීමේ සංඛ්‍යාතය | ~30 වතාවක්/මිනිත්තුවකට | උෂ්ණත්ව නිරවද්‍යතාවය | ±2 °C |
| ආහාර අනුපාතය | 0.01–9.99 මි.මී./මිනිත්තුව | බල සැපයුම | 335+210 (මි.මී.²) |
| වයර් පෝෂණ අනුපාතය | 0.01–300 මි.මී./මිනිත්තුව | සම්පීඩිත වාතය | 0.4–0.6 MPa |
| යන්ත්‍ර ප්‍රමාණය | 3550 × 2200 × 3000 මි.මී. | බර | කිලෝග්‍රෑම් 13,500 |
බහු-වයර් දියමන්ති කියත් යන්ත්‍රයේ ක්‍රියාකාරී යාන්ත්‍රණය
-
බහු-වයර් කැපුම් චලිතය
බහු දියමන්ති වයර් 1500 m/min දක්වා සමමුහුර්ත වේගයකින් ගමන් කරයි. නිරවද්‍ය-මාර්ගෝපදේශක පුලි සහ සංවෘත-ලූප් ආතති පාලනය (15–130 N) වයර් ස්ථාවරව තබා ගන්නා අතර, අපගමනය හෝ කැඩී යාමේ අවස්ථාව අඩු කරයි. -
නිවැරදි පෝෂණය සහ ස්ථානගත කිරීම
සර්වෝ-ධාවනය කරන ලද ස්ථානගත කිරීම ±0.005 මි.මී. නිරවද්‍යතාවයක් ලබා ගනී. විකල්ප ලේසර් හෝ දෘශ්‍ය-සහායිත පෙළගැස්ම සංකීර්ණ හැඩතල සඳහා ප්‍රතිඵල වැඩි දියුණු කරයි. -
සිසිලනය සහ සුන්බුන් ඉවත් කිරීම
අධි පීඩන සිසිලනකාරකය අඛණ්ඩව චිප්ස් ඉවත් කර වැඩ කරන ප්‍රදේශය සිසිල් කරයි, තාප හානිය වළක්වයි. බහු-අදියර පෙරීම සිසිලනකාරකයේ ආයු කාලය දීර්ඝ කරන අතර අක්‍රිය කාලය අඩු කරයි. -
ස්මාර්ට් පාලන වේදිකාව
ඉහළ ප්‍රතිචාර දක්වන සර්වෝ ධාවක (<1 ms) පෝෂණය, ආතතිය සහ වයර් වේගය ගතිකව සකස් කරයි. ඒකාබද්ධ වට්ටෝරු කළමනාකරණය සහ එක්-ක්ලික් පරාමිති මාරු කිරීම මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනය විධිමත් කරයි.
බහු-වයර් දියමන්ති කියත් යන්ත්‍රයේ මූලික ප්‍රතිලාභ
-
ඉහළ ඵලදායිතාව
ධාවනයකට වේෆර් 50-200ක් කැපීමේ හැකියාව ඇති අතර, කර්ෆ් අලාභය μm 100 ට වඩා අඩු වන අතර, ද්‍රව්‍ය භාවිතය 40% දක්වා වැඩි දියුණු කරයි. සාම්ප්‍රදායික තනි වයර් පද්ධතිවල ප්‍රතිදානය 5-10× වේ. -
නිරවද්‍යතා පාලනය
±0.5 N තුළ වයර් ආතති ස්ථායිතාව විවිධ බිඳෙනසුලු ද්‍රව්‍ය මත ස්ථාවර ප්‍රතිඵල සහතික කරයි. 10" HMI අතුරුමුහුණතක් මත තත්‍ය කාලීන අධීක්ෂණය වට්ටෝරු ගබඩා කිරීම සහ දුරස්ථ ක්‍රියාකාරිත්වය සඳහා සහාය වේ. -
නම්‍යශීලී, මොඩියුලර් ගොඩනැගීම
විවිධ කැපුම් ක්‍රියාවලීන් සඳහා 0.12–0.45 mm දක්වා වයර් විෂ්කම්භයන් සමඟ අනුකූල වේ. විකල්ප රොබෝ හැසිරවීම සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්‍රීය නිෂ්පාදන මාර්ග වලට ඉඩ සලසයි. -
කාර්මික ශ්‍රේණියේ විශ්වසනීයත්වය
අධික බර වාත්තු/ව්‍යාජ රාමු විරූපණය අවම කරයි (<0.01 මි.මී.). සෙරමික් හෝ කාබයිඩ් ආලේපන සහිත මාර්ගෝපදේශක පුලි පැය 8000 කට වැඩි සේවා කාලයක් සපයයි.
බහු-වයර් දියමන්ති කියත් යන්ත්‍රයේ යෙදුම් ක්ෂේත්‍ර
-
අර්ධ සන්නායක: EV බල මොඩියුල සඳහා SiC කැපීම, 5G උපාංග සඳහා GaN උපස්ථර.
-
ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා: ±10 μm ඒකාකාර බව සහිත අධිවේගී සිලිකන් වේෆර් පෙති කැපීම.
-
LED සහ දෘෂ්ටි විද්‍යාව: 20 μm දාර චිපින් සහිත එපිටැක්සි සහ නිරවද්‍ය දෘශ්‍ය මූලද්‍රව්‍ය සඳහා නිල් මැණික් උපස්ථර.
-
උසස් සෙරමික්: අභ්‍යවකාශ සහ තාප කළමනාකරණ සංරචක සඳහා ඇලුමිනා, AlN සහ ඒ හා සමාන ද්‍රව්‍ය සැකසීම.
නිතර අසන ප්‍රශ්න - බහු-වයර් දියමන්ති කියත් යන්ත්‍රය
ප්‍රශ්නය 1: තනි වයර් යන්ත්‍ර හා සසඳන විට බහු වයර් කියත් කිරීමේ වාසි මොනවාද?
A: බහු-වයර් පද්ධතිවලට එකවර දුසිම් ගනනක් සිට සිය ගණනක් වේෆර් පෙති කපා ගත හැකි අතර, කාර්යක්ෂමතාව 5-10× කින් වැඩි කරයි. 100 μm ට අඩු කර්ෆ් අලාභයක් සමඟ ද්‍රව්‍ය භාවිතය ද ඉහළ බැවින් එය මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනය සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.
Q2: කුමන ආකාරයේ ද්‍රව්‍ය සැකසිය හැකිද?
A: යන්ත්‍රය සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC), නිල් මැණික්, ගැලියම් නයිට්‍රයිඩ් (GaN), ක්වාර්ට්ස්, ඇලුමිනා (Al₂O₃) සහ ඇලුමිනියම් නයිට්‍රයිඩ් (AlN) ඇතුළු දෘඩ හා බිඳෙන සුළු ද්‍රව්‍ය සඳහා නිර්මාණය කර ඇත.
Q3: ලබා ගත හැකි නිරවද්‍යතාවය සහ මතුපිට ගුණාත්මකභාවය කුමක්ද?
A: මතුපිට රළුබව Ra <0.5 μm දක්වා ළඟා විය හැකි අතර, මාන නිරවද්‍යතාවය ±0.02 mm වේ. දාර චිපින් කිරීම <20 μm දක්වා පාලනය කළ හැකි අතර, අර්ධ සන්නායක සහ දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්ත ප්‍රමිතීන් සපුරාලයි.
Q4: කැපීමේ ක්‍රියාවලිය ඉරිතැලීම් හෝ හානි ඇති කරයිද?
A: අධි පීඩන සිසිලනකාරකය සහ සංවෘත-ලූප් ආතති පාලනය සමඟ, ක්ෂුද්‍ර ඉරිතැලීම් සහ ආතති හානි අවදානම අවම කර, විශිෂ්ට වේෆර් අඛණ්ඩතාව සහතික කරයි.
