මාතෘකාව: චිප් නිෂ්පාදනයේ FOUP යනු කුමක්ද?

අන්තර්ගත වගුව

1.​FOUP හි දළ විශ්ලේෂණය සහ මූලික කාර්යයන්

2.​FOUP හි ව්‍යුහය සහ සැලසුම් ලක්ෂණ​

3. FOUP වර්ගීකරණය සහ යෙදුම් මාර්ගෝපදේශ

4. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී FOUP හි මෙහෙයුම් සහ වැදගත්කම​

5. තාක්ෂණික අභියෝග සහ අනාගත සංවර්ධන ප්‍රවණතා

6.XKH හි අභිරුචිකරණය කළ විසඳුම් සහ සේවා සහාය​

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, ඉදිරිපස විවෘත කිරීමේ ඒකාබද්ධ පොඩ් (FOUP) යනු වේෆර් ආරක්ෂා කිරීම, ප්‍රවාහනය කිරීම සහ ගබඩා කිරීම සඳහා භාවිතා කරන තීරණාත්මක බහාලුමකි. එහි අභ්‍යන්තරයට 300mm වේෆර් කැබලි 25 ක් තැබිය හැකි අතර, එහි ප්‍රධාන සංරචක අතර ඉදිරිපස විවෘත කිරීමේ බහාලුමක් සහ විවෘත කිරීම සහ වැසීම සඳහා කැපවූ දොර රාමුවක් ඇතුළත් වේ. FOUP යනු අඟල් 12 වේෆර් ෆැබ් තුළ ස්වයංක්‍රීය ප්‍රවාහන පද්ධතියේ මූලික වාහකයකි. එය සාමාන්‍යයෙන් සංවෘත තත්වයක ප්‍රවාහනය කරනු ලබන අතර උපකරණ පැටවීමේ වරායට තල්ලු කළ විට පමණක් විවෘත වන අතර, වේෆර් උපකරණවල පැටවීමේ/බෑමේ වරායට මාරු කිරීමට ඉඩ සලසයි.

FOUP හි සැලසුම ක්ෂුද්‍ර-පරිසර අවශ්‍යතාවලට අනුවර්තනය වී ඇත. එහි වේෆර් ඇතුළු කිරීම සඳහා පිටුපස තව් ඇති අතර, පියන විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත්තේ විවෘත කරන්නාගේ කලම්පයට ගැලපෙන පරිදි ය. වේෆර්-හැසිරවීමේ රොබෝවරු 1 පන්තියේ පිරිසිදු වායු පරිසරයක ක්‍රියාත්මක වන අතර, සම්ප්‍රේෂණය අතරතුර වේෆර් දූෂිත නොවන බව සහතික කරයි. තවද, FOUP ස්වයංක්‍රීය ද්‍රව්‍ය හැසිරවීමේ පද්ධතියක් (AMHS) හරහා ක්‍රියාවලි මෙවලම් අතර ගෙන යනු ලැබේ. නවීන වේෆර් ෆැබ් බොහෝ විට ප්‍රවාහනය සඳහා උඩිස් දුම්රිය පද්ධති භාවිතා කරන අතර, පැරණි ෆැබ් කිහිපයක් භූගත ස්වයංක්‍රීය මඟ පෙන්වන වාහන (AGVs) භාවිතා කළ හැකිය.

FOUP ස්වයංක්‍රීය වේෆර් හුවමාරුව සක්‍රීය කරනවා පමණක් නොව ගබඩා කිරීමේ කාර්යයක් ද ඉටු කරයි. බොහෝ නිෂ්පාදන පියවර නිසා, වේෆර් සම්පූර්ණ ක්‍රියාවලි ප්‍රවාහය සම්පූර්ණ කිරීමට මාස ගණනක් ගත විය හැකිය. ඉහළ මාසික නිෂ්පාදන පරිමාවන් සමඟ ඒකාබද්ධව, මෙයින් අදහස් කරන්නේ ෆැබ් එකක් තුළ ඇති වේෆර් දස දහස් ගණනක් ඕනෑම වේලාවක නිරන්තරයෙන් සංක්‍රමණ හෝ තාවකාලික ගබඩාවේ පවතින බවයි. ගබඩා කිරීමේදී, පිරිසිදු හා විශ්වාසදායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියක් සහතික කරමින්, දූෂක ද්‍රව්‍ය වේෆර් සමඟ සම්බන්ධ වීම වැළැක්වීම සඳහා FOUPs වරින් වර නයිට්‍රජන් සමඟ පිරිසිදු කරනු ලැබේ.

1. FOUP හි කාර්යයන් සහ වැදගත්කම

FOUP හි මූලික කාර්යය වන්නේ බාහිර කම්පනයෙන් හා දූෂණයෙන් වේෆර් ආරක්ෂා කිරීමයි, විශේෂයෙන් මාරු කිරීමේදී අස්වැන්නට ඇතිවන බලපෑම් වළක්වා ගැනීමයි. ගෑස් පිරිසිදු කිරීම සහ දේශීය වායුගෝලීය පාලනය (LAC) වැනි ක්‍රම හරහා එය තෙතමනය ඵලදායී ලෙස වළක්වයි, ඊළඟ නිෂ්පාදන පියවර එනතුරු බලා සිටින අතරතුර වේෆර් ආරක්ෂිත තත්වයක පවතින බව සහතික කරයි. එහි මුද්‍රා තැබූ සහ පාලිත පද්ධතිය මඟින් අවශ්‍ය සංයෝග සහ මූලද්‍රව්‍ය පමණක් ඇතුළු වීමට ඉඩ සලසයි, VOC, ඔක්සිජන් සහ තෙතමනය වේෆර් මත ඇති අහිතකර බලපෑම් සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි.

වේෆර් 25 කින් සම්පූර්ණයෙන්ම පටවා ඇති FOUP එකක් කිලෝග්‍රෑම් 9 ක් දක්වා බර විය හැකි බැවින්, එහි ප්‍රවාහනය ස්වයංක්‍රීය ද්‍රව්‍ය හැසිරවීමේ පද්ධතියක් (AMHS) මත රඳා පැවතිය යුතුය. මෙය පහසු කිරීම සඳහා, FOUP විවිධ කප්ලිං තහඩු, අල්ෙපෙනති සහ සිදුරු සංයෝජනයන්ගෙන් නිර්මාණය කර ඇති අතර පහසුවෙන් හඳුනා ගැනීම සහ වර්ගීකරණය සඳහා RFID ඉලෙක්ට්‍රොනික ටැග් වලින් සමන්විත වේ. මෙම ස්වයංක්‍රීය හැසිරවීම සඳහා අතින් ක්‍රියා කිරීමක් අවශ්‍ය නොවන අතර, දෝෂ අනුපාත බෙහෙවින් අඩු කරන අතර නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ ආරක්ෂාව සහ නිරවද්‍යතාවය වැඩි දියුණු කරයි.

2. FOUP හි ව්‍යුහය සහ වර්ගීකරණය

FOUP එකක සාමාන්‍ය මානයන් දළ වශයෙන් පළල 420 mm, ගැඹුර 335 mm සහ උස 335 mm වේ. එහි ප්‍රධාන ව්‍යුහාත්මක සංරචක අතරට: උඩිස් එසවුම් ප්‍රවාහනය සඳහා ඉහළ OHT (හතු හිස); උපකරණ වේෆර් ප්‍රවේශය සඳහා ඉදිරිපස දොරක්; විවිධ දූෂණ මට්ටම් සහිත ක්‍රියාවලි ප්‍රදේශ වෙන්කර හඳුනා ගැනීම සඳහා බොහෝ විට වර්ණ කේතනය කර ඇති පැති හැන්ඩ්ල්; පණිවිඩ කාඩ්පත් තැබීම සඳහා කාඩ්පත් ප්‍රදේශයක්; සහ FOUP සඳහා අද්විතීය හඳුනාගැනීමක් ලෙස ක්‍රියා කරන පහළ RFID ටැගයක්, මෙවලම් සහ උඩිස් එසවුම් වලට එය හඳුනා ගැනීමට ඉඩ සලසයි. මෙවලම් සමඟ ගැලපීම සහ ක්‍රියාවලි ප්‍රදේශ වෙන්කර හඳුනා ගැනීම සඳහා පාදම හඳුනාගැනීමේ සහ ස්ථානගත කිරීමේ සිදුරු හතරකින් ද සමන්විත වේ.

භාවිතය මත පදනම්ව, FOUP වර්ග තුනකට වර්ගීකරණය කර ඇත: PRD (නිෂ්පාදනය සඳහා), ENG (ඉංජිනේරු වේෆර් සඳහා) සහ MON (මොනිටර් වේෆර් සඳහා). PRD FOUP නිෂ්පාදන නිෂ්පාදනය සඳහා භාවිතා කළ හැකි අතර, ENG වර්ග පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන හෝ අත්හදා බැලීම් සඳහා සුදුසු වන අතර, CMP සහ DIFF වැනි පියවර සඳහා ක්‍රියාවලි අධීක්ෂණය සඳහා MON වර්ග කැපවී ඇත. PRD FOUPs ENG සහ MON යන අරමුණු දෙකටම භාවිතා කළ හැකි බවත්, ENG වර්ග MON සඳහා භාවිතා කළ හැකි බවත් සැලකිල්ලට ගැනීම වැදගත්ය, නමුත් ප්‍රතිලෝම ක්‍රියාකාරිත්වය ගුණාත්මක අවදානම් ඇති කරයි.

දූෂණ මට්ටම අනුව වර්ගීකරණය කරන ලද FOUPs, FE FOUP (ඉදිරිපස ක්‍රියාවලිය, ලෝහ-නිදහස්), BE FOUP (පසුපස ක්‍රියාවලිය, ලෝහ අඩංගු) සහ NI FOUP, CU FOUP සහ CO FOUP වැනි නිශ්චිත ලෝහ ක්‍රියාවලීන් සඳහා විශේෂිත වූ ඒවා ලෙස බෙදිය හැකිය. විවිධ ක්‍රියාවලීන් සඳහා FOUPs සාමාන්‍යයෙන් පැති හැන්ඩ්ල් හෝ දොර පැනල් වල වර්ණය අනුව වෙන්කර හඳුනාගත හැකිය. ඉදිරිපස ක්‍රියාවලීන්ගෙන් FOUPs පසුපස-අන්ත ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා කළ හැකි නමුත්, පසුපස FOUPs කිසි විටෙකත් ඉදිරිපස-අන්ත ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා නොකළ යුතුය, මන්ද මෙය දූෂණය වීමේ අවදානමක් ඇති කරයි.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ප්‍රධාන වාහකයක් ලෙස, FOUP, ඉහළ ස්වයංක්‍රීයකරණය සහ දැඩි දූෂණ පාලනය හරහා, නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී වේෆර්වල ආරක්ෂාව සහ පිරිසිදුකම සහතික කරයි, එය නවීන වේෆර් ෆැබ් වල අත්‍යවශ්‍ය යටිතල පහසුකම් බවට පත් කරයි.

නිගමනය

XKH ඔබේ නිශ්චිත ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා සහ උපකරණ අතුරුමුහුණත් පිරිවිතරයන්ට දැඩි ලෙස අනුකූලව, ඉතා අභිරුචිකරණය කළ ඉදිරිපස-විවෘත ඒකාබද්ධ පොඩ් (FOUP) විසඳුම් පාරිභෝගිකයින්ට ලබා දීමට කැපවී සිටී. උසස් ද්‍රව්‍ය තාක්‍ෂණය සහ නිරවද්‍ය නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් උපයෝගී කරගනිමින්, සෑම FOUP නිෂ්පාදනයක්ම සුවිශේෂී වායු තද බව, පිරිසිදුකම සහ යාන්ත්‍රික ස්ථාවරත්වය ලබා දෙන බව අපි සහතික කරමු. අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායමට ගැඹුරු කර්මාන්ත විශේෂඥතාවයක් ඇති අතර, තේරීම් උපදේශනය සහ ව්‍යුහාත්මක ප්‍රශස්තිකරණයේ සිට පිරිසිදු කිරීම සහ නඩත්තු කිරීම දක්වා පුළුල් ජීවන චක්‍ර සහාය ලබා දෙයි - FOUP සහ ඔබේ ස්වයංක්‍රීය ද්‍රව්‍ය හැසිරවීමේ පද්ධතිය (AMHS) මෙන්ම සැකසුම් උපකරණ අතර බාධාවකින් තොරව ඒකාබද්ධ වීම සහ කාර්යක්ෂම සහයෝගීතාව සහතික කරයි. අපගේ මූලික අරමුණු ලෙස වේෆර්වල ආරක්ෂාව සහ නිෂ්පාදන අස්වැන්න වැඩි දියුණු කිරීම අපි නිරන්තරයෙන් ප්‍රමුඛත්වය දෙමු. නව්‍ය නිෂ්පාදන සහ සර්ව සම්පූර්ණ තාක්ෂණික සේවාවන් හරහා, අපි ඔබේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් සඳහා ශක්තිමත් සහතිකයක් ලබා දෙන අතර, අවසානයේ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහ නිෂ්පාදන අස්වැන්න වැඩි දියුණු කරමු.