විවිධ ස්ඵටික දිශානතියන් සහිත නිල් මැණික් වේෆර් යෙදීමේදී ද වෙනස්කම් තිබේද?

නිල් මැණික් යනු ඇලුමිනා වල තනි ස්ඵටිකයක් වන අතර එය ත්‍රිපාර්ශ්වික ස්ඵටික පද්ධතියට අයත් වේ, ෂඩාස්‍රාකාර ව්‍යුහයකි, එහි ස්ඵටික ව්‍යුහය ඔක්සිජන් පරමාණු තුනකින් සහ සහසංයුජ බන්ධන ආකාරයේ ඇලුමිනියම් පරමාණු දෙකකින් සමන්විත වන අතර ඉතා සමීපව සකස් කර ඇත, ශක්තිමත් බන්ධන දාමයක් සහ දැලිස් ශක්තියක් ඇත, එහි ස්ඵටික අභ්‍යන්තරය පාහේ අපද්‍රව්‍ය හෝ දෝෂ නොමැති බැවින් එය විශිෂ්ට විද්‍යුත් පරිවරණයක්, විනිවිදභාවයක්, හොඳ තාප සන්නායකතාවක් සහ ඉහළ දෘඩතා ලක්ෂණ ඇත. දෘශ්‍ය කවුළුවක් සහ ඉහළ කාර්ය සාධන උපස්ථර ද්‍රව්‍ය ලෙස බහුලව භාවිතා වේ. කෙසේ වෙතත්, නිල් මැණික් වල අණුක ව්‍යුහය සංකීර්ණ වන අතර ඇනිසොට්‍රොපියක් ඇති අතර, විවිධ ස්ඵටික දිශාවන් සැකසීම සහ භාවිතය සඳහා අනුරූප භෞතික ගුණාංග කෙරෙහි ඇති බලපෑම ද බෙහෙවින් වෙනස් ය, එබැවින් භාවිතය ද වෙනස් වේ. සාමාන්‍යයෙන්, නිල් මැණික් උපස්ථර C, R, A සහ ​​M තල දිශාවන්ගෙන් ලබා ගත හැකිය.

යෙදීමC-තල නිල් මැණික් වේෆර්

පුළුල් කලාප පරතරයක් සහිත තුන්වන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායකයක් ලෙස ගැලියම් නයිට්‍රයිඩ් (GaN), පුළුල් සෘජු කලාප පරතරයක්, ශක්තිමත් පරමාණුක බන්ධනයක්, ඉහළ තාප සන්නායකතාවක්, හොඳ රසායනික ස්ථායිතාවයක් (කිසිදු අම්ලයකින් පාහේ විඛාදනයට ලක් නොවේ) සහ ශක්තිමත් ප්‍රති-විකිරණ හැකියාවක් ඇති අතර, ඔප්ටෝ ඉලෙක්ට්‍රොනික්ස්, ඉහළ උෂ්ණත්ව සහ බල උපාංග සහ ඉහළ සංඛ්‍යාත මයික්‍රෝවේව් උපාංග යෙදීමේදී පුළුල් අපේක්ෂාවන් ඇත. කෙසේ වෙතත්, GaN හි ඉහළ ද්‍රවාංකය නිසා, විශාල ප්‍රමාණයේ තනි ස්ඵටික ද්‍රව්‍ය ලබා ගැනීම දුෂ්කර බැවින්, පොදු ක්‍රමය වන්නේ උපස්ථර ද්‍රව්‍ය සඳහා ඉහළ අවශ්‍යතා ඇති අනෙකුත් උපස්ථර මත විෂම එපිටැක්සි වර්ධනය සිදු කිරීමයි.

සමඟ සසඳන විටනිල් මැණික් උපස්ථරයඅනෙකුත් ස්ඵටික මුහුණු සමඟ, C-තලය (<0001> දිශානතිය) නිල් මැණික් වේෆරය සහ Ⅲ-Ⅴ සහ Ⅱ-Ⅵ (GaN වැනි) කාණ්ඩවල තැන්පත් කර ඇති පටල අතර දැලිස් නියත නොගැලපුම් අනුපාතය සාපේක්ෂව කුඩා වන අතර, දෙක සහAlN චිත්‍රපටබෆර තට්ටුවක් ලෙස භාවිතා කළ හැකි එය ඊටත් වඩා කුඩා වන අතර, එය GaN ස්ඵටිකීකරණ ක්‍රියාවලියේදී ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධයේ අවශ්‍යතා සපුරාලයි. එබැවින්, එය GaN වර්ධනය සඳහා පොදු උපස්ථර ද්‍රව්‍යයක් වන අතර, එය සුදු/නිල්/කොළ LED, ලේසර් ඩයෝඩ, අධෝරක්ත අනාවරක යනාදිය සෑදීමට භාවිතා කළ හැකිය.

C-තල නිල් මැණික් උපස්ථරය මත වගා කරන ලද GaN පටලය එහි ධ්‍රැවීය අක්ෂය දිගේ, එනම් C-අක්ෂයේ දිශාව දිගේ වර්ධනය වන බව සඳහන් කිරීම වටී, එය පරිණත වර්ධන ක්‍රියාවලිය සහ එපිටැක්සි ක්‍රියාවලිය, සාපේක්ෂව අඩු පිරිවැය, ස්ථාවර භෞතික හා රසායනික ගුණාංග පමණක් නොව, වඩා හොඳ සැකසුම් කාර්ය සාධනයක් ද වේ. C-නැඹුරු නිල් මැණික් වේෆරයේ පරමාණු O-al-al-o-al-O සැකැස්මකින් බන්ධනය වී ඇති අතර, M-නැඹුරු සහ A-නැඹුරු නිල් මැණික් ස්ඵටික al-O-al-O හි බන්ධනය වී ඇත. M-නැඹුරු සහ A-නැඹුරු නිල් මැණික් ස්ඵටික හා සසඳන විට Al-Al අඩු බන්ධන ශක්තියක් සහ Al-O ට වඩා දුර්වල බන්ධනයක් ඇති බැවින්, C-නිල් මැණික් සැකසීම ප්‍රධාන වශයෙන් Al-Al යතුර විවෘත කිරීම වන අතර එය සැකසීමට පහසු වන අතර ඉහළ මතුපිට ගුණාත්මක භාවයක් ලබා ගත හැකි අතර පසුව වඩා හොඳ ගැලියම් නයිට්‍රයිඩ් එපිටැක්සියල් ගුණාත්මක භාවය ලබා ගත හැකි අතර එමඟින් අතිශය ඉහළ දීප්තියේ සුදු/නිල් LED වල ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කළ හැකිය. අනෙක් අතට, C-අක්ෂය දිගේ වැඩෙන පටලවලට ස්වයංසිද්ධ සහ පීසෝ විද්‍යුත් ධ්‍රැවීකරණ බලපෑම් ඇති අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස පටල තුළ ශක්තිමත් අභ්‍යන්තර විද්‍යුත් ක්ෂේත්‍රයක් (ක්‍රියාකාරී ස්ථර ක්වොන්ටම් වෙල්ස්) ඇති වන අතර එමඟින් GaN පටලවල දීප්තිමත් කාර්යක්ෂමතාව බෙහෙවින් අඩු වේ.

A-තල නිල් මැණික් වේෆර්අයදුම්පත

එහි විශිෂ්ට විස්තීර්ණ ක්‍රියාකාරිත්වය, විශේෂයෙන් විශිෂ්ට සම්ප්‍රේෂණය නිසා, නිල් මැණික් තනි ස්ඵටිකයට අධෝරක්ත විනිවිද යාමේ බලපෑම වැඩි දියුණු කළ හැකි අතර, මිලිටරි ප්‍රකාශ විද්‍යුත් උපකරණවල බහුලව භාවිතා වන කදිම මධ්‍ය-අධෝරක්ත කවුළු ද්‍රව්‍යයක් බවට පත්විය හැකිය. නිල් මැණික් යනු මුහුණේ සාමාන්‍ය දිශාවට ධ්‍රැවීය තලයක් (C තලය) වන විට, ධ්‍රැවීය නොවන මතුපිටකි. සාමාන්‍යයෙන්, A-නැඹුරු නිල් මැණික් ස්ඵටිකයේ ගුණාත්මකභාවය C-නැඹුරු ස්ඵටිකයට වඩා හොඳයි, අඩු විස්ථාපනයක්, අඩු මොසෙයික් ව්‍යුහයක් සහ වඩාත් සම්පූර්ණ ස්ඵටික ව්‍යුහයක් ඇත, එබැවින් එය වඩා හොඳ ආලෝක සම්ප්‍රේෂණ කාර්ය සාධනයක් ඇත. ඒ සමඟම, a තලයේ Al-O-Al-O පරමාණුක බන්ධන මාදිලිය නිසා, A-නැඹුරු නිල් මැණික් වල දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය C-නැඹුරු නිල් මැණික් වලට වඩා සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි ය. එබැවින්, A-දිශානුගත චිප්ස් බොහෝ විට කවුළු ද්‍රව්‍ය ලෙස භාවිතා වේ; ඊට අමතරව, නිල් මැණික් වල ඒකාකාර පාර විද්‍යුත් නියතයක් සහ ඉහළ පරිවාරක ගුණ ද ඇත, එබැවින් එය දෙමුහුන් ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික තාක්ෂණයට පමණක් නොව, TlBaCaCuO (TbBaCaCuO), Tl-2212 භාවිතය, සීරියම් ඔක්සයිඩ් (CeO2) නිල් මැණික් සංයුක්ත උපස්ථරය මත විෂමජාතීය එපිටැක්සියල් සුපිරි සන්නායක පටල වර්ධනය වැනි විශිෂ්ට සන්නායක වර්ධනය සඳහා ද යෙදිය හැකිය. කෙසේ වෙතත්, Al-O හි විශාල බන්ධන ශක්තිය නිසා, එය සැකසීම වඩාත් අපහසු වේ.

යෙදීමR/M ප්ලේන් නිල් මැණික් වේෆර්

R-තලය යනු නිල් මැණික් වල ධ්‍රැවීය නොවන මතුපිටයි, එබැවින් නිල් මැණික් උපාංගයක R-තලයේ පිහිටීම වෙනස් වීම එයට විවිධ යාන්ත්‍රික, තාප, විද්‍යුත් සහ දෘශ්‍ය ගුණාංග ලබා දෙයි. සාමාන්‍යයෙන්, R-මතුපිට නිල් මැණික් උපස්ථරය සිලිකන් විෂම පිටාක්සියල් තැන්පත් කිරීම සඳහා වඩාත් කැමති වේ, ප්‍රධාන වශයෙන් අර්ධ සන්නායක, මයික්‍රෝවේව් සහ ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික ඒකාබද්ධ පරිපථ යෙදුම් සඳහා, ඊයම් නිෂ්පාදනයේදී, අනෙකුත් සුපිරි සන්නායක සංරචක, ඉහළ ප්‍රතිරෝධක ප්‍රතිරෝධක, ගැලියම් ආසනයිඩ් R-වර්ගයේ උපස්ථර වර්ධනය සඳහා ද භාවිතා කළ හැකිය. වර්තමානයේ, ස්මාර්ට් දුරකථන සහ ටැබ්ලට් පරිගණක පද්ධතිවල ජනප්‍රියතාවයත් සමඟ, R-මුහුණත නිල් මැණික් උපස්ථරය ස්මාර්ට් දුරකථන සහ ටැබ්ලට් පරිගණක සඳහා භාවිතා කරන පවතින සංයෝග SAW උපාංග ප්‍රතිස්ථාපනය කර ඇති අතර, කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කළ හැකි උපාංග සඳහා උපස්ථරයක් සපයයි.

උල්ලංඝනයක් තිබේ නම්, සම්බන්ධතා මකන්න