වේෆර් නිෂ්පාදනයේ SPC පද්ධතිය පිළිබඳ ගැඹුරු අවබෝධයක්

1. SPC පද්ධතියේ දළ විශ්ලේෂණය

SPC යනු නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් නිරීක්ෂණය කිරීම සහ පාලනය කිරීම සඳහා සංඛ්‍යානමය ශිල්පීය ක්‍රම භාවිතා කරන ක්‍රමයකි. එහි මූලික කාර්යය වන්නේ තත්‍ය කාලීන දත්ත රැස් කිරීම සහ විශ්ලේෂණය කිරීම මගින් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ විෂමතා හඳුනා ගැනීම, ඉංජිනේරුවන්ට කාලෝචිත ගැලපීම් සහ තීරණ ගැනීමට උපකාර කිරීමයි. SPC හි අරමුණ වන්නේ නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ විචලනය අඩු කිරීම, නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය ස්ථාවරව පවතින බව සහ පිරිවිතරයන්ට අනුකූල බව සහතික කිරීමයි.

කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී SPC භාවිතා කරනු ලබන්නේ:

තීරණාත්මක උපකරණ පරාමිතීන් නිරීක්ෂණය කරන්න (උදා: එච්ච් අනුපාතය, RF බලය, කුටීර පීඩනය, උෂ්ණත්වය, ආදිය)

ප්‍රධාන නිෂ්පාදන තත්ත්ව දර්ශක විශ්ලේෂණය කරන්න (උදා: රේඛා පළල, කැටයම් ගැඹුර, දාර රළුබව, ආදිය)

මෙම පරාමිතීන් නිරීක්ෂණය කිරීමෙන්, ඉංජිනේරුවන්ට නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ උපකරණ කාර්ය සාධනය පිරිහීම හෝ අපගමනය පෙන්නුම් කරන ප්‍රවණතා හඳුනා ගත හැකි අතර එමඟින් සීරීම් අනුපාත අඩු කරයි.

2. SPC පද්ධතියේ මූලික සංරචක

SPC පද්ධතිය ප්‍රධාන මොඩියුල කිහිපයකින් සමන්විත වේ:

දත්ත රැස් කිරීමේ මොඩියුලය: උපකරණ සහ ක්‍රියාවලි ප්‍රවාහයන්ගෙන් (උදා: FDC, EES පද්ධති හරහා) තත්‍ය කාලීන දත්ත රැස් කර වැදගත් පරාමිතීන් සහ නිෂ්පාදන ප්‍රතිඵල වාර්තා කරයි.

පාලන ප්‍රස්ථාර මොඩියුලය: ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව දෘශ්‍යමාන කිරීමට සහ ක්‍රියාවලිය පාලනයේ තිබේද යන්න තීරණය කිරීමට උපකාරී වන සංඛ්‍යානමය පාලන ප්‍රස්ථාර (උදා: X-තීරු ප්‍රස්ථාරය, R ප්‍රස්ථාරය, Cp/Cpk ප්‍රස්ථාරය) භාවිතා කරයි.

අනතුරු ඇඟවීමේ පද්ධතිය: තීරණාත්මක පරාමිතීන් පාලන සීමාවන් ඉක්මවා යන විට හෝ ප්‍රවණතා වෙනස්කම් පෙන්වන විට අනතුරු ඇඟවීම් ක්‍රියාත්මක කරයි, ඉංජිනේරුවන් ක්‍රියාමාර්ග ගැනීමට පොළඹවයි.

විශ්ලේෂණය සහ වාර්තාකරණ මොඩියුලය: SPC ප්‍රස්ථාර මත පදනම්ව විෂමතාවන්ට මූලික හේතුව විශ්ලේෂණය කරන අතර ක්‍රියාවලිය සහ උපකරණ සඳහා කාර්ය සාධන වාර්තා නිතිපතා ජනනය කරයි.

3. SPC හි පාලන ප්‍රස්ථාර පිළිබඳ සවිස්තරාත්මක පැහැදිලි කිරීම

පාලන ප්‍රස්ථාර යනු SPC හි බහුලව භාවිතා වන මෙවලම් වලින් එකක් වන අතර, "සාමාන්‍ය විචලනය" (ස්වාභාවික ක්‍රියාවලි විචලනයන් නිසා ඇතිවන) සහ "අසාමාන්‍ය විචලනය" (උපකරණ අසමත්වීම් හෝ ක්‍රියාවලි අපගමනයන් නිසා ඇතිවන) අතර වෙනස හඳුනා ගැනීමට උපකාරී වේ. පොදු පාලන ප්‍රස්ථාරවලට ඇතුළත් වන්නේ:

X-Bar සහ R ප්‍රස්ථාර: ක්‍රියාවලිය ස්ථායී දැයි නිරීක්ෂණය කිරීම සඳහා නිෂ්පාදන කාණ්ඩ තුළ මධ්‍යන්‍යය සහ පරාසය නිරීක්ෂණය කිරීමට භාවිතා කරයි.

Cp සහ Cpk දර්ශක: ක්‍රියාවලි හැකියාව මැනීමට භාවිතා කරයි, එනම්, ක්‍රියාවලි ප්‍රතිදානයට පිරිවිතර අවශ්‍යතා අඛණ්ඩව සපුරාලිය හැකිද යන්න. Cp විභව හැකියාව මනිනු ලබන අතර, Cpk පිරිවිතර සීමාවන්ගෙන් ක්‍රියාවලි මධ්‍යස්ථානයේ අපගමනය සලකා බලයි.

උදාහරණයක් ලෙස, කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, ඔබට කැටයම් අනුපාතය සහ මතුපිට රළුබව වැනි පරාමිතීන් නිරීක්ෂණය කළ හැකිය. යම් උපකරණ කැබැල්ලක කැටයම් අනුපාතය පාලන සීමාව ඉක්මවා ගියහොත්, මෙය ස්වාභාවික විචලනයක් ද නැතහොත් උපකරණ අක්‍රියතාවයක ඇඟවීමක් ද යන්න තීරණය කිරීමට ඔබට පාලන ප්‍රස්ථාර භාවිතා කළ හැකිය.

4. කැටයම් උපකරණවල SPC යෙදීම

කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, උපකරණ පරාමිතීන් පාලනය කිරීම ඉතා වැදගත් වන අතර, SPC පහත සඳහන් ආකාරවලින් ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව වැඩි දියුණු කිරීමට උපකාරී වේ:

උපකරණ තත්ත්වය නිරීක්ෂණය: FDC වැනි පද්ධති, කැටයම් උපකරණවල ප්‍රධාන පරාමිතීන් (උදා: RF බලය, ගෑස් ප්‍රවාහය) පිළිබඳ තත්‍ය කාලීන දත්ත රැස් කර, විභව උපකරණ ගැටළු හඳුනා ගැනීම සඳහා මෙම දත්ත SPC පාලන ප්‍රස්ථාර සමඟ ඒකාබද්ධ කරයි. උදාහරණයක් ලෙස, පාලන ප්‍රස්ථාරයක RF බලය ක්‍රමයෙන් නියමිත අගයෙන් බැහැර වන බව ඔබ දුටුවහොත්, නිෂ්පාදන ගුණාත්මක භාවයට බලපෑම් නොකිරීමට ගැලපීම හෝ නඩත්තුව සඳහා ඔබට ඉක්මන් පියවර ගත හැකිය.

නිෂ්පාදන තත්ත්ව අධීක්ෂණය: ඔබට ඒවායේ ස්ථායිතාව නිරීක්ෂණය කිරීම සඳහා ප්‍රධාන නිෂ්පාදන තත්ත්ව පරාමිතීන් (උදා: එච් ගැඹුර, රේඛා පළල) SPC පද්ධතියට ඇතුළත් කළ හැකිය. සමහර තීරණාත්මක නිෂ්පාදන දර්ශක ඉලක්ක අගයන්ගෙන් ක්‍රමයෙන් බැහැර වුවහොත්, ක්‍රියාවලි ගැලපීම් අවශ්‍ය බව දක්වමින් SPC පද්ධතිය අනතුරු ඇඟවීමක් නිකුත් කරනු ඇත.

වැළැක්වීමේ නඩත්තුව (PM): උපකරණ සඳහා වැළැක්වීමේ නඩත්තු චක්‍රය ප්‍රශස්ත කිරීමට SPC හට උදව් කළ හැකිය. උපකරණ ක්‍රියාකාරිත්වය සහ ක්‍රියාවලි ප්‍රතිඵල පිළිබඳ දිගුකාලීන දත්ත විශ්ලේෂණය කිරීමෙන්, ඔබට උපකරණ නඩත්තුව සඳහා ප්‍රශස්ත කාලය තීරණය කළ හැකිය. උදාහරණයක් ලෙස, RF බලය සහ ESC ආයු කාලය නිරීක්ෂණය කිරීමෙන්, පිරිසිදු කිරීම හෝ සංරචක ප්‍රතිස්ථාපනය අවශ්‍ය වන්නේ කවදාද යන්න ඔබට තීරණය කළ හැකිය, උපකරණ අසාර්ථක වීමේ අනුපාත සහ නිෂ්පාදන අක්‍රීය කාලය අඩු කරයි.

5. SPC පද්ධතිය සඳහා දෛනික භාවිත උපදෙස්

දෛනික මෙහෙයුම් වලදී SPC පද්ධතිය භාවිතා කරන විට, පහත පියවර අනුගමනය කළ හැක:

යතුරු පාලන පරාමිතීන් (KPI) නිර්වචනය කරන්න: නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ වැදගත්ම පරාමිතීන් හඳුනාගෙන ඒවා SPC අධීක්ෂණයට ඇතුළත් කරන්න. මෙම පරාමිතීන් නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය සහ උපකරණ ක්‍රියාකාරිත්වයට සමීපව සම්බන්ධ විය යුතුය.

පාලන සීමාවන් සහ අනතුරු ඇඟවීමේ සීමාවන් සකසන්න: ඓතිහාසික දත්ත සහ ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා මත පදනම්ව, එක් එක් පරාමිතිය සඳහා සාධාරණ පාලන සීමාවන් සහ අනතුරු ඇඟවීමේ සීමාවන් සකසන්න. පාලන සීමාවන් සාමාන්‍යයෙන් ±3σ (සම්මත අපගමනය) ලෙස සකසා ඇති අතර, අනතුරු ඇඟවීමේ සීමාවන් ක්‍රියාවලියේ සහ උපකරණවල නිශ්චිත කොන්දේසි මත පදනම් වේ.

අඛණ්ඩ අධීක්ෂණය සහ විශ්ලේෂණය: දත්ත ප්‍රවණතා සහ වෙනස්කම් විශ්ලේෂණය කිරීම සඳහා SPC පාලන ප්‍රස්ථාර නිතිපතා සමාලෝචනය කරන්න. සමහර පරාමිතීන් පාලන සීමාවන් ඉක්මවා ගියහොත්, උපකරණ පරාමිතීන් සකස් කිරීම හෝ උපකරණ නඩත්තු කිරීම වැනි ක්ෂණික ක්‍රියාමාර්ග අවශ්‍ය වේ.

අසාමාන්‍යතා හැසිරවීම සහ මූල හේතු විශ්ලේෂණය: අසාමාන්‍යතාවයක් ඇති වූ විට, SPC පද්ධතිය සිද්ධිය පිළිබඳ සවිස්තරාත්මක තොරතුරු වාර්තා කරයි. මෙම තොරතුරු මත පදනම්ව අසාමාන්‍යතාවයේ මූල හේතුව දෝශ නිරාකරණය කර විශ්ලේෂණය කළ යුතුය. උපකරණ අසමත් වීම, ක්‍රියාවලි අපගමනය හෝ බාහිර පාරිසරික සාධක නිසා ගැටළුව සිදුවී ඇත්දැයි විශ්ලේෂණය කිරීම සඳහා FDC පද්ධති, EES පද්ධති ආදියෙන් දත්ත ඒකාබද්ධ කිරීම බොහෝ විට කළ හැකිය.

අඛණ්ඩ වැඩිදියුණු කිරීම: SPC පද්ධතිය විසින් වාර්තා කරන ලද ඓතිහාසික දත්ත භාවිතා කරමින්, ක්‍රියාවලියේ දුර්වලතා හඳුනාගෙන වැඩිදියුණු කිරීමේ සැලසුම් යෝජනා කරන්න. උදාහරණයක් ලෙස, කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, උපකරණ නඩත්තු චක්‍රවලට ESC ආයු කාලය සහ පිරිසිදු කිරීමේ ක්‍රමවල බලපෑම විශ්ලේෂණය කර උපකරණ මෙහෙයුම් පරාමිතීන් අඛණ්ඩව ප්‍රශස්ත කරන්න.

6. ප්‍රායෝගික යෙදුම් නඩුව

ප්‍රායෝගික උදාහරණයක් ලෙස, ඔබ E-MAX කැටයම් උපකරණ සඳහා වගකිව යුතු යැයි සිතමු, සහ කුටීර කැතෝඩය අකාලයේ ගෙවී යන අතර එමඟින් D0 (BARC දෝෂ) අගයන් වැඩි වේ. SPC පද්ධතිය හරහා RF බලය සහ එච්ච් අනුපාතය නිරීක්ෂණය කිරීමෙන්, මෙම පරාමිතීන් ඒවායේ නියම කළ අගයන්ගෙන් ක්‍රමයෙන් බැහැර වන ප්‍රවණතාවක් ඔබට පෙනේ. SPC අනතුරු ඇඟවීමක් ක්‍රියාත්මක කිරීමෙන් පසු, ඔබ FDC පද්ධතියෙන් දත්ත ඒකාබද්ධ කර කුටිය තුළ අස්ථායී උෂ්ණත්ව පාලනය නිසා ගැටළුව ඇති වූ බව තීරණය කරයි. ඉන්පසු ඔබ නව පිරිසිදු කිරීමේ ක්‍රම සහ නඩත්තු උපාය මාර්ග ක්‍රියාත්මක කරයි, අවසානයේ D0 අගය 4.3 සිට 2.4 දක්වා අඩු කරයි, එමඟින් නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කරයි.

7. XINKEHUI හි ඔබට ලබා ගත හැක.

XINKEHUI හිදී, ඔබට සිලිකන් වේෆරයක් හෝ SiC වේෆරයක් වේවා, පරිපූර්ණ වේෆරයක් ලබා ගත හැකිය. නිරවද්‍යතාවය සහ කාර්ය සාධනය කෙරෙහි අවධානය යොමු කරමින්, විවිධ කර්මාන්ත සඳහා උසස් තත්ත්වයේ වේෆර් ලබා දීම සඳහා අපි විශේෂඥයින් වෙමු.