වේෆර් නිෂ්පාදනයේ SPC පද්ධතිය පිළිබඳ ගැඹුරු අවබෝධයක්

1. SPC පද්ධතියේ දළ විශ්ලේෂණය

SPC යනු නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් නිරීක්ෂණය කිරීම සහ පාලනය කිරීම සඳහා සංඛ්‍යාන ශිල්පීය ක්‍රම භාවිතා කරන ක්‍රමයකි. එහි මූලික කාර්යය වන්නේ තත්‍ය කාලීන දත්ත එක්රැස් කිරීම සහ විශ්ලේෂණය කිරීම මගින් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ විෂමතා හඳුනා ගැනීම, කාලෝචිත ගැලපීම් සහ තීරණ ගැනීමට ඉංජිනේරුවන්ට උපකාර කිරීමයි. SPC හි පරමාර්ථය වන්නේ නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ විචලනය අඩු කිරීම, නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය ස්ථාවරව පවතින අතර පිරිවිතරයන්ට අනුකූල වීම සහතික කිරීමයි.

SPC කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා වේ:

තීරනාත්මක උපකරණ පරාමිතීන් නිරීක්ෂණය කරන්න (උදා, etch අනුපාතය, RF බලය, කුටීර පීඩනය, උෂ්ණත්වය, ආදිය)

ප්‍රධාන නිෂ්පාදන තත්ත්ව දර්ශක විශ්ලේෂණය කරන්න (උදා, රේඛීය පළල, අකුරු ගැඹුර, දාර රළුබව, ආදිය)

මෙම පරාමිතීන් නිරීක්ෂණය කිරීමෙන්, ඉංජිනේරුවන්ට උපකරණ කාර්ය සාධනය පිරිහීම හෝ නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ අපගමනය පෙන්නුම් කරන ප්‍රවණතා හඳුනා ගත හැකි අතර එමඟින් සීරීම් අනුපාත අඩු වේ.

2. SPC පද්ධතියේ මූලික සංරචක

SPC පද්ධතිය ප්‍රධාන මොඩියුල කිහිපයකින් සමන්විත වේ:

දත්ත එකතු කිරීමේ මොඩියුලය: උපකරණ සහ ක්‍රියාවලි ප්‍රවාහ වලින් තත්‍ය කාලීන දත්ත රැස් කරයි (උදා, FDC, EES පද්ධති හරහා) සහ වැදගත් පරාමිති සහ නිෂ්පාදන ප්‍රතිඵල වාර්තා කරයි.

පාලන ප්‍රස්ථාර මොඩියුලය: ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව දෘශ්‍යමාන කිරීමට සහ ක්‍රියාවලිය පාලනය වන්නේ දැයි තීරණය කිරීමට සංඛ්‍යාන පාලන ප්‍රස්ථාර (උදා, X-තීරු ප්‍රස්ථාරය, R ප්‍රස්ථාරය, Cp/Cpk ප්‍රස්ථාරය) භාවිතා කරයි.

අනතුරු ඇඟවීමේ පද්ධතිය: තීරණාත්මක පරාමිතීන් පාලන සීමාවන් ඉක්මවා යන විට හෝ ප්‍රවණතා වෙනස්වීම් පෙන්වන විට අනතුරු ඇඟවීම් අවුලුවයි, ඉන්ජිනේරුවන් පියවර ගැනීමට පොළඹවයි.

විශ්ලේෂණය සහ වාර්තාකරණ මොඩියුලය: SPC ප්‍රස්ථාර මත පදනම් වූ විෂමතාවල මූල හේතුව විශ්ලේෂණය කරන අතර ක්‍රියාවලිය සහ උපකරණ සඳහා කාර්ය සාධන වාර්තා නිතිපතා ජනනය කරයි.

3. SPC හි පාලන ප්‍රස්ථාර පිළිබඳ සවිස්තරාත්මක පැහැදිලි කිරීම

පාලන ප්‍රස්ථාර යනු SPC හි බහුලව භාවිතා වන මෙවලම්වලින් එකකි, "සාමාන්‍ය විචලනය" (ස්වාභාවික ක්‍රියාවලි විචල්‍යයන් නිසා ඇති වන) සහ "අසාමාන්‍ය විචලනය" (උපකරණ අසමත්වීම් හෝ ක්‍රියාවලි අපගමනයන් නිසා ඇති වන) අතර වෙනස හඳුනා ගැනීමට උපකාරී වේ. පොදු පාලන ප්‍රස්ථාරවලට ඇතුළත් වන්නේ:

X-Bar සහ R ප්‍රස්ථාර: ක්‍රියාවලිය ස්ථායී දැයි නිරීක්ෂණය කිරීම සඳහා නිෂ්පාදන කණ්ඩායම් තුළ මධ්‍යන්‍ය සහ පරාසය නිරීක්ෂණය කිරීමට භාවිතා කරයි.

Cp සහ Cpk දර්ශක: ක්‍රියාවලි හැකියාව මැනීමට භාවිතා කරයි, එනම් ක්‍රියාවලි ප්‍රතිදානයට පිරිවිතර අවශ්‍යතා නිරන්තරයෙන් සපුරාලිය හැකිද යන්න. Cp විසින් විභව හැකියාව මනින අතර Cpk පිරිවිතර සීමාවන්ගෙන් ක්‍රියාවලි මධ්‍යස්ථානයේ අපගමනය සලකයි.

උදාහරණයක් ලෙස, කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, ඔබට එච්ච් අනුපාතය සහ මතුපිට රළුබව වැනි පරාමිතීන් නිරීක්ෂණය කළ හැක. යම්කිසි උපකරණයක අකුරු අනුපාතිකය පාලන සීමාව ඉක්මවන්නේ නම්, මෙය ස්වභාවික විචල්‍යයක්ද නැතිනම් උපකරණයේ අක්‍රියතාවයේ ඇඟවීමක්ද යන්න තීරණය කිරීමට ඔබට පාලන ප්‍රස්ථාර භාවිතා කළ හැක.

4. Etching උපකරණ සඳහා SPC යෙදීම

කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, උපකරණ පරාමිතීන් පාලනය කිරීම තීරනාත්මක වන අතර, පහත දැක්වෙන ආකාරවලින් ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව වැඩිදියුණු කිරීමට SPC උපකාරී වේ:

උපකරණ තත්ත්‍ව අධීක්‍ෂණය: FDC වැනි පද්ධති එචිං උපකරණවල ප්‍රධාන පරාමිතීන් පිළිබඳ තත්‍ය කාලීන දත්ත රැස් කරයි (උදා, RF බලය, ගෑස් ප්‍රවාහය) සහ මෙම දත්ත SPC පාලන ප්‍රස්ථාර සමඟ ඒකාබද්ධ කර විභව උපකරණ ගැටළු හඳුනා ගනී. උදාහරණයක් ලෙස, පාලන ප්‍රස්ථාරයක RF බලය නියමිත අගයෙන් ක්‍රමක්‍රමයෙන් අපගමනය වන බව ඔබ දුටුවහොත්, නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මක භාවයට බලපෑම් නොකිරීමට ඔබට ගැලපීම හෝ නඩත්තුව සඳහා ඉක්මන් පියවර ගත හැක.

නිෂ්පාදන තත්ත්ව අධීක්‍ෂණය: ඔබට ප්‍රධාන නිෂ්පාදන තත්ත්ව පරාමිතීන් (උදා, etch ගැඹුර, රේඛීය පළල) SPC පද්ධතියට ඒවායේ ස්ථායිතාව නිරීක්ෂණය කිරීමට ද ඇතුළත් කළ හැක. සමහර තීරණාත්මක නිෂ්පාදන දර්ශක ඉලක්ක අගයන්ගෙන් ක්‍රමයෙන් බැහැර වුවහොත්, ක්‍රියාවලි ගැලපුම් අවශ්‍ය බව දක්වමින් SPC පද්ධතිය අනතුරු ඇඟවීමක් නිකුත් කරයි.

නිවාරණ නඩත්තු (PM): SPC උපකරණ සඳහා වැළැක්වීමේ නඩත්තු චක්‍රය ප්‍රශස්ත කිරීමට උපකාරී වේ. උපකරණ කාර්ය සාධනය සහ ක්රියාවලියේ ප්රතිඵල පිළිබඳ දිගුකාලීන දත්ත විශ්ලේෂණය කිරීමෙන්, උපකරණ නඩත්තු කිරීම සඳහා ප්රශස්ත කාලය තීරණය කළ හැකිය. උදාහරණයක් ලෙස, RF බලය සහ ESC ආයු කාලය නිරීක්ෂණය කිරීමෙන්, ඔබට පිරිසිදු කිරීම හෝ සංරචක ප්රතිස්ථාපනය කිරීම අවශ්ය වන විට, උපකරණ අසාර්ථක වීමේ අනුපාත සහ නිෂ්පාදන අක්රිය කාලය අඩු කිරීම තීරණය කළ හැකිය.

5. SPC පද්ධතිය සඳහා දෛනික භාවිත ඉඟි

දෛනික මෙහෙයුම් වලදී SPC පද්ධතිය භාවිතා කරන විට, පහත පියවර අනුගමනය කළ හැක:

ප්‍රධාන පාලන පරාමිති නිර්වචනය කරන්න (KPI): නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ වැදගත්ම පරාමිතීන් හඳුනාගෙන ඒවා SPC අධීක්‍ෂණයට ඇතුළත් කරන්න. මෙම පරාමිතීන් නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය සහ උපකරණ කාර්ය සාධනය සමඟ සමීපව සම්බන්ධ විය යුතුය.

පාලන සීමාවන් සහ අනතුරු ඇඟවීමේ සීමාවන් සකසන්න: ඓතිහාසික දත්ත සහ ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා මත පදනම්ව, එක් එක් පරාමිතිය සඳහා සාධාරණ පාලන සීමාවන් සහ අනතුරු ඇඟවීමේ සීමාවන් සකසන්න. පාලන සීමාවන් සාමාන්‍යයෙන් ±3σ (සම්මත අපගමනය) ලෙස සකසා ඇති අතර අනතුරු ඇඟවීමේ සීමාවන් ක්‍රියාවලියේ සහ උපකරණවල නිශ්චිත කොන්දේසි මත පදනම් වේ.

අඛණ්ඩ අධීක්ෂණය සහ විශ්ලේෂණය: දත්ත ප්‍රවණතා සහ වෙනස්කම් විශ්ලේෂණය කිරීමට SPC පාලන ප්‍රස්ථාර නිතිපතා සමාලෝචනය කරන්න. සමහර පරාමිතීන් පාලන සීමාවන් ඉක්මවා ගියහොත්, උපකරණ පරාමිතීන් සකස් කිරීම හෝ උපකරණ නඩත්තු කිරීම වැනි ක්ෂණික ක්‍රියාමාර්ග අවශ්‍ය වේ.

අසාමාන්යතා හැසිරවීම සහ මූල හේතු විශ්ලේෂණය: අසාමාන්යතාවයක් සිදු වූ විට, SPC පද්ධතිය සිද්ධිය පිළිබඳ සවිස්තරාත්මක තොරතුරු වාර්තා කරයි. මෙම තොරතුරු මත පදනම්ව අසාමාන්‍යතාවයේ මූල හේතුව ඔබ විසින් දෝශ නිරාකරණය කර විශ්ලේෂණය කළ යුතුය. බොහෝ විට FDC පද්ධති, EES පද්ධති ආදියෙන් දත්ත ඒකාබද්ධ කිරීමට, ගැටළුව උපකරණ අසමත් වීම, ක්‍රියාවලි අපගමනය හෝ බාහිර පාරිසරික සාධක නිසා ඇති වූවක් ද යන්න විශ්ලේෂණය කිරීමට හැකි වේ.

අඛණ්ඩ වැඩිදියුණු කිරීම: SPC පද්ධතිය විසින් වාර්තා කරන ලද ඓතිහාසික දත්ත භාවිතා කරමින්, ක්රියාවලියෙහි දුර්වල කරුණු හඳුනාගෙන වැඩිදියුණු කිරීමේ සැලසුම් යෝජනා කරන්න. උදාහරණයක් ලෙස, කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, ESC ආයු කාලය සහ උපකරණ නඩත්තු චක්‍රවල පිරිසිදු කිරීමේ ක්‍රමවල බලපෑම විශ්ලේෂණය කිරීම සහ උපකරණ මෙහෙයුම් පරාමිතීන් අඛණ්ඩව ප්‍රශස්ත කිරීම.

6. ප්‍රායෝගික යෙදුම් නඩුව

ප්‍රයෝගික උදාහරණයක් ලෙස, E-MAX කැටයම් කිරීමේ උපකරණ සඳහා ඔබ වගකිව යුතු යැයි සිතමු, සහ කුටීර කැතෝඩය අකලට ගෙවී යයි, D0 (BARC දෝෂය) අගයන් වැඩි වීමට හේතු වේ. SPC පද්ධතිය හරහා RF බලය සහ අකුරු අනුපාතිකය නිරීක්ෂණය කිරීමෙන්, මෙම පරාමිති ක්‍රමයෙන් ඒවායේ සකසන ලද අගයන්ගෙන් බැහැර වන ප්‍රවණතාවක් ඔබ දකී. SPC අනතුරු ඇඟවීමක් ක්‍රියාත්මක කිරීමෙන් පසුව, ඔබ FDC පද්ධතියෙන් දත්ත ඒකාබද්ධ කර කුටීරය තුළ ඇති අස්ථායී උෂ්ණත්ව පාලනය නිසා ගැටලුව ඇති වී ඇති බව තීරණය කරයි. එවිට ඔබ නව පිරිසිදු කිරීමේ ක්‍රම සහ නඩත්තු උපාය මාර්ග ක්‍රියාත්මක කරයි, අවසානයේ D0 අගය 4.3 සිට 2.4 දක්වා අඩු කරයි, එමඟින් නිෂ්පාදනවල ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු වේ.

7. XINKEHUI හි ඔබට ලබා ගත හැක.

XINKEHUI හිදී, එය සිලිකන් වේෆරයක් හෝ SiC වේෆරයක් වේවා, ඔබට පරිපූර්ණ වේෆරයක් ලබා ගත හැකිය. නිරවද්‍යතාවය සහ කාර්ය සාධනය කෙරෙහි අවධානය යොමු කරමින් විවිධ කර්මාන්ත සඳහා උසස් තත්ත්වයේ වේෆර් ලබා දීමට අපි විශේෂීකරණය කරමු.