අර්ධ සන්නායක තාක්‍ෂණයේ අඛණ්ඩ වර්ධනයත් සමඟ, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තයේ පවා, වේෆර් උපස්ථරයේ හෝ epitaxial පත්‍රයේ මතුපිට ගුණාත්මකභාවය සඳහා වන අවශ්යතා ද ඉතා දැඩි වේ. ඉතින්, වේෆර් සඳහා ගුණාත්මක අවශ්යතා මොනවාද? ගන්නවානිල් මැණික් වේෆර්උදාහරණයක් ලෙස, වේෆර්වල මතුපිට ගුණාත්මකභාවය තක්සේරු කිරීමට භාවිතා කළ හැකි දර්ශක මොනවාද?
වේෆර් ඇගයුම් දර්ශක මොනවාද?
දර්ශක තුන
Sapphire වේෆර් සඳහා, එහි ඇගයීම් දර්ශක වන්නේ සම්පූර්ණ ඝනකම අපගමනය (TTV), නැමීම (Bow) සහ Warp (Warp) වේ. මෙම පරාමිති තුන එක්ව සිලිකන් වේෆරයේ සමතලා බව සහ ඝනකම ඒකාකාරී බව පිළිබිඹු කරන අතර වේෆරයේ රැලි මට්ටම මැනිය හැක. වේෆර් මතුපිට ගුණාත්මකභාවය තක්සේරු කිරීම සඳහා රැලි සමතලා කිරීම සමඟ ඒකාබද්ධ කළ හැකිය.
TTV, BOW, Warp යනු කුමක්ද?
TTV (සම්පූර්ණ ඝනකම විචලනය)
TTV යනු වේෆරයක උපරිම සහ අවම ඝනකම අතර වෙනසයි. මෙම පරාමිතිය වේෆර් ඝනකම ඒකාකාරිත්වය මැනීමට භාවිතා කරන වැදගත් දර්ශකයකි. අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලියක දී, වේෆරයේ ඝනකම මුළු මතුපිටම ඉතා ඒකාකාරී විය යුතුය. මිනුම් සාමාන්යයෙන් වේෆර් මත ස්ථාන පහක සිදු කරනු ලබන අතර වෙනස ගණනය කරනු ලැබේ. අවසාන වශයෙන්, මෙම අගය වේෆරයේ ගුණාත්මකභාවය විනිශ්චය කිරීම සඳහා වැදගත් පදනමකි.
දුන්න
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී දුන්න යන්නෙන් අදහස් කරන්නේ වේෆරයක වංගුව, නොකැඩූ වේෆරයක මැද ලක්ෂ්‍යය සහ සමුද්දේශ තලය අතර දුර නිදහස් කිරීමයි. මෙම වචනය බොහෝ විට පැමිණෙන්නේ දුන්නක වක්‍ර හැඩය මෙන් වස්තුවක් නැමුණු විට එහි හැඩය විස්තර කිරීමෙනි. දුන්න අගය නිර්වචනය කරනු ලබන්නේ සිලිකන් වේෆරයේ මැද සහ දාරය අතර අපගමනය මැනීමෙනි. මෙම අගය සාමාන්යයෙන් මයික්‍රොමීටර (µm) වලින් ප්‍රකාශ වේ.
Warp
Warp යනු ෙව්ෆර් වල ගෝලීය දේපලක් වන අතර එය නිදහසේ නොකැඩූ වේෆරයක මැද සහ සමුද්දේශ තලය අතර උපරිම සහ අවම දුර අතර වෙනස මනින. සිලිකන් වේෆරයේ මතුපිට සිට තලය දක්වා ඇති දුර නියෝජනය කරයි.
TTV, Bow, Warp අතර වෙනස කුමක්ද?
TTV ඝනකමේ වෙනස්කම් කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන අතර වේෆරයේ නැමීම හෝ විකෘති කිරීම ගැන සැලකිලිමත් නොවේ.
Bow සමස්ත නැමීම කෙරෙහි අවධානය යොමු කරයි, ප්රධාන වශයෙන් මධ්ය ලක්ෂයේ සහ දාරයේ වංගුව සැලකිල්ලට ගනී.
සම්පූර්ණ වේෆර් මතුපිට නැමීම සහ ඇඹරීම ඇතුළුව Warp වඩාත් පුළුල් වේ.
මෙම පරාමිති තුන සිලිකන් වේෆරයේ හැඩය සහ ජ්‍යාමිතික ගුණවලට සම්බන්ධ වුවද, ඒවා මනිනු ලබන්නේ සහ විස්තර කර ඇත්තේ වෙනස් ආකාරයකට වන අතර අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලියට සහ වේෆර් සැකසීමට ඒවායේ බලපෑම ද වෙනස් වේ.
පරාමිති තුන කුඩා වන තරමට වඩා හොඳ සහ විශාල පරාමිතිය අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලියට ඍණාත්මක බලපෑමක් ඇති කරයි. එබැවින්, අර්ධ සන්නායක වෘත්තිකයෙකු ලෙස, සමස්ත ක්‍රියාවලි ක්‍රියාවලිය සඳහා වේෆර් පැතිකඩ පරාමිතීන්ගේ වැදගත්කම අප අවබෝධ කර ගත යුතුය, අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලිය සිදු කරන්න, විස්තර කෙරෙහි අවධානය යොමු කළ යුතුය.
(වාරණය)
පසු කාලය: ජූනි-24-2024