අර්ධ සන්නායක තාක්ෂණයේ අඛණ්ඩ සංවර්ධනයත් සමඟ, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තයේ පවා, වේෆර් උපස්ථරයේ හෝ එපිටැක්සියල් පත්‍රයේ මතුපිට ගුණාත්මකභාවය සඳහා වන අවශ්‍යතා ද ඉතා දැඩි ය. ඉතින්, වේෆර් සඳහා ගුණාත්මක අවශ්‍යතා මොනවාද?නිල් මැණික් වේෆර්උදාහරණයක් ලෙස, වේෆර්වල මතුපිට ගුණාත්මකභාවය ඇගයීමට භාවිතා කළ හැකි දර්ශක මොනවාද?
වේෆර් ඇගයීමේ දර්ශක මොනවාද?
දර්ශක තුන
නිල් මැණික් වේෆර් සඳහා, එහි ඇගයීම් දර්ශක වන්නේ සම්පූර්ණ ඝණකම අපගමනය (TTV), නැමීම (දුන්න) සහ වෝර්ප් (වෝර්ප්) ය. මෙම පරාමිතීන් තුන එක්ව සිලිකන් වේෆරයේ සමතලා බව සහ ඝනකමේ ඒකාකාරිත්වය පිළිබිඹු කරන අතර, වේෆරයේ රැළි මට්ටම මැනිය හැකිය. වේෆර් මතුපිට ගුණාත්මකභාවය ඇගයීම සඳහා රැලි පැතලි බව සමඟ ඒකාබද්ධ කළ හැකිය.
TTV, BOW, Warp යනු කුමක්ද?
TTV (සම්පූර්ණ ඝනකම විචලනය)
TTV යනු වේෆරයක උපරිම සහ අවම ඝණකම අතර වෙනසයි. මෙම පරාමිතිය වේෆර ඝණකම ඒකාකාරිත්වය මැනීමට භාවිතා කරන වැදගත් දර්ශකයකි. අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලියකදී, වේෆරයේ ඝණකම මුළු මතුපිටම ඉතා ඒකාකාරී විය යුතුය. මිනුම් සාමාන්‍යයෙන් වේෆරයේ ස්ථාන පහකදී සිදු කරනු ලබන අතර වෙනස ගණනය කෙරේ. අවසාන වශයෙන්, මෙම අගය වේෆරයේ ගුණාත්මකභාවය විනිශ්චය කිරීම සඳහා වැදගත් පදනමකි.
දුන්න
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී දුන්න යනු වේෆරයක නැමීම වන අතර එය කලම්ප නොකළ වේෆරයක මධ්‍ය ලක්ෂ්‍යය සහ යොමු තලය අතර දුර නිදහස් කරයි. මෙම වචනය බොහෝ විට පැමිණෙන්නේ දුන්නක වක්‍ර හැඩය මෙන් නැමුණු විට වස්තුවක හැඩය පිළිබඳ විස්තරයකින් ය. දුන්න අගය අර්ථ දැක්වෙන්නේ සිලිකන් වේෆරයේ මැද සහ දාරය අතර අපගමනය මැනීමෙනි. මෙම අගය සාමාන්‍යයෙන් මයික්‍රෝමීටර (µm) වලින් ප්‍රකාශ වේ.
වෝර්ප්
වෝර්ප් යනු වේෆර් වල ගෝලීය ගුණාංගයක් වන අතර එය නිදහසේ විසන්ධි කරන ලද වේෆරයක මැද සහ යොමු තලය අතර උපරිම සහ අවම දුර අතර වෙනස මනින අතර සිලිකන් වේෆරයේ මතුපිට සිට තලය දක්වා ඇති දුර නියෝජනය කරයි.
TTV, Bow, Warp අතර වෙනස කුමක්ද?
TTV ඝනකමේ වෙනස්කම් කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන අතර වේෆරයේ නැමීම හෝ විකෘති කිරීම ගැන සැලකිලිමත් නොවේ.
දුන්න සමස්ත වංගුව කෙරෙහි අවධානය යොමු කරයි, ප්‍රධාන වශයෙන් මධ්‍ය ලක්ෂ්‍යයේ සහ දාරයේ වංගුව සැලකිල්ලට ගනී.
සම්පූර්ණ වේෆර් මතුපිට නැමීම සහ ඇඹරීම ඇතුළුව වෝර්ප් වඩාත් පුළුල් වේ.
මෙම පරාමිතීන් තුන සිලිකන් වේෆරයේ හැඩය සහ ජ්‍යාමිතික ගුණාංගවලට සම්බන්ධ වුවද, ඒවා මනිනු ලබන්නේ සහ විස්තර කරනු ලබන්නේ වෙනස් ආකාරයකට වන අතර, අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලියට සහ වේෆර් සැකසීමට ඒවායේ බලපෑම ද වෙනස් වේ.
පරාමිති තුන කුඩා වන තරමට වඩා හොඳ වන අතර පරාමිතිය විශාල වන තරමට අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලියට ඍණාත්මක බලපෑම වැඩි වේ. එබැවින්, අර්ධ සන්නායක වෘත්තිකයෙකු ලෙස, අපි සම්පූර්ණ ක්‍රියාවලි ක්‍රියාවලිය සඳහා වේෆර් පැතිකඩ පරාමිතීන්ගේ වැදගත්කම අවබෝධ කර ගත යුතුය, අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලිය කරන්න, විස්තර කෙරෙහි අවධානය යොමු කළ යුතුය.
(වාරණය)
පළ කිරීමේ කාලය: 2024 ජූනි-24