නාමාවලිය
1. මූලික සංකල්ප සහ මිනුම්
2. මිනුම් ශිල්පීය ක්රම
3. දත්ත සැකසීම සහ දෝෂ
4. ක්රියාවලි ඇඟවුම්
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, වේෆර්වල ඝනකමේ ඒකාකාරිත්වය සහ මතුපිට සමතලා බව ක්රියාවලි අස්වැන්නට බලපාන තීරණාත්මක සාධක වේ. සම්පූර්ණ ඝනකම විචලනය (TTV), දුන්න (චාප යුධ පිටුව), වෝර්ප් (ගෝලීය යුධ පිටුව) සහ මයික්රෝවර්ප් (නැනෝ-භූ ලක්ෂණ) වැනි ප්රධාන පරාමිතීන් ෆොටෝලිතෝග්රැෆි නාභිගත කිරීම, රසායනික යාන්ත්රික ඔප දැමීම (CMP) සහ තුනී පටල තැන්පත් කිරීම වැනි මූලික ක්රියාවලීන්හි නිරවද්යතාවය සහ ස්ථායිතාවයට සෘජුවම බලපායි.
මූලික සංකල්ප සහ මිනුම්
TTV (සම්පූර්ණ ඝනකම විචලනය)
වෝර්ප්
යොමු තලයට සාපේක්ෂව සියලුම මතුපිට ලක්ෂ්ය හරහා උපරිම උච්ච-නිම්නයේ වෙනස වෝර්ප් ප්රමාණනය කරයි, නිදහස් තත්වයක වේෆරයේ සමස්ත සමතලා බව තක්සේරු කරයි.
මිනුම් ශිල්පීය ක්රම
1. TTV මිනුම් ක්රම
- ද්විත්ව මතුපිට පැතිකඩමිතිය
- ෆිසෝ ඉන්ටර්ෆෙරෝමිතිය:යොමු තලයක් සහ වේෆර් මතුපිට අතර බාධා කිරීම් මායිම් භාවිතා කරයි. සුමට මතුපිට සඳහා සුදුසු නමුත් විශාල වක්ර වේෆර් මගින් සීමා වේ.
- සුදු ආලෝක පරිලෝකන අන්තර්මිතිය (SWLI):අඩු අනුකූලතා ආලෝක ලියුම් කවර හරහා නිරපේක්ෂ උස මැනීම. පියවර වැනි මතුපිට සඳහා ඵලදායී නමුත් යාන්ත්රික ස්කෑන් කිරීමේ වේගය මගින් සීමා වේ.
- සංයෝජන ක්රම:පින්හෝල් හෝ විසරණ මූලධර්ම හරහා උප-ක්ෂුද්ර විභේදනය ලබා ගන්න. රළු හෝ පාරභාසක මතුපිට සඳහා වඩාත් සුදුසු නමුත් ලක්ෂ්යයෙන් ලක්ෂ්ය ස්කෑන් කිරීම නිසා මන්දගාමී වේ.
- ලේසර් ත්රිකෝණකරණය:වේගවත් ප්රතිචාරයක් නමුත් මතුපිට පරාවර්තකතා විචලනයන් නිසා නිරවද්යතාවය නැති වීමට ඉඩ ඇත.
- සම්ප්රේෂණය/පරාවර්තන සම්බන්ධ කිරීම
- ද්විත්ව-ශීර්ෂ ධාරිතා සංවේදක: දෙපස සංවේදක සමමිතිකව ස්ථානගත කිරීම මඟින් ඝණකම T = L – d₁ – d₂ (L = මූලික දුර) ලෙස මනිනු ලැබේ. වේගවත් නමුත් ද්රව්යමය ගුණාංගවලට සංවේදී වේ.
- ඉලිප්සොමිතිය/වර්ණාවලීක්ෂ පරාවර්තකමිතිය: තුනී පටල ඝණකම සඳහා ආලෝක-පදාර්ථ අන්තර්ක්රියා විශ්ලේෂණය කරයි නමුත් තොග TTV සඳහා නුසුදුසුය.
2. දුන්න සහ වෝර්ප් මැනීම
- බහු-පරීක්ෂණ ධාරිතා අරා: වේගවත් ත්රිමාණ ප්රතිනිර්මාණය සඳහා වායු-දරණ වේදිකාවක සම්පූර්ණ ක්ෂේත්ර උස දත්ත ග්රහණය කර ගන්න.
- ව්යුහගත ආලෝක ප්රක්ෂේපණය: දෘශ්ය හැඩතල ගැන්වීම භාවිතයෙන් අධිවේගී ත්රිමාණ පැතිකඩකරණය.
- අඩු-NA අන්තර්මිතිය: අධි-විභේදන මතුපිට සිතියම්ගත කිරීම නමුත් කම්පන සංවේදී.
3. ක්ෂුද්ර වාහක මිනුම්
- අවකාශීය සංඛ්යාත විශ්ලේෂණය:
- අධි-විභේදන මතුපිට භූ විෂමතාව ලබා ගන්න.
- 2D FFT හරහා බල වර්ණාවලි ඝනත්වය (PSD) ගණනය කරන්න.
- තීරණාත්මක තරංග ආයාම හුදකලා කිරීම සඳහා බෑන්ඩ්පාස් පෙරහන් (උදා: 0.5–20 මි.මී.) යොදන්න.
- පෙරහන් කළ දත්ත වලින් RMS හෝ PV අගයන් ගණනය කරන්න.
- රික්ත චක් සමාකරණය:ලිතෝග්රැෆි අතරතුර සැබෑ ලෝක කලම්ප බලපෑම් අනුකරණය කරන්න.
දත්ත සැකසුම් සහ දෝෂ ප්රභවයන්
කාර්ය ප්රවාහය සැකසීම
- ටීටීවී:ඉදිරිපස/පසුපස මතුපිට ඛණ්ඩාංක පෙළගස්වන්න, ඝණකම වෙනස ගණනය කරන්න, සහ ක්රමානුකූල දෝෂ අඩු කරන්න (උදා: තාප ප්ලාවිතය).
- දුන්න/වෝර්ප්:LSQ තලය උස දත්ත වලට සවි කරන්න; දුන්න = මධ්ය ලක්ෂ්ය අවශේෂ, වක්රය = උච්ච-සිට-නිම්නය අවශේෂ.
- මයික්රෝවෝර්ප්:අවකාශීය සංඛ්යාත පෙරහන් කරන්න, සංඛ්යාලේඛන ගණනය කරන්න (RMS/PV).
ප්රධාන දෝෂ මූලාශ්ර
- පාරිසරික සාධක:කම්පනය (අන්තර්ඡායනමිතිය සඳහා ඉතා වැදගත්), වායු කැළඹිලි, තාප ප්ලාවිතය.
- සංවේදක සීමාවන්:අවධි ශබ්දය (අන්තර්මිතිය), තරංග ආයාම ක්රමාංකන දෝෂ (සංයුක්ත), ද්රව්ය මත යැපෙන ප්රතිචාර (ධාරිතාව).
- වේෆර් හැසිරවීම:දාර බැහැර කිරීමේ වැරදි පෙළගැස්ම, මැහුම් වල චලන අදියරේ සාවද්යතාවයන්.
ක්රියාවලි විවේචනාත්මකභාවයට ඇති බලපෑම
- ලිතෝග්රැෆි:දේශීය ක්ෂුද්ර වෝර්ප් මඟින් DOF අඩු කරන අතර එමඟින් CD විචලනය සහ අතිච්ඡාදනය වන දෝෂ ඇති වේ.
- CMP:ආරම්භක TTV අසමතුලිතතාවය ඒකාකාර නොවන ඔප දැමීමේ පීඩනයකට හේතු වේ.
- ආතති විශ්ලේෂණය:දුන්න/වෝර්ප් පරිණාමය තාප/යාන්ත්රික ආතති හැසිරීම හෙළි කරයි.
- ඇසුරුම්කරණය:අධික TTV බන්ධන අතුරුමුහුණත් වල හිස්තැන් ඇති කරයි.
XKH හි නිල් මැණික් වේෆර්
පළ කිරීමේ කාලය: සැප්තැම්බර්-28-2025