p-type 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC උපස්ථරය අඟල් 4 〈111〉± 0.5°Zero MPD

කෙටි විස්තරය:

P-type 4H/6H-P 3C-N වර්ගයේ SiC උපස්ථරය, 〈111〉± 0.5° දිශානතිය සහ Zero MPD (Micro Pipe Defect) ශ්‍රේණිය සහිත අඟල් 4, උසස් ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ ක්‍රියාකාරී අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍යයකි. නිෂ්පාදනය. එහි විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය, ඉහළ බිඳවැටීමේ වෝල්ටීයතාවය සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව හා විඛාදනයට දැඩි ප්රතිරෝධයක් සඳහා ප්රසිද්ධය, මෙම උපස්ථරය බලශක්ති ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සහ RF යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. Zero MPD ශ්‍රේණිය අවම දෝෂ සහතික කරයි, ඉහළ ක්‍රියාකාරී උපාංගවල විශ්වසනීයත්වය සහ ස්ථාවරත්වය සහතික කරයි. එහි නිරවද්‍ය 〈111〉± 0.5° දිශානතිය නිශ්පාදනයේදී නිවැරදිව පෙළගැස්වීමට ඉඩ සලසයි, එය මහා පරිමාණ නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් සඳහා සුදුසු වේ. මෙම උපස්ථරය අධි-උෂ්ණත්වය, අධි-වෝල්ටීයතා සහ අධි-සංඛ්‍යාත ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග, එනම් බල පරිවර්තක, ඉන්වර්ටර් සහ RF සංරචක වල බහුලව භාවිතා වේ.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

4H/6H-P වර්ගය SiC සංයුක්ත උපස්ථර පොදු පරාමිති වගුව

4 අඟල් විෂ්කම්භය සිලිකන්කාබයිඩ් (SiC) උපස්ථරය පිරිවිතර

ශ්රේණිය			ශුන්‍ය MPD නිෂ්පාදනය ශ්‍රේණිය (Z ශ්‍රේණිය)	සම්මත නිෂ්පාදනය ශ්රේණිය (පී ශ්‍රේණිය)	ව්යාජ ශ්රේණිය (D ශ්‍රේණිය)
විෂ්කම්භය			99.5 mm ~ 100.0 මි.මී
ඝනකම			350 μm ± 25 μm
වේෆර් දිශානතිය			අක්ෂය: 2.0°-4.0° දෙසට [112(-)0] ± 0.5° සඳහා 4H/6H-P, On අක්ෂය:〈111〉± 0.5° 3C-N සඳහා
ක්ෂුද්ර නල ඝනත්වය			0 cm-2
ප්රතිරෝධකතාව	p-type 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏcm		≤0.3 Ωꞏcm
	n-වර්ගය 3C-N		≤0.8 mΩꞏcm		≤1 m Ωꞏcm
ප්‍රාථමික පැතලි දිශානතිය		4H/6H-P	- {1010} ± 5.0°
		3C-N	- {110} ± 5.0°
ප්‍රාථමික පැතලි දිග			32.5 mm ± 2.0 mm
ද්විතියික පැතලි දිග			18.0 mm ± 2.0 mm
ද්විතියික පැතලි දිශානතිය			සිලිකන් මුහුණත: 90° CW. ප්‍රයිම් ෆ්ලැට් එකෙන්±5.0°
දාර බැහැර කිරීම			3 මි.මී		6 මි.මී
LTV/TTV/Bow/Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
රළුබව			පෝලන්ත Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra≤0.5 nm
අධි තීව්‍ර ආලෝකයෙන් දාර ඉරිතැලීම්			කිසිවක් නැත		සමුච්චිත දිග ≤ 10 mm, තනි දිග≤2 mm
අධි තීව්‍රතා ආලෝකය මගින් හෙක්ස් තහඩු			සමුච්චිත ප්රදේශය ≤0.05%		සමුච්චිත ප්රදේශය ≤0.1%
අධි තීව්‍රතා ආලෝකය මගින් පොලිටයිප් ප්‍රදේශ			කිසිවක් නැත		සමුච්චිත ප්රදේශය≤3%
දෘෂ්ය කාබන් ඇතුළත් කිරීම්			සමුච්චිත ප්රදේශය ≤0.05%		සමුච්චිත ප්රදේශය ≤3%
ඉහළ තීව්රතා ආලෝකය මගින් සිලිකන් මතුපිට සීරීම්			කිසිවක් නැත		සමුච්චිත දිග≤1×වේෆර් විෂ්කම්භය
තීව්‍රතා ආලෝකයෙන් ඉහළ එජ් චිප්ස්			කිසිවකට අවසර නැත ≥0.2mm පළල සහ ගැඹුර		5 අවසර, ≤1 මි.මී
ඉහළ තීව්රතාවයකින් සිලිකන් මතුපිට දූෂණය			කිසිවක් නැත
ඇසුරුම්කරණය			බහු වේෆර් කැසට් හෝ තනි වේෆර් කන්ටේනරය

සටහන්:

※ දෝෂ සීමාවන් දාර බැහැර කිරීමේ ප්‍රදේශය හැර සම්පූර්ණ වේෆර් මතුපිටට අදාළ වේ. # සීරීම් පරීක්ෂා කළ යුත්තේ Si මුහුණේ පමණි.

P-type 4H/6H-P 3C-N වර්ගය අඟල් 4 SiC උපස්ථරය 〈111〉± 0.5° දිශානතිය සහ Zero MPD ශ්‍රේණිය ඉහළ ක්‍රියාකාරී ඉලෙක්ට්‍රොනික යෙදුම්වල බහුලව භාවිතා වේ. එහි ඇති විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය සහ ඉහළ බිඳවැටීමේ වෝල්ටීයතාව, ආන්තික තත්ව යටතේ ක්‍රියාත්මක වන අධි වෝල්ටීයතා ස්විච, ඉන්වර්ටර් සහ බල පරිවර්තක වැනි බල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. මීට අමතරව, උපස්ථරයේ ඉහළ උෂ්ණත්වයන්ට සහ විඛාදනයට ඇති ප්‍රතිරෝධය කටුක පරිසරවල ස්ථාවර ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කරයි. නිශ්චිත 〈111〉± 0.5° දිශානතිය නිෂ්පාදන නිරවද්‍යතාවය වැඩි දියුණු කරයි, එය RF උපාංග සහ රේඩාර් පද්ධති සහ රැහැන් රහිත සන්නිවේදන උපකරණ වැනි අධි-සංඛ්‍යාත යෙදුම් සඳහා සුදුසු වේ.

N-type SiC සංයුක්ත උපස්ථරවල වාසිවලට ඇතුළත් වන්නේ:

1. ඉහළ තාප සන්නායකතාව: කාර්යක්ෂම තාපය විසුරුවා හැරීම, එය ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයන් සහ අධි බල යෙදුම් සඳහා සුදුසු වේ.
2. අධි බිඳවැටීමේ වෝල්ටීයතාව: බල පරිවර්තක සහ ඉන්වර්ටර් වැනි අධි වෝල්ටීයතා යෙදුම්වල විශ්වාසදායක කාර්ය සාධනය සහතික කරයි.
3. Zero MPD (Micro Pipe Defect) ශ්‍රේණිය: අවම දෝෂ සහතික කරයි, තීරණාත්මක ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංගවල ස්ථායිතාව සහ ඉහළ විශ්වසනීයත්වය සපයයි.
4. විඛාදන ප්‍රතිරෝධය: දැඩි පරිසරවල කල් පවතින, ඉල්ලුම් සහිත තත්වයන් තුළ දීර්ඝ කාලීන ක්‍රියාකාරීත්වය සහතික කිරීම.
5. නිරවද්‍ය 〈111〉± 0.5° දිශානතිය: නිෂ්පාදනයේදී නිවැරදිව පෙළගැස්වීමට, අධි-සංඛ්‍යාත සහ RF යෙදුම්වල උපාංග ක්‍රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීමට ඉඩ සලසයි.

සමස්තයක් ලෙස, P-type 4H/6H-P 3C-N වර්ගයේ 4-අඟල් SiC උපස්ථරය 〈111〉± 0.5° දිශානතිය සහ Zero MPD ශ්‍රේණිය උසස් ඉලෙක්ට්‍රොනික යෙදුම් සඳහා ඉතා උසස් ක්‍රියාකාරී ද්‍රව්‍යයකි. එහි විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය සහ ඉහළ බිඳවැටීමේ වෝල්ටීයතාවය අධි වෝල්ටීයතා ස්විච, ඉන්වර්ටර් සහ පරිවර්තක වැනි බල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සඳහා එය පරිපූර්ණ කරයි. Zero MPD ශ්‍රේණිය අවම දෝෂ සහතික කරයි, විවේචනාත්මක උපාංගවල විශ්වසනීයත්වය සහ ස්ථාවරත්වය සපයයි. මීට අමතරව, විඛාදනයට සහ ඉහළ උෂ්ණත්වයන්ට උපස්ථරයේ ප්‍රතිරෝධය කටුක පරිසරවල කල්පැවැත්ම සහතික කරයි. නිරවද්‍ය 〈111〉± 0.5° දිශානතිය නිෂ්පාදනයේදී නිවැරදිව පෙළගැස්වීමට ඉඩ සලසයි, එය RF උපාංග සහ අධි-සංඛ්‍යාත යෙදුම් සඳහා ඉතා සුදුසු වේ.