P-type SiC වේෆර් 4H/6H-P 3C-N අඟල් 6 ඝනකම 350 μm ප්‍රාථමික පැතලි දිශානතිය සමඟ
පිරිවිතර4H/6H-P වර්ගය SiC සංයුක්ත උපස්ථර පොදු පරාමිති වගුව
6 අඟල් විෂ්කම්භය සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) උපස්ථරය පිරිවිතර
| ශ්රේණිය | ශුන්‍ය MPD නිෂ්පාදනයශ්රේණිය (Z ශ්රේණිය) | සම්මත නිෂ්පාදනයශ්රේණිය (පී ශ්රේණිය) | ව්යාජ ශ්රේණිය (D ශ්රේණිය) | ||
| විෂ්කම්භය | 145.5 mm ~ 150.0 මි.මී | ||||
| ඝනකම | 350 μm ± 25 μm | ||||
| වේෆර් දිශානතිය | -Offඅක්ෂය: 2.0°-4.0° දෙසට [1120] ± 0.5° සඳහා 4H/6H-P, අක්ෂයේ:〈111〉± 0.5° 3C-N සඳහා | ||||
| ක්ෂුද්ර නල ඝනත්වය | 0 cm-2 | ||||
| ප්රතිරෝධකතාව | p-type 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| n-වර්ගය 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
| ප්‍රාථමික පැතලි දිශානතිය | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| ප්‍රාථමික පැතලි දිග | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
| ද්විතියික පැතලි දිග | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
| ද්විතියික පැතලි දිශානතිය | සිලිකන් මුහුණත: 90° CW. ප්‍රයිම් පැතලි ± 5.0° සිට | ||||
| දාර බැහැර කිරීම | 3 මි.මී | 6 මි.මී | |||
| LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| රළුබව | පෝලන්ත Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| අධි තීව්‍ර ආලෝකයෙන් දාර ඉරිතැලීම් | කිසිවක් නැත | සමුච්චිත දිග ≤ 10 mm, තනි දිග≤2 mm | |||
| අධි තීව්රතා ආලෝකය මගින් හෙක්ස් තහඩු | සමුච්චිත ප්රදේශය ≤0.05% | සමුච්චිත ප්රදේශය ≤0.1% | |||
| අධි තීව්රතා ආලෝකය මගින් පොලිටයිප් ප්‍රදේශ | කිසිවක් නැත | සමුච්චිත ප්රදේශය≤3% | |||
| දෘෂ්ය කාබන් ඇතුළත් කිරීම් | සමුච්චිත ප්රදේශය ≤0.05% | සමුච්චිත ප්රදේශය ≤3% | |||
| ඉහළ තීව්රතා ආලෝකය මගින් සිලිකන් මතුපිට සීරීම් | කිසිවක් නැත | සමුච්චිත දිග≤1×වේෆර් විෂ්කම්භය | |||
| තීව්රතා ආලෝකයෙන් ඉහළ එජ් චිප්ස් | කිසිවකට අවසර නැත ≥0.2mm පළල සහ ගැඹුර | 5 අවසර, ≤1 මි.මී | |||
| ඉහළ තීව්රතාවයකින් සිලිකන් මතුපිට දූෂණය | කිසිවක් නැත | ||||
| ඇසුරුම්කරණය | බහු වේෆර් කැසට් හෝ තනි වේෆර් කන්ටේනරය | ||||
සටහන්:
※ දෝෂ සීමාවන් දාර බැහැර කිරීමේ ප්රදේශය හැර සම්පූර්ණ වේෆර් මතුපිටට අදාළ වේ. # Si මුහුණ o මත සීරීම් පරීක්ෂා කළ යුතුය
P-type SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, එහි 6-අඟල් විශාලත්වය සහ 350 μm ඝණකම, ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත බලශක්ති ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණවල කාර්මික නිෂ්පාදනයේ තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. එහි විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය සහ ඉහළ බිඳවැටීමේ වෝල්ටීයතාවය, විදුලි වාහන, බල ජාල සහ පුනර්ජනනීය බලශක්ති පද්ධති වැනි ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරවල භාවිතා කරන බල ස්විච, ඩයෝඩ සහ ට්‍රාන්සිස්ටර වැනි සංරචක නිෂ්පාදනය සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. දැඩි තත්ත්‍වයේ දී කාර්යක්ෂමව ක්‍රියා කිරීමට වේෆර් සතු හැකියාව ඉහළ බල ඝණත්වය සහ බලශක්ති කාර්යක්ෂමතාව අවශ්‍ය වන කාර්මික යෙදුම්වල විශ්වාසනීය කාර්ය සාධනය සහතික කරයි. මීට අමතරව, එහි ප්‍රාථමික පැතලි දිශානතිය උපාංග සැකසීමේදී නිශ්චිතව පෙළගැස්වීමට, නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහ නිෂ්පාදන අනුකූලතාව වැඩි දියුණු කිරීමට උපකාරී වේ.
N-type SiC සංයුක්ත උපස්ථරවල වාසි ඇතුළත් වේ
- ඉහළ තාප සන්නායකතාව: P-වර්ගය SiC වේෆර් කාර්යක්ෂමව තාපය විසුරුවා හරින අතර, ඒවා ඉහළ උෂ්ණත්ව යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.
- ඉහළ බිඳවැටීමේ වෝල්ටීයතාවය: අධි වෝල්ටීයතාවලට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව, බලශක්ති ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සහ අධි වෝල්ටීයතා උපාංගවල විශ්වසනීයත්වය සහතික කිරීම.
- කටුක පරිසරයන්ට ප්‍රතිරෝධය: අධික උෂ්ණත්වයන් සහ විඛාදන පරිසරයන් වැනි ආන්තික තත්වයන් තුළ විශිෂ්ට කල්පැවැත්ම.
- කාර්යක්ෂම බලශක්ති පරිවර්තනය: P-type doping මඟින් කාර්යක්ෂම බලය හැසිරවීමට පහසුකම් සපයන අතර, වේෆරය බලශක්ති පරිවර්තන පද්ධති සඳහා සුදුසු වේ.
- ප්‍රාථමික පැතලි දිශානතිය: නිෂ්පාදනයේදී නිශ්චිත පෙළගැස්මක් සහතික කරයි, උපාංගයේ නිරවද්‍යතාවය සහ අනුකූලතාව වැඩි දියුණු කරයි.
- තුනී ව්‍යුහය (350 μm): වේෆරයේ ප්‍රශස්ත ඝනකම උසස්, අවකාශය සීමා සහිත ඉලෙක්ට්රොනික උපාංගවලට අනුකලනය කිරීමට සහාය වේ.
සමස්තයක් ලෙස, P-type SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, කාර්මික සහ ඉලෙක්ට්රොනික යෙදුම් සඳහා ඉතා යෝග්‍ය වන වාසි රැසක් ලබා දෙයි. එහි ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ බිඳවැටීමේ වෝල්ටීයතාවය ඉහළ උෂ්ණත්ව හා අධි වෝල්ටීයතා පරිසරයන් තුළ විශ්වාසදායක ලෙස ක්‍රියා කිරීමට හැකි වන අතර කටුක තත්වයන්ට එහි ප්‍රතිරෝධය කල්පැවැත්ම සහතික කරයි. P-type doping මඟින් කාර්යක්ෂම බලශක්ති පරිවර්තනයක් සිදු කිරීමට ඉඩ සලසයි, එය බලශක්ති ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සහ බලශක්ති පද්ධති සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. මීට අමතරව, වේෆරයේ ප්‍රාථමික පැතලි දිශානතිය නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී නිශ්චිත පෙළගැස්මක් සහතික කරයි, නිෂ්පාදන අනුකූලතාව වැඩි කරයි. 350 μm ඝණකම සහිතව, එය උසස්, සංයුක්ත උපාංගවලට ඒකාබද්ධ කිරීම සඳහා හොඳින් ගැලපේ.
විස්තරාත්මක රූප සටහන
