දෘඩ හා බිඳෙන සුළු ද්රව්ය සඳහා නිරවද්ය මයික්රොජෙට් ලේසර් පද්ධතිය
මූලික ලක්ෂණ
1. ද්විත්ව තරංග ආයාම Nd:YAG ලේසර් මූලාශ්රය
ඩයෝඩ-පොම්ප කරන ලද ඝන-තත්ව Nd:YAG ලේසර් භාවිතා කරමින්, පද්ධතිය හරිත (532nm) සහ අධෝරක්ත (1064nm) තරංග ආයාම දෙකටම සහය දක්වයි. මෙම ද්විත්ව කලාප හැකියාව මඟින් ද්රව්ය අවශෝෂණ පැතිකඩවල පුළුල් වර්ණාවලියක් සමඟ උසස් අනුකූලතාවයක් ලබා දෙන අතර, සැකසුම් වේගය සහ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කරයි.
2. නව්ය මයික්රොජෙට් ලේසර් සම්ප්රේෂණය
ලේසර් අධි පීඩන ජල ක්ෂුද්ර ජෙට් එකක් සමඟ සම්බන්ධ කිරීමෙන්, මෙම පද්ධතිය සම්පූර්ණ අභ්යන්තර පරාවර්තනය උපයෝගී කරගනිමින් ලේසර් ශක්තිය ජල ප්රවාහය දිගේ හරියටම යොමු කරයි. මෙම අද්විතීය බෙදාහැරීමේ යාන්ත්රණය අවම විසිරීමක් සහිත අතිශය සියුම් නාභිගත කිරීම සහතික කරන අතර 20μm තරම් සියුම් රේඛා පළලක් ලබා දෙන අතර, අසමසම කැපුම් ගුණාත්මක භාවයක් ලබා දෙයි.
3. ක්ෂුද්ර පරිමාණයේ තාප පාලනය
ඒකාබද්ධ නිරවද්ය ජල සිසිලන මොඩියුලයක් සැකසුම් ස්ථානයේ උෂ්ණත්වය නියාමනය කරයි, තාප බලපෑමට ලක් වූ කලාපය (HAZ) 5μm තුළ පවත්වා ගනී. SiC හෝ GaN වැනි තාප සංවේදී සහ අස්ථි බිඳීම් වලට ගොදුරු විය හැකි ද්රව්ය සමඟ වැඩ කිරීමේදී මෙම විශේෂාංගය විශේෂයෙන් වටිනා වේ.
4. මොඩියුලර් බල වින්යාසය
මෙම වේදිකාව 50W, 100W සහ 200W යන ලේසර් බල විකල්ප තුනකට සහය දක්වයි, එමඟින් පාරිභෝගිකයින්ට ඔවුන්ගේ ප්රතිදානය සහ විභේදන අවශ්යතාවලට ගැලපෙන වින්යාසය තෝරා ගැනීමට ඉඩ සලසයි.
5. නිරවද්ය චලන පාලන වේදිකාව
මෙම පද්ධතියට ±5μm ස්ථානගත කිරීමක් සහිත ඉහළ නිරවද්යතා අදියරක් ඇතුළත් වන අතර, 5-අක්ෂ චලිතයක් සහ විකල්ප රේඛීය හෝ සෘජු-ධාවක මෝටර ඇතුළත් වේ. මෙය සංකීර්ණ ජ්යාමිතීන් හෝ කාණ්ඩ සැකසුම් සඳහා පවා ඉහළ පුනරාවර්තන හැකියාව සහ නම්යශීලී බව සහතික කරයි.
යෙදුම් ක්ෂේත්ර
සිලිකන් කාබයිඩ් වේෆර් සැකසීම:
බල ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණවල SiC වේෆර්වල දාර කැපීම, පෙති කැපීම සහ කැට කැපීම සඳහා කදිමයි.
ගැලියම් නයිට්රයිඩ් (GaN) උපස්ථර යන්ත්රෝපකරණ:
RF සහ LED යෙදුම් සඳහා සකස් කරන ලද ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් ලිවීම් සහ කැපීම සඳහා සහය දක්වයි.
පුළුල් කලාප පරතරය අර්ධ සන්නායක ව්යුහගත කිරීම:
අධි-සංඛ්යාත, අධි-වෝල්ටීයතා යෙදුම් සඳහා දියමන්ති, ගැලියම් ඔක්සයිඩ් සහ අනෙකුත් නැගී එන ද්රව්ය සමඟ අනුකූල වේ.
අභ්යවකාශ සංයුක්ත කැපීම:
සෙරමික් අනුකෘති සංයුක්ත සහ උසස් අභ්යවකාශ ශ්රේණියේ උපස්ථර නිවැරදිව කැපීම.
LTCC සහ ප්රකාශ වෝල්ටීයතා ද්රව්ය:
අධි-සංඛ්යාත PCB සහ සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනයේදී ක්ෂුද්ර හරහා විදුම්, අගල් කැපීම සහ ලිවීම සඳහා භාවිතා වේ.
සින්ටිලේටර් සහ දෘශ්ය ස්ඵටික හැඩගැස්වීම:
යිට්රියම්-ඇලුමිනියම් ගාර්නට්, LSO, BGO සහ අනෙකුත් නිරවද්ය දෘෂ්ටි විද්යාවේ අඩු දෝෂ සහිත කැපීම සක්රීය කරයි.
පිරිවිතර
පිරිවිතර | වටිනාකම |
ලේසර් වර්ගය | DPSS Nd:YAG |
සහාය දක්වන තරංග ආයාම | 532nm / 1064nm |
බල විකල්ප | 50W / 100W / 200W |
ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්යතාවය | ±5μm |
අවම රේඛා පළල | ≤20μm |
තාප බලපෑමට ලක් වූ කලාපය | ≤5μm |
චලන පද්ධතිය | රේඛීය / සෘජු ධාවක මෝටරය |
උපරිම ශක්ති ඝනත්වය | 10⁷ W/cm² දක්වා |
නිගමනය
මෙම ක්ෂුද්රජෙට් ලේසර් පද්ධතිය දෘඩ, බිඳෙනසුලු සහ තාප සංවේදී ද්රව්ය සඳහා ලේසර් යන්ත්රෝපකරණවල සීමාවන් නැවත අර්ථ දක්වයි. එහි අද්විතීය ලේසර්-ජල ඒකාබද්ධ කිරීම, ද්විත්ව තරංග ආයාම අනුකූලතාව සහ නම්යශීලී චලන පද්ධතිය හරහා, එය අති නවීන ද්රව්ය සමඟ වැඩ කරන පර්යේෂකයින්, නිෂ්පාදකයින් සහ පද්ධති ඒකාබද්ධ කරන්නන් සඳහා ගැලපෙන විසඳුමක් ලබා දෙයි. අර්ධ සන්නායක ෆැබ්, අභ්යවකාශ විද්යාගාර හෝ සූර්ය පැනල නිෂ්පාදනයේ භාවිතා කළත්, මෙම වේදිකාව ඊළඟ පරම්පරාවේ ද්රව්ය සැකසීමට බලගන්වන විශ්වසනීයත්වය, පුනරාවර්තන හැකියාව සහ නිරවද්යතාවය ලබා දෙයි.
විස්තරාත්මක රූප සටහන


