වාරික නිල් මැණික් ලිෆ්ට් පින් තනි ස්ඵටික Al₂O₃ වේෆර් ලිෆ්ට් පින්
තාක්ෂණික පරාමිතීන්
| රසායනික සංයුතිය | ඇල්2ඕ3 |
| දෘඪතාව | 9මෝස් |
| ප්‍රකාශ ස්වභාවය | ඒක අක්ෂීය |
| වර්තන දර්ශකය | 1.762-1.770 |
| ද්වි-ප්‍රින්ජන්ස් | 0.008-0.010 |
| විසුරුවා හැරීම | අඩු, 0.018 |
| දීප්තිය | වීදුරු |
| ප්ලෙයෝක්‍රොයිස්වාදය | මධ්‍යස්ථ සිට ප්‍රබල දක්වා |
| විෂ්කම්භය | 0.4මි.මී.-30මි.මී. |
| විෂ්කම්භය ඉවසීම | 0.004මි.මී.-0.05මි.මී. |
| දිග | 2 මි.මී.-150 මි.මී. |
| දිග ඉවසීම | 0.03මි.මී.-0.25මි.මී. |
| මතුපිට ගුණාත්මකභාවය | 40/20 |
| මතුපිට වටකුරු බව | රු.0.05 |
| අභිරුචි හැඩය | කෙළවර දෙකම පැතලි, එක් කෙළවරක් රතු, දෙකම රතු, සෑදල අල්ෙපෙනති සහ විශේෂ හැඩතල |
මූලික ලක්ෂණ
1.විශිෂ්ට දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය: දියමන්ති වලට පමණක් දෙවැනි වන 9 ක Mohs දෘඪතා ශ්‍රේණිගත කිරීමක් සහිත Sapphire Lift Pins, සාම්ප්‍රදායික සිලිකන් කාබයිඩ්, ඇලුමිනා සෙරමික් හෝ ලෝහ මිශ්‍ර ලෝහ විකල්ප නාටකාකාර ලෙස අභිබවා යන ඇඳුම් ලක්ෂණ පෙන්නුම් කරයි. මෙම අතිශය දෘඪතාව අංශු උත්පාදනය සහ නඩත්තු අවශ්‍යතා සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි, සේවා කාලය සාමාන්‍යයෙන් සැසඳිය හැකි යෙදුම්වල සාම්ප්‍රදායික ද්‍රව්‍යවලට වඩා 3-5 ගුණයකින් දිගු වේ.
2. ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය: 1000°C ඉක්මවන උෂ්ණත්වවලදී හායනයකින් තොරව තිරසාර ක්‍රියාකාරිත්වයට ඔරොත්තු දෙන පරිදි නිර්මාණය කර ඇති Sapphire Lift Pins, වඩාත්ම ඉල්ලුමක් ඇති තාප ක්‍රියාවලීන්හිදී මාන ස්ථායිතාව සහ යාන්ත්‍රික ශක්තිය පවත්වා ගනී. රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD), ලෝහ-කාබනික රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (MOCVD) සහ තාප ප්‍රසාරණ නොගැලපීම ක්‍රියාවලි අස්වැන්න අවදානමට ලක් කළ හැකි ඉහළ උෂ්ණත්ව ඇනීලිං පද්ධති වැනි තීරණාත්මක යෙදුම් සඳහා මෙය විශේෂයෙන් වටිනා කරයි.
3. රසායනික නිෂ්ක්‍රීයභාවය: තනි-ස්ඵටික නිල් මැණික් ව්‍යුහය, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී බහුලව දක්නට ලැබෙන HF අම්ලය, ක්ලෝරීන් මත පදනම් වූ රසායන විද්‍යාව සහ අනෙකුත් ආක්‍රමණශීලී ක්‍රියාවලි වායූන්ගෙන් එල්ල වන ප්‍රහාරයන්ට කැපී පෙනෙන ප්‍රතිරෝධයක් පෙන්නුම් කරයි. මෙම රසායනික ස්ථායිතාව ප්ලාස්මා පරිසරයන්හි ස්ථාවර ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කරන අතර වේෆර් දූෂණයට හේතු විය හැකි මතුපිට දෝෂ ඇතිවීම වළක්වයි.
4.අඩු අංශු දූෂණය: දෝෂ රහිත, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් නිල් මැණික් ස්ඵටික (සාමාන්‍යයෙන් >99.99%) වලින් නිෂ්පාදනය කරන ලද මෙම සෝපාන අල්ෙපෙනති දීර්ඝ භාවිතයෙන් පසුව පවා අවම අංශු වැගිරීමක් පෙන්නුම් කරයි. ඒවායේ සිදුරු නොවන මතුපිට ව්‍යුහය සහ ඔප දැමූ නිමාවන් වඩාත් දැඩි පිරිසිදු කාමර අවශ්‍යතා සපුරාලන අතර, උසස් නෝඩ් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ වැඩිදියුණු කළ ක්‍රියාවලි අස්වැන්න සඳහා සෘජුවම දායක වේ.
ඉහළ නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ: උසස් දියමන්ති ඇඹරුම් සහ ලේසර් සැකසුම් ශිල්පීය ක්‍රම භාවිතා කරමින්, නිල් මැණික් ලිෆ්ට් අල්ෙපෙනති උප-මයික්‍රෝන ඉවසීම් සහ 0.05μm Ra ට අඩු මතුපිට නිමාවන් සහිතව නිපදවිය හැක. ටේපර්ඩ් පැතිකඩ, විශේෂ ඉඟි වින්‍යාස කිරීම් සහ ඒකාබද්ධ පෙළගැස්වීමේ විශේෂාංග ඇතුළු අභිරුචි ජ්‍යාමිතීන් ඊළඟ පරම්පරාවේ නිෂ්පාදන උපකරණවල නිශ්චිත වේෆර් හැසිරවීමේ අභියෝගවලට මුහුණ දීම සඳහා ඉංජිනේරු කළ හැක.
ප්‍රාථමික යෙදුම්
1. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය: උසස් වේෆර් සැකසුම් පද්ධතිවල නිල් මැණික් ලිෆ්ට් අල්ෙපෙනති තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි, කැටයම් කිරීම, තැන්පත් කිරීම සහ පරීක්ෂණ ක්‍රියාවලීන්හිදී විශ්වාසදායක සහාය සහ නිරවද්‍ය ස්ථානගත කිරීම සපයයි. ඒවායේ තාප හා රසායනික ස්ථායිතාව නැනෝමීටර පරිමාණයන්හි මාන ස්ථායිතාව අත්‍යවශ්‍ය වන EUV ලිතෝග්‍රැෆි මෙවලම් සහ උසස් ඇසුරුම් යෙදුම්වල ඒවා විශේෂයෙන් වටිනා කරයි.
2.LED එපිටැක්සි (MOCVD): ගැලියම් නයිට්‍රයිඩ් (GaN) සහ ඒ ආශ්‍රිත සංයෝග අර්ධ සන්නායක එපිටැක්සියල් වර්ධන පද්ධතිවල, නිල් මැණික් ලිෆ්ට් අල්ෙපෙනති බොහෝ විට 1000°C ඉක්මවන උෂ්ණත්වවලදී ස්ථායී වේෆර් ආධාරකයක් සපයයි. නිල් මැණික් උපස්ථර සමඟ ඒවායේ ගැළපෙන තාප ප්‍රසාරණ ලක්ෂණ එපිටැක්සියල් වර්ධන ක්‍රියාවලියේදී වේෆර් නැමීම සහ ලිස්සා යාම අවම කරයි.
3. ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය: ඉහළ කාර්යක්ෂම සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනය ඉහළ උෂ්ණත්ව විසරණය, සින්ටර් කිරීම සහ තුනී පටල තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන්හි නිල් මැණික් වල අද්විතීය ගුණාංග වලින් ප්‍රතිලාභ ලබයි. සංරචක කල්පැවැත්ම නිෂ්පාදන පිරිවැයට සෘජුවම බලපාන මහා පරිමාණ නිෂ්පාදන පරිසරයන් තුළ අල්ෙපෙනති වල ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය විශේෂයෙන් වටිනා වේ.
4. නිරවද්‍ය දෘශ්‍ය විද්‍යාව සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික සැකසුම්: අර්ධ සන්නායක යෙදුම් වලට අමතරව, Sapphire Lift Pins සියුම් දෘශ්‍ය සංරචක, MEMS උපාංග සහ දූෂණයෙන් තොර සැකසුම් සහ සීරීම් වැළැක්වීම ඉතා වැදගත් වන විශේෂිත උපස්ථර හැසිරවීමේදී භාවිතා කරයි. ඒවායේ විද්‍යුත් පරිවාරක ගුණාංග විද්‍යුත් ස්ථිතික සංවේදී උපාංග සම්බන්ධ යෙදුම් සඳහා ඒවා වඩාත් සුදුසු කරයි.
නිල් මැණික් සෝපාන අල්ෙපෙනති සඳහා XKH හි සේවාවන්
XKH Sapphire Lift Pins සඳහා පුළුල් තාක්ෂණික සහාය සහ අභිරුචිකරණය කළ විසඳුම් සපයයි:
1. අභිරුචි සංවර්ධන සේවා
· මාන, ජ්‍යාමිතික සහ මතුපිට ප්‍රතිකාර අභිරුචිකරණය සඳහා සහාය
· ද්‍රව්‍ය තෝරා ගැනීම සහ තාක්ෂණික පරාමිති ප්‍රශස්තිකරණ නිර්දේශ
· සහයෝගී නිෂ්පාදන නිර්මාණය සහ අනුකරණ සත්‍යාපනය
2. නිරවද්‍ය නිෂ්පාදන හැකියාවන්
· ±1μm තුළ පාලනය වන ඉවසීම් සහිත ඉහළ නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ
· දර්පණ ඔප දැමීම සහ දාර චැම්ෆරින් කිරීම ඇතුළු විශේෂ ප්‍රතිකාර
· ප්‍රති-ඇලවුම් ආලේපන වැනි විකල්ප මතුපිට වෙනස් කිරීමේ විසඳුම්
3. තත්ත්ව සහතික පද්ධතිය
· පැමිණෙන ද්‍රව්‍ය පරීක්ෂාව සහ ක්‍රියාවලි පාලනය දැඩි ලෙස ක්‍රියාත්මක කිරීම
· පූර්ණ-මාන දෘශ්‍ය පරීක්ෂාව සහ මතුපිට රූප විද්‍යාත්මක විශ්ලේෂණය
· නිෂ්පාදන කාර්ය සාධන පරීක්ෂණ වාර්තා සැපයීම
4. සැපයුම් දාම සේවා
· සම්මත නිෂ්පාදන ඉක්මනින් ලබා දීම
· ප්‍රධාන ගිණුම් සඳහා කැපවූ ඉන්වෙන්ටරි කළමනාකරණය
5. තාක්ෂණික සහාය
· යෙදුම් විසඳුම් උපදේශනය
· අලෙවියෙන් පසු කඩිනම් ප්‍රතිචාරය
අර්ධ සන්නායක, LED සහ අනෙකුත් දියුණු කර්මාන්තවල දැඩි අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා උසස් තත්ත්වයේ Sapphire Lift Pins නිෂ්පාදන සහ වෘත්තීය තාක්ෂණික සේවා සැපයීමට අපි කැපවී සිටිමු.
