නිල් මැණික් වේෆර් සහ දෘශ්‍ය කවුළු නිෂ්පාදනය සඳහා නිල් මැණික් ස්ඵටික වර්ධන උදුන KY Kyropoulos ක්‍රමය
වැඩ කිරීමේ මූලධර්මය
KY ක්‍රමයේ මූලික මූලධර්මය වන්නේ 2050°C දී ටංස්ටන්/මොලිබ්ඩිනම් කබොලක අධි-පිරිසිදු Al₂O₃ අමුද්‍රව්‍ය උණු කිරීමයි. α-Al₂O₃ තනි ස්ඵටිකවල දිශානුගත වර්ධනයක් ලබා ගැනීම සඳහා බීජ ස්ඵටිකයක් දියවීමට පහත් කර, පසුව පාලිත ඉවත් කිරීම (0.5–10 mm/h) සහ භ්‍රමණය (0.5–20 rpm) සිදු කරනු ලැබේ. ප්‍රධාන ලක්ෂණ අතරට:
• විශාල-මාන ස්ඵටික (උපරිම Φ400 මි.මී. × 500 මි.මී.)
• අඩු පීඩන දෘශ්‍ය ශ්‍රේණියේ නිල් මැණික් (තරංග ඉදිරිපස විකෘති කිරීම <λ/8 @ 633 nm)
• මාත්‍රණය කරන ලද ස්ඵටික (උදා: තරු නිල් මැණික් සඳහා Ti³⁰ මාත්‍රණය කිරීම)
මූලික පද්ධති සංරචක
1. ඉහළ උෂ්ණත්ව ද්‍රවාංක පද්ධතිය
• ටංස්ටන්-මොලිබ්ඩිනම් සංයුක්ත කෝවක් (උපරිම උෂ්ණත්වය 2300°C)
• බහු-කලාප මිනිරන් තාපකය (±0.5°C උෂ්ණත්ව පාලනය)
2. ස්ඵටික වර්ධන පද්ධතිය
• සර්වෝ-ධාවනය කරන ලද ඇදීමේ යාන්ත්‍රණය (± 0.01 මි.මී. නිරවද්‍යතාවය)
• චුම්භක තරල භ්‍රමණ මුද්‍රාව (0–30 rpm පියවර රහිත වේග නියාමනය)
3. තාප ක්ෂේත්‍ර පාලනය
• කලාප 5ක ස්වාධීන උෂ්ණත්ව පාලනය (1800–2200°C)
• සකස් කළ හැකි තාප ආවරණය (±2°C/cm අනුක්‍රමණය)
• රික්තක සහ වායුගෝල පද්ධතිය
• 10⁻⁴ Pa ඉහළ රික්තකය
• Ar/N₂/H₂ මිශ්‍ර වායු පාලනය
4. බුද්ධිමත් නිරීක්ෂණ
• CCD තත්‍ය කාලීන ස්ඵටික විෂ්කම්භය නිරීක්ෂණය
• බහු-වර්ණාවලි දියවන මට්ටම අනාවරණය කිරීම
KY එදිරිව CZ ක්‍රමය සංසන්දනය කිරීම
| පරාමිතිය | KY ක්‍රමය | CZ ක්‍රමය |
| උපරිම ස්ඵටික ප්‍රමාණය | Φ400 මි.මී. | Φ200 මි.මී. |
| වර්ධන වේගය | 5–15 මි.මී./පැ. | 20-50 මි.මී./පැ. |
| දෝෂ ඝනත්වය | <100/සෙ.මී.² | 500–1000/සෙ.මී.² |
| බලශක්ති පරිභෝජනය | 80–120 kWh/kg | 50–80 kWh/kg |
| සාමාන්‍ය යෙදුම් | දෘශ්‍ය කවුළු/විශාල වේෆර් | LED උපස්ථර/ආභරණ |
ප්‍රධාන යෙදුම්
1. දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික කවුළු
• හමුදා IR ගෝලාකාර (සම්ප්‍රේෂණය >85%@3–5 μm)
• UV ලේසර් කවුළු (200 W/cm² බල ඝනත්වයට ඔරොත්තු දෙන)
2. අර්ධ සන්නායක උපස්ථර
• GaN එපිටැක්සියල් වේෆර් (අඟල් 2–8, TTV <10 μm)
• SOI උපස්ථර (මතුපිට රළුබව <0.2 nm)
3. පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ
• ස්මාර්ට්ෆෝන් කැමරා ආවරණ වීදුරුව (මොහ්ස් දෘඪතාව 9)
• ස්මාර්ට් ඔරලෝසු සංදර්ශක (10× සීරීම් ප්‍රතිරෝධය වැඩි දියුණු කිරීම)
4. විශේෂිත ද්‍රව්‍ය
• අධි-පිරිසිදු IR ප්‍රකාශ විද්‍යාව (අවශෝෂණ සංගුණකය <10⁻³ cm⁻¹)
• න්‍යෂ්ටික ප්‍රතික්‍රියාකාරක නිරීක්ෂණ කවුළු (විකිරණ ඉවසීම: 10¹⁶ n/cm²)
කයිරොපොලෝස් (KY) නිල් මැණික් ස්ඵටික වර්ධන උපකරණවල වාසි
කයිරොපොලෝස් (KY) ක්‍රමය මත පදනම් වූ නිල් මැණික් ස්ඵටික වර්ධන උපකරණ අසමසම තාක්ෂණික වාසි ලබා දෙන අතර කාර්මික පරිමාණ නිෂ්පාදනය සඳහා අති නවීන විසඳුමක් ලෙස එය ස්ථානගත කරයි. ප්‍රධාන ප්‍රතිලාභ අතරට:
1. විශාල විෂ්කම්භයකින් යුත් හැකියාව: විෂ්කම්භය අඟල් 12 (මි.මී. 300) දක්වා නිල් මැණික් ස්ඵටික වැඩීමේ හැකියාව, GaN එපිටැක්සි සහ මිලිටරි ශ්‍රේණියේ කවුළු වැනි උසස් යෙදුම් සඳහා වේෆර් සහ දෘශ්‍ය සංරචක ඉහළ අස්වැන්නක් නිෂ්පාදනය කිරීමට හැකි වේ.
2. අතිශය අඩු දෝෂ ඝනත්වය: ප්‍රශස්ත තාප ක්ෂේත්‍ර නිර්මාණය සහ නිරවද්‍ය උෂ්ණත්ව අනුක්‍රමික පාලනය හරහා විස්ථාපන ඝනත්වය <100/cm² ලබා ගනී, දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සඳහා උසස් ස්ඵටික අඛණ්ඩතාව සහතික කරයි.
3. උසස් තත්ත්වයේ දෘශ්‍ය කාර්ය සාධනය: UV ලේසර් කවුළු සහ අධෝරක්ත දෘශ්‍ය විද්‍යාව සඳහා ඉතා වැදගත් වන, දෘශ්‍යමාන අධෝරක්ත වර්ණාවලි (400–5500 nm) හරහා සම්ප්‍රේෂණය > 85% ලබා දෙයි.
4. උසස් ස්වයංක්‍රීයකරණය: සර්වෝ-ධාවනය කරන ලද ඇදීමේ යාන්ත්‍රණ (± 0.01 මි.මී. නිරවද්‍යතාවය) සහ චුම්භක තරල භ්‍රමණ මුද්‍රා (0–30 rpm පියවර රහිත පාලනය) විශේෂාංග, මිනිස් මැදිහත්වීම් අවම කිරීම සහ අනුකූලතාව වැඩි දියුණු කිරීම.
5. නම්‍යශීලී මාත්‍රණ විකල්ප: Cr³⁰ (රූබි සඳහා) සහ Ti³⁰ (තරු නිල් මැණික් සඳහා) වැනි මාත්‍රණ සමඟ අභිරුචිකරණයට සහය දක්වයි, ඔප්ටෝ ඉලෙක්ට්‍රොනික විද්‍යාව සහ ආභරණවල සුවිශේෂී වෙළඳපොළවල් සඳහා සේවය සපයයි.
6. බලශක්ති කාර්යක්ෂමතාව: ප්‍රශස්ත තාප පරිවරණය (ටංස්ටන්-මොලිබ්ඩිනම් කබොල) විකල්ප වර්ධන ක්‍රම සමඟ තරඟකාරී වන පරිදි බලශක්ති පරිභෝජනය 80–120 kWh/kg දක්වා අඩු කරයි.
7. පරිමාණය කළ හැකි නිෂ්පාදනය: ගෝලීය ස්ථාපනයන් 200 කට අධික සංඛ්‍යාවක් මගින් වලංගු කරන ලද, වේගවත් චක්‍ර කාලයන් (කිලෝග්‍රෑම් 30-40 ස්ඵටික සඳහා දින 8-10) සමඟින් මාසිකව වේෆර් 5,000+ ක ප්‍රතිදානයක් ලබා ගනී.
8. හමුදා ශ්‍රේණියේ කල්පැවැත්ම: අභ්‍යවකාශ හා න්‍යෂ්ටික යෙදුම් සඳහා අත්‍යවශ්‍ය විකිරණ-ප්‍රතිරෝධී මෝස්තර සහ තාප-ප්‍රතිරෝධී ද්‍රව්‍ය (10¹⁶ n/cm² වලට ඔරොත්තු දෙන) ඇතුළත් වේ.
මෙම නවෝත්පාදනයන් මගින් ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත නිල් මැණික් ස්ඵටික නිෂ්පාදනය කිරීම, 5G සන්නිවේදනය, ක්වොන්ටම් පරිගණකකරණය සහ ආරක්ෂක තාක්ෂණයන්හි දියුණුව සඳහා KY ක්‍රමය රන් ප්‍රමිතිය ලෙස තහවුරු කරයි.
XKH සේවා
XKH, නිල් මැණික් ස්ඵටික වර්ධන පද්ධති සඳහා පුළුල් පිරිවැටුම් විසඳුම් සපයන අතර, ස්ථාපනය, ක්‍රියාවලි ප්‍රශස්තිකරණය සහ කාර්ය මණ්ඩල පුහුණුව ඇතුළත් වන අතර එමඟින් බාධාවකින් තොරව මෙහෙයුම් ඒකාබද්ධ කිරීම සහතික කෙරේ. විවිධ කාර්මික අවශ්‍යතාවලට ගැලපෙන පරිදි සකස් කරන ලද පූර්ව වලංගු වර්ධන වට්ටෝරු (50+) අපි ලබා දෙන්නෙමු, එමඟින් සේවාදායකයින් සඳහා පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන කාලය සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි. විශේෂිත යෙදුම් සඳහා, අභිරුචි සංවර්ධන සේවාවන් මඟින් කුහර අභිරුචිකරණය (Φ200–400 mm) සහ උසස් මාත්‍රණ පද්ධති (Cr/Ti/Ni) සක්‍රීය කරයි, ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත දෘශ්‍ය සංරචක සහ විකිරණ-ප්‍රතිරෝධී ද්‍රව්‍ය සඳහා සහාය වේ.
අගය එකතු කළ සේවාවන් අතරට පෙති කැපීම, ඇඹරීම සහ ඔප දැමීම වැනි පශ්චාත්-වර්ධන සැකසුම් ඇතුළත් වන අතර, වේෆර්, ටියුබ් සහ මැණික් හිස් වැනි සම්පූර්ණ පරාසයක නිල් මැණික් නිෂ්පාදන මගින් අනුපූරක වේ. මෙම පිරිනැමීම් පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණවල සිට අභ්‍යවකාශය දක්වා අංශ සඳහා සේවය සපයයි. අපගේ තාක්ෂණික සහාය මාස 24 ක වගකීමක් සහ තත්‍ය කාලීන දුරස්ථ රෝග විනිශ්චය සහතික කරයි, අවම අක්‍රීය කාලයක් සහ තිරසාර නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහතික කරයි.
