නිල් මැණික් හතරැස් හිස් උපස්ථරය - දෘශ්‍ය, අර්ධ සන්නායක සහ පරීක්ෂණ වේෆර්

කෙටි විස්තරය:

රූපයේ දැක්වෙන නිල් මැණික් හතරැස් හිස් උපස්ථරය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත්, තනි-ස්ඵටික ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් (Al₂O₃) ද්‍රව්‍යයක් වන අතර එය උසස් දෘශ්‍ය පද්ධති, අර්ධ සන්නායක සැකසුම් සහ නිරවද්‍ය උපකරණ පරීක්ෂණවල ඉල්ලුම සපුරාලීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. Kyropoulos (KY) හෝ Czochralski (CZ) ක්‍රියාවලිය වැනි උසස් ස්ඵටික වර්ධන ක්‍රම හරහා නිපදවන ලද මෙම නිල් මැණික් හිස් කොටස කැපී පෙනෙන දෘශ්‍ය විනිවිදභාවය, සුවිශේෂී දෘඪතාව සහ කැපී පෙනෙන රසායනික ස්ථායිතාව පෙන්නුම් කරන අතර එය ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත කාර්මික යෙදුම් සඳහා කදිම තේරීමක් කරයි.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න

විශේෂාංග

විස්තරාත්මක රූප සටහන

Sapphire Square හිස් උපස්ථරය පිළිබඳ දළ විශ්ලේෂණය

රූපයේ දැක්වෙන පරිදි නිල් මැණික් හතරැස් හිස් උපස්ථරය, උසස් දෘශ්‍ය ඉංජිනේරු විද්‍යාව, අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනය සහ නිරවද්‍ය උපකරණ පරීක්ෂණ සඳහා භාවිතා කිරීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් තනි-ස්ඵටික ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් (Al₂O₃) සංරචකයකි. එහි සුවිශේෂී භෞතික හා රසායනික ගුණාංග සඳහා ප්‍රසිද්ධ නිල් මැණික්, අතිශය කල්පැවැත්ම, ස්ථාවරත්වය සහ දෘශ්‍ය ක්‍රියාකාරිත්වය ඉල්ලා සිටින කර්මාන්තවල වඩාත්ම අත්‍යවශ්‍ය ද්‍රව්‍යයක් බවට පත්ව ඇත. කයිරොපොලෝස් (KY), තාප හුවමාරු ක්‍රමය (HEM) හෝ චොක්‍රල්ස්කි (CZ) ක්‍රියාවලීන් වැනි නවීන ස්ඵටික වර්ධන ක්‍රම හරහා නිෂ්පාදනය කරන ලද මෙම හතරැස් හිස් තැන් ඉහළම ගුණාත්මක ප්‍රමිතීන් සපුරාලීම සඳහා ඉතා සූක්ෂම ලෙස නිෂ්පාදනය කෙරේ.

Sapphire Square Blank උපස්ථරයේ ප්‍රධාන ලක්ෂණ

නිල් මැණික් යනු ෂඩාස්‍රාකාර දැලිස් ව්‍යුහයක් සහිත ඒක අක්ෂීය, ඇනිසොට්‍රොපික් ස්ඵටිකයකි, එය යාන්ත්‍රික ශක්තිය, තාප ස්ථායිතාව සහ රසායනික ප්‍රතිරෝධයේ අසමසම සංයෝජනයක් ලබා දෙයි. Mohs දෘඪතාව ශ්‍රේණිගත කිරීම 9 ක් වන අතර, නිල් මැණික් සීරීම් ප්‍රතිරෝධය අනුව දියමන්ති වලට පමණක් දෙවැනි වන අතර, උල්ෙල්ඛ කාර්මික තත්වයන් යටතේ පවා සුවිශේෂී කල්පැවැත්ම සහතික කරයි. එහි ද්‍රවාංකය 2000°C ඉක්මවන අතර, ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයන්හි විශ්වාසදායක කාර්ය සාධනයක් ලබා දෙන අතර, එහි අඩු පාර විද්‍යුත් ද්‍රව්‍ය අලාභය එය RF සහ ඉහළ සංඛ්‍යාත ඉලෙක්ට්‍රොනික යෙදුම් සඳහා වඩාත් කැමති උපස්ථර ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.

දෘශ්‍ය ක්ෂේත්‍රය තුළ, නිල් මැණික් ගැඹුරු පාරජම්බුල කිරණ (~200nm) සිට දෘශ්‍යමාන සිට මධ්‍යම අධෝරක්ත කිරණ (~5000nm) දක්වා පුළුල් සම්ප්‍රේෂණ පරාසයක් ප්‍රදර්ශනය කරයි, නිසි ලෙස දිශානතියට පත් කළ විට විශිෂ්ට දෘශ්‍ය සමජාතීයතාවයක් සහ අඩු ද්විවර්තනයක් ඇත. මෙම ගුණාංග ලේසර් පද්ධති, ෆෝටෝනික්ස්, වර්ණාවලීක්ෂය සහ රූපකරණය වැනි දෘශ්‍ය-තීව්‍ර ක්ෂේත්‍රවල නිල් මැණික් වර්ග හිස් තැන් අත්‍යවශ්‍ය වේ.

නිෂ්පාදනය සහ සැකසීම

සෑම නිල් මැණික් හතරැස් හිස් උපස්ථරයක්ම දැඩි නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියකට භාජනය වන අතර, ඉහළ උෂ්ණත්ව ඌෂ්මකවල පාලිත ස්ඵටික වර්ධනයට භාජනය වන ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් අමු ඇලුමිනා කුඩු වලින් ආරම්භ වේ. තොග ස්ඵටික වගා කළ පසු, එය යෙදුම්-නිශ්චිත අවශ්‍යතාවලට ගැලපෙන පරිදි නිශ්චිතව නැඹුරු කර ඇත (සාමාන්‍යයෙන් C-තලය (0001), A-තලය (11-20), හෝ R-තලය (1-102)). ඉන්පසු ස්ඵටිකය දියමන්ති ආලේපිත කියත් සමඟ හතරැස් හිස් තැන් වලට කපා, පසුව ඝනකම ඒකාකාරිත්වය ලබා ගැනීම සඳහා නිරවද්‍ය ලැපින් කරනු ලැබේ. දෘශ්‍ය සහ අර්ධ සන්නායක යෙදුම් සඳහා, මතුපිට පරමාණුක මට්ටමේ සුමටතාවයට ඔප දැමිය හැකි අතර, දැඩි පැතලි බව, සමාන්තරකරණය සහ මතුපිට රළුබව පිරිවිතරයන් සපුරාලයි.

ප්‍රධාන වාසි

කැපී පෙනෙන දෘශ්‍ය විනිවිදභාවය- UV සිට IR දක්වා පුළුල් කලාප සම්ප්‍රේෂණය දෘශ්‍ය කවුළු, ලේසර් කුහර සහ සංවේදක ආවරණ සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.
සුපිරි යාන්ත්‍රික ශක්තිය- ඉහළ සම්පීඩ්‍යතා ශක්තිය, අස්ථි බිඳීමේ තද බව සහ සීරීම් ප්‍රතිරෝධය අධි පීඩන පරිසරවල දීර්ඝායුෂ සහතික කරයි.
තාප සහ රසායනික ස්ථායිතාව- තාප කම්පනය, අධික උෂ්ණත්වය සහ ආක්‍රමණශීලී රසායනික ද්‍රව්‍ය වලට ප්‍රතිරෝධී, අර්ධ සන්නායක සැකසුම් සහ දැඩි පාරිසරික නිරාවරණය අතරතුර අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීම.
නිරවද්‍ය මාන පාලනය- ±5µm ඇතුළත ලබා ගත හැකි ඝණකම ඉවසීම් සහ λ/10 දක්වා මතුපිට සමතලා බව (632.8nm දී), ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි සහ වේෆර් බන්ධන යෙදුම් සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.
බහුකාර්යතාව- දෘශ්‍ය සංරචක, එපිටැක්සියල් වර්ධන උපස්ථර සහ යන්ත්‍ර පරීක්ෂණ වේෆර් ඇතුළු විවිධ යෙදුම් සඳහා සුදුසු වේ.

අයදුම්පත්

දෘශ්‍ය යෙදුම්: එහි දෘශ්‍ය පැහැදිලි බව සහ කල්පැවැත්ම හේතුවෙන් කවුළු, පෙරහන්, ලේසර් ලාභ මධ්‍යම රඳවනයන්, සංවේදක සඳහා ආරක්ෂිත ආවරණ සහ ෆෝටෝනික් උපස්ථර ලෙස භාවිතා කරයි.
අර්ධ සන්නායක උපස්ථර: තාප සන්නායකතාවය සහ රසායනික ප්‍රතිරෝධය ඉතා වැදගත් වන GaN-පාදක LED, බල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ (SiC-on-sapphire ව්‍යුහයන්), RF උපාංග සහ ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික පරිපථ සඳහා මූලික පදනමක් ලෙස සේවය කරයි.
උපකරණ පරීක්ෂණය සහ ව්‍යාජ වේෆර්: අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන රේඛාවල පරීක්ෂණ උපස්ථර ලෙස නිතර භාවිතා කරනු ලැබේ, යන්ත්‍ර ක්‍රමාංකනය, ක්‍රියාවලි සමාකරණය සහ කැටයම් කිරීම, තැන්පත් කිරීම හෝ පරීක්ෂණ උපකරණවල විඳදරාගැනීම පරීක්ෂා කිරීම සඳහා භාවිතා වේ.
විද්‍යාත්මක පර්යේෂණ: දෘශ්‍ය, විද්‍යුත් සහ ද්‍රව්‍ය අධ්‍යයනයන් සඳහා නිෂ්ක්‍රීය, විනිවිද පෙනෙන සහ යාන්ත්‍රිකව ස්ථාවර වේදිකා අවශ්‍ය වන පර්යේෂණාත්මක සැකසුම් වලදී අත්‍යවශ්‍ය වේ.

නිති අසන පැණ

ප්‍රශ්නය 1: වටකුරු වේෆරයක් මත හතරැස් නිල් මැණික් හිස් එකක් භාවිතා කිරීමේ වාසිය කුමක්ද?
A: හතරැස් හිස් තැන් අභිරුචි කැපීම, උපාංග නිෂ්පාදනය හෝ යන්ත්‍ර පරීක්ෂාව සඳහා උපරිම භාවිත කළ හැකි ප්‍රදේශයක් සපයයි, ද්‍රව්‍ය නාස්තිය සහ පිරිවැය අඩු කරයි.

Q2: නිල් මැණික් උපස්ථරවලට අර්ධ සන්නායක සැකසුම් පරිසරයන්ට ඔරොත්තු දිය හැකිද?
A: ඔව්, නිල් මැණික් උපස්ථර ඉහළ උෂ්ණත්ව, ප්ලාස්මා කැටයම් සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී බහුලව දක්නට ලැබෙන රසායනික ප්‍රතිකාර යටතේ ස්ථායිතාව පවත්වා ගනී.

Q3: මගේ යෙදුම සඳහා මතුපිට දිශානතිය වැදගත්ද?
A: නියත වශයෙන්ම. LED නිෂ්පාදනයේදී GaN එපිටැක්සි සඳහා C-තල නිල් මැණික් බහුලව භාවිතා වන අතර, නිශ්චිත දෘශ්‍ය හෝ පීසෝ ඉලෙක්ට්‍රික් යෙදුම් සඳහා A-තලය සහ R-තල දිශානතිය වඩාත් කැමති වේ.

ප්‍රශ්නය 4: මෙම හිස් තැන් අභිරුචි ආලේපන සමඟ ලබා ගත හැකිද?
A: ඔව්, නිශ්චිත දෘශ්‍ය හෝ ඉලෙක්ට්‍රොනික අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා ප්‍රති-පරාවර්තක, පාර විද්‍යුත් හෝ සන්නායක ආලේපන යෙදිය හැකිය.

අපි ගැන

XKH විශේෂ දෘශ්‍ය වීදුරු සහ නව ස්ඵටික ද්‍රව්‍යවල අධි තාක්‍ෂණික සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. අපගේ නිෂ්පාදන දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සහ හමුදාව සඳහා සේවය කරයි. අපි Sapphire දෘශ්‍ය සංරචක, ජංගම දුරකථන කාච ආවරණ, සෙරමික්, LT, සිලිකන් කාබයිඩ් SIC, ක්වාර්ට්ස් සහ අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වේෆර් පිරිනමන්නෙමු. දක්ෂ විශේෂඥතාව සහ අති නවීන උපකරණ සමඟින්, ප්‍රමුඛ පෙළේ දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික ද්‍රව්‍ය අධි තාක්‍ෂණික ව්‍යවසායයක් වීම අරමුණු කරගනිමින්, අපි සම්මත නොවන නිෂ්පාදන සැකසීමේ විශිෂ්ටත්වය අත්කර ගනිමු.