අර්ධ සන්නායක උපකරණ
-
සිලිකන් / සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) වේෆර් හතර-අදියර සම්බන්ධිත ඔප දැමීමේ ස්වයංක්රීයකරණ රේඛාව (ඒකාබද්ධ පශ්චාත්-පෝලන්ත හැසිරවීමේ රේඛාව)
-
SiC බීජ ආලේපනය–බන්ධනය–සින්ටර් කිරීම ඒකාබද්ධ විසඳුම
-
අධි-නිරවද්ය ලේසර් ක්ෂුද්ර යන්ත්ර පද්ධතිය
-
දෘඩ හා බිඳෙන සුළු ද්රව්ය ඉතා නිරවද්යව කැපීම සඳහා බහු-වයර් දියමන්ති වයර් කියත්
-
ක්ෂුද්ර වෝටර්ජෙට්-මාර්ගෝපදේශ ලේසර් සැකසුම් යන්ත්රය
-
ප්රතිලෝම පැද්දීමේ වර්ගයේ බහු-වයර් දියමන්ති කියත් යන්ත්රය අධිවේගී අධි-නිරවද්යතාවය
-
බහු-වයර් දියමන්ති කියත් TJ3000 12″ ප්රතිලෝමව පහළට පැද්දීම
-
සිරස්/තිරස්/බහු වයර් කැපීමේදී නිල් මැණික්/සෙරමික්/කිරිගරුඬ ද්රව්ය සඳහා වයර් කියත් උපකරණ
-
අධිවේගී ලේසර් සන්නිවේදන සංරචක සහ පර්යන්ත
-
දියමන්ති වයර් බහු-වයර් අධිවේගී අධිවේගී නිරවද්යතාවයෙන් පහළට පැද්දෙන කැපුම් යන්ත්රය
-
ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් තනි-පැති ඔප දැමීමේ උපකරණ
-
SiC Sapphire Si wafer සඳහා ද්විත්ව ඒක පාර්ශවීය නිරවද්ය ඇඹරුම් යන්ත්රය