අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-ඉවත් කිරීමේ උපකරණ
විස්තරාත්මක රූප සටහන


ලේසර් එසවුම් උපකරණවල නිෂ්පාදන දළ විශ්ලේෂණය
අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-ඉවත් කිරීමේ උපකරණය අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය සැකසීමේදී උසස් ඉන්ගෝට් තුනී කිරීම සඳහා ඊළඟ පරම්පරාවේ විසඳුමක් නියෝජනය කරයි.යාන්ත්රික ඇඹරීම, දියමන්ති වයර් කියත් හෝ රසායනික-යාන්ත්රික තලකරණය මත රඳා පවතින සාම්ප්රදායික වේෆරින් ක්රම මෙන් නොව, මෙම ලේසර් පාදක වේදිකාව තොග අර්ධ සන්නායක ඉන්ගෝට් වලින් අතිශය තුනී ස්ථර වෙන් කිරීම සඳහා සම්බන්ධතා-නිදහස්, විනාශකාරී නොවන විකල්පයක් ඉදිරිපත් කරයි.
ගැලියම් නයිට්රයිඩ් (GaN), සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC), නිල් මැණික් සහ ගැලියම් ආසනයිඩ් (GaAs) වැනි බිඳෙනසුලු සහ ඉහළ වටිනාකමක් ඇති ද්රව්ය සඳහා ප්රශස්තිකරණය කර ඇති අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-ඕෆ් උපකරණ, ස්ඵටික ඉන්ගෝට් එකෙන් සෘජුවම වේෆර්-පරිමාණ පටල නිරවද්යව කැපීමට හැකියාව ලබා දෙයි. මෙම පෙරළිකාර තාක්ෂණය ද්රව්ය අපද්රව්ය සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි, ප්රතිදානය වැඩි දියුණු කරයි, සහ උපස්ථර අඛණ්ඩතාව වැඩි දියුණු කරයි - මේ සියල්ල බල ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ, RF පද්ධති, ෆෝටෝනික්ස් සහ ක්ෂුද්ර සංදර්ශකවල ඊළඟ පරම්පරාවේ උපාංග සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.
ස්වයංක්රීය පාලනය, කදම්භ හැඩගැන්වීම සහ ලේසර්-ද්රව්ය අන්තර්ක්රියා විශ්ලේෂණ කෙරෙහි අවධාරණය කරමින්, අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-ඕෆ් උපකරණ, පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන නම්යශීලීභාවය සහ මහා පරිමාණ නිෂ්පාදන පරිමාණයට සහාය වන අතරම අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන වැඩ ප්රවාහවලට බාධාවකින් තොරව ඒකාබද්ධ වීමට නිර්මාණය කර ඇත.


ලේසර් එසවුම් උපකරණවල තාක්ෂණය සහ ක්රියාකාරීත්වයේ මූලධර්මය

අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-ඉවත් කිරීමේ උපකරණ මගින් සිදු කරන ක්රියාවලිය ආරම්භ වන්නේ අධි ශක්ති පාරජම්බුල ලේසර් කදම්භයක් භාවිතයෙන් පරිත්යාගශීලී ඉන්ගෝට් එක එක් පැත්තකින් ප්රකිරණය කිරීමෙනි. මෙම කදම්භය නිශ්චිත අභ්යන්තර ගැඹුරක් මත තදින් අවධානය යොමු කර ඇත, සාමාන්යයෙන් ඉංජිනේරු අතුරුමුහුණතක් දිගේ, එහිදී දෘශ්ය, තාප හෝ රසායනික වෙනස හේතුවෙන් ශක්ති අවශෝෂණය උපරිම වේ.
මෙම ශක්ති අවශෝෂණ ස්ථරයේදී, ස්ථානගත උණුසුම වේගවත් ක්ෂුද්ර පිපිරීමක්, වායු ප්රසාරණයක් හෝ අන්තර් මුහුණත ස්ථරයක වියෝජනයකට මග පාදයි (උදා: ආතතිකාරක පටලයක් හෝ පූජා ඔක්සයිඩ්). මෙම නිශ්චිතවම පාලනය කරන ලද බාධාව ඉහළ ස්ඵටිකරූපී ස්ථරය - මයික්රෝමීටර දස ගණනක ඝනකමකින් - පාදක ඉන්ගෝට් එකෙන් පිරිසිදුව වෙන් වීමට හේතු වේ.
අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-අක්ෂි උපකරණ, චලන-සමමුහුර්ත ස්කෑනිං හිස්, වැඩසටහන්ගත කළ හැකි z-අක්ෂ පාලනය සහ තත්ය කාලීන පරාවර්තකමිතිය භාවිතා කරමින් සෑම ස්පන්දනයක්ම ඉලක්ක තලයට හරියටම ශක්තිය ලබා දෙන බව සහතික කරයි. වෙන්වීමේ සුමට බව වැඩි දියුණු කිරීමට සහ අවශේෂ ආතතිය අවම කිරීමට උපකරණ පිපිරුම් මාදිලිය හෝ බහු-ස්පන්දන හැකියාවන් සමඟ වින්යාසගත කළ හැකිය. වැදගත් වන්නේ, ලේසර් කදම්භය කිසි විටෙකත් ද්රව්යය භෞතිකව සම්බන්ධ කර නොගන්නා නිසා, ක්ෂුද්ර ඉරිතැලීම්, නැමීම් හෝ මතුපිට චිපින් කිරීමේ අවදානම විශාල ලෙස අඩු වීමයි.
මෙය ලේසර් එසවුම්-ඉවත් කිරීමේ තුනී කිරීමේ ක්රමය ක්රීඩාව වෙනස් කරන්නෙකු බවට පත් කරයි, විශේෂයෙන් උප-මයික්රෝන TTV (සම්පූර්ණ ඝනකම විචලනය) සහිත අතිශය පැතලි, අතිශය තුනී වේෆර් අවශ්ය වන යෙදුම් වලදී.
අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-ඕෆ් උපකරණවල පරාමිතිය
තරංග ආයාමය | IR/SHG/THG/FHG |
---|---|
ස්පන්දන පළල | නැනෝ තත්පර, පිකෝ තත්පර, ෆෙම්ටො තත්පර |
දෘශ්ය පද්ධතිය | ස්ථාවර දෘශ්ය පද්ධතිය හෝ ගැල්වානෝ-දෘශ්ය පද්ධතිය |
XY අදියර | 500 මි.මී. × 500 මි.මී. |
සැකසුම් පරාසය | 160 මි.මී. |
චලන වේගය | උපරිම 1,000 මි.මී./තත්පර |
පුනරාවර්තන හැකියාව | ±1 μm හෝ ඊට අඩු |
නිරපේක්ෂ ස්ථාන නිරවද්යතාවය: | ±5 μm හෝ ඊට අඩු |
වේෆර් ප්රමාණය | අඟල් 2–6 හෝ අභිරුචිකරණය කර ඇත |
පාලනය | වින්ඩෝස් 10,11 සහ පීඑල්සී |
බල සැපයුම් වෝල්ටීයතාවය | AC 200 V ±20 V, තනි-අදියර, 50/60 kHz |
බාහිර මානයන් | 2400 මි.මී. (W) × 1700 මි.මී. (D) × 2000 මි.මී. (H) |
බර | කිලෝග්රෑම් 1,000 |
ලේසර් එසවුම් උපකරණවල කාර්මික යෙදුම්
අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-ඕෆ් උපකරණ බහු අර්ධ සන්නායක වසම් හරහා ද්රව්ය සකස් කරන ආකාරය වේගයෙන් පරිවර්තනය කරමින් සිටී:
- ලේසර් එසවුම් උපකරණවල සිරස් GaN බල උපාංග
තොග ඉන්ගෝට් වලින් අතිශය තුනී GaN-on-GaN පටල එසවීම මඟින් සිරස් සන්නායක ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය සහ මිල අධික උපස්ථර නැවත භාවිතා කිරීමට හැකියාව ලැබේ.
- Schottky සහ MOSFET උපාංග සඳහා SiC වේෆර් තුනී කිරීම
උපස්ථර තලය ආරක්ෂා කරමින් උපාංග ස්ථර ඝණකම අඩු කරයි - වේගයෙන් මාරු වන බල ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සඳහා වඩාත් සුදුසුය.
- ලේසර් එසවුම් උපකරණවල නිල් මැණික් මත පදනම් වූ LED සහ සංදර්ශක ද්රව්ය
තුනී, තාප ප්රශස්තිකරණය කරන ලද ක්ෂුද්ර LED නිෂ්පාදනයට සහාය වීම සඳහා නිල් මැණික් බෝලවලින් උපාංග ස්ථර කාර්යක්ෂමව වෙන් කිරීම සක්රීය කරයි.
- ලේසර් එසවුම් උපකරණවල III-V ද්රව්ය ඉංජිනේරු විද්යාව
උසස් දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්රොනික ඒකාබද්ධ කිරීම සඳහා GaAs, InP සහ AlGaN ස්ථර වෙන් කිරීම පහසු කරයි.
- තුනී වේෆර් IC සහ සංවේදක නිෂ්පාදනය
පීඩන සංවේදක, ත්වරණමාන හෝ ෆොටෝ ඩයෝඩ සඳහා තුනී ක්රියාකාරී ස්ථර නිපදවයි, එහිදී තොගය කාර්ය සාධන බාධකයක් වේ.
- නම්යශීලී සහ විනිවිද පෙනෙන ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ
නම්යශීලී සංදර්ශක, පැළඳිය හැකි පරිපථ සහ විනිවිද පෙනෙන ස්මාර්ට් කවුළු සඳහා සුදුසු අතිශය තුනී උපස්ථර සකස් කරයි.
මෙම සෑම ක්ෂේත්රයකම, අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-ඉවත් කිරීමේ උපකරණ කුඩාකරණය, ද්රව්ය නැවත භාවිතය සහ ක්රියාවලි සරල කිරීම සක්රීය කිරීමේදී තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.

ලේසර් එසවුම් උපකරණ පිළිබඳ නිතර අසන ප්රශ්න (නිතර අසන ප්රශ්න)
Q1: අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-ඉවත් කිරීමේ උපකරණ භාවිතයෙන් මට ලබා ගත හැකි අවම ඝණකම කුමක්ද?
ඒ 1:සාමාන්යයෙන් ද්රව්යය අනුව මයික්රෝන 10–30 අතර වේ. නවීකරණය කරන ලද සැකසුම් සමඟ තුනී ප්රතිඵල ලබා ගැනීමට ක්රියාවලියට හැකියාව ඇත.
ප්රශ්නය 2: එකම ඉන්ගෝට් එකකින් වේෆර් කිහිපයක් පෙති කැපීමට මෙය භාවිතා කළ හැකිද?
ඒ 2:ඔව්. බොහෝ ගනුදෙනුකරුවන් එක් තොග ඉන්ගෝට් එකකින් තුනී ස්ථර කිහිපයක අනුක්රමික නිස්සාරණය සිදු කිරීම සඳහා ලේසර් එසවුම් තාක්ෂණය භාවිතා කරයි.
Q3: අධි බලැති ලේසර් ක්රියාකාරිත්වය සඳහා ඇතුළත් කර ඇති ආරක්ෂක විශේෂාංග මොනවාද?
A3:1 පන්තියේ කොටු, අන්තර් අගුළු පද්ධති, කදම්භ ආවරණ සහ ස්වයංක්රීය වසා දැමීම් සියල්ලම සම්මත වේ.
ප්රශ්නය 4: මෙම පද්ධතිය දියමන්ති වයර් කියත් හා සසඳන විට පිරිවැය කෙසේද?
ඒ 4:ආරම්භක ප්රාග්ධනය වැඩි විය හැකි වුවද, ලේසර් එසවීම මඟින් පරිභෝජන පිරිවැය, උපස්ථර හානි සහ පසු සැකසුම් පියවර විශාල ලෙස අඩු කරයි - දිගු කාලීනව හිමිකාරිත්වයේ මුළු පිරිවැය (TCO) අඩු කරයි.
Q5: ක්රියාවලිය අඟල් 6 හෝ අඟල් 8 කුට්ටි දක්වා පරිමාණය කළ හැකිද?
A5:නියත වශයෙන්ම. වේදිකාව ඒකාකාර කදම්භ ව්යාප්තිය සහ විශාල ආකෘති චලන අවධීන් සහිත අඟල් 12 උපස්ථර දක්වා සහය දක්වයි.
අපි ගැන
XKH විශේෂ දෘශ්ය වීදුරු සහ නව ස්ඵටික ද්රව්යවල අධි තාක්ෂණික සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. අපගේ නිෂ්පාදන දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සහ හමුදාව සඳහා සේවය කරයි. අපි Sapphire දෘශ්ය සංරචක, ජංගම දුරකථන කාච ආවරණ, සෙරමික්, LT, සිලිකන් කාබයිඩ් SIC, ක්වාර්ට්ස් සහ අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වේෆර් පිරිනමන්නෙමු. දක්ෂ විශේෂඥතාව සහ අති නවීන උපකරණ සමඟින්, ප්රමුඛ පෙළේ දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික ද්රව්ය අධි තාක්ෂණික ව්යවසායයක් වීම අරමුණු කරගනිමින්, අපි සම්මත නොවන නිෂ්පාදන සැකසීමේ විශිෂ්ටත්වය අත්කර ගනිමු.
