අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-ඕෆ් උපකරණ යනු ලේසර් ප්‍රේරිත එසවුම්-ඕෆ් ශිල්පීය ක්‍රම හරහා අර්ධ සන්නායක ඉන්ගෝට් නිරවද්‍ය සහ ස්පර්ශ නොවන තුනී කිරීම සඳහා නිර්මාණය කරන ලද ඉතා විශේෂිත කාර්මික විසඳුමකි. මෙම දියුණු පද්ධතිය නවීන අර්ධ සන්නායක වේෆරින් ක්‍රියාවලීන්හි, විශේෂයෙන් ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත බල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, LED සහ RF උපාංග සඳහා අතිශය තුනී වේෆර් නිෂ්පාදනය කිරීමේදී වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. තොග ඉන්ගෝට් හෝ පරිත්‍යාගශීලී උපස්ථර වලින් තුනී ස්ථර වෙන් කිරීමට හැකියාව ලබා දීමෙන්, අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-ඕෆ් උපකරණ යාන්ත්‍රික කියත්, ඇඹරීම සහ රසායනික කැටයම් කිරීමේ පියවර ඉවත් කිරීමෙන් ඉන්ගෝට් තුනී කිරීමේ විප්ලවීය වෙනසක් සිදු කරයි.

ගැලියම් නයිට්‍රයිඩ් (GaN), සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) සහ නිල් මැණික් වැනි අර්ධ සන්නායක ඉන්ගෝට් සාම්ප්‍රදායිකව තුනී කිරීම බොහෝ විට ශ්‍රමය වැය වන, නාස්ති කරන සහ ක්ෂුද්‍ර ඉරිතැලීම් හෝ මතුපිට හානිවලට ගොදුරු වේ. ඊට වෙනස්ව, අර්ධ සන්නායක ලේසර් එසවුම්-ඕෆ් උපකරණ ඵලදායිතාව වැඩි කරන අතරම ද්‍රව්‍යමය පාඩුව සහ මතුපිට ආතතිය අවම කරන විනාශකාරී නොවන, නිරවද්‍ය විකල්පයක් ලබා දෙයි. එය පුළුල් පරාසයක ස්ඵටිකරූපී සහ සංයෝග ද්‍රව්‍ය සඳහා සහය දක්වන අතර ඉදිරිපස-අන්ත හෝ මැද ප්‍රවාහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන රේඛාවලට බාධාවකින් තොරව ඒකාබද්ධ කළ හැකිය.

වින්‍යාසගත කළ හැකි ලේසර් තරංග ආයාම, අනුවර්තන නාභිගත පද්ධති සහ රික්ත-අනුකූල වේෆර් චක් සමඟින්, මෙම උපකරණය සිරස් උපාංග ව්‍යුහයන් හෝ විෂම පිටාක්සියල් ස්ථර මාරු කිරීම සඳහා ඉන්ගෝට් පෙති කැපීම, ලැමෙල්ලා නිර්මාණය සහ අතිශය තුනී පටල වෙන් කිරීම සඳහා විශේෂයෙන් හොඳින් ගැලපේ.