SIC සෙරමික් චක් සෙරමික් චෝෂණ කුසලාන කුසලාන නිරවද්යතා
ද්රව්ය ලක්ෂණ:
1. දෘ hard තාව: සිලිකන් කාබයිඩ් වල මෝෆ්ගේ දෘ ness තාව 9.2-9.5, දෙවනුව දියමන්ති වලට පමණක්, ශක්තිමත් ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් ඇත.
2. ඉහළ තාප සන්නායකතාව: සිලිකන් කාබයිඩ් තාප සන්නායකතාවය 120-200 W / / / M / MAR, එනම්, තාපය ඉක්මනින් විසුරුවා හැරිය හැකි අතර ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයක් සඳහා සුදුසු වේ.
3. අඩු තාප පුළුල් කිරීමේ සංගුණකය: සිලිකන් කාබයිඩ් තාප පුළුල් කිරීමේ සංගුණකය අඩු (4.0-4.5 × 10⁻⁶ / කේ), ඉහළ උෂ්ණත්වයේ දී මාන ස්ථාවරත්වය පවත්වා ගත හැකිය.
4. රසායනික ස්ථායිතාව: සිලිකන් කාබයිඩ් අම්ලය සහ ක්ෂාරි විඛාදන ප්රතිරෝධය, රසායනික විඛාදන පරිසරය තුළ භාවිතා කිරීම සුදුසුය.
5. ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තිය: සිලිකන් කාබයිඩ් ඉහළ නැමීමේ ශක්තිය හා සම්පීඩන ශක්තියක් ඇති අතර විශාල යාන්ත්රික ආතතියට ඔරොත්තු දිය හැකිය.
විශේෂාංග:
1. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය, රික්ත උකුල් කුසලානයක අතිශය සිහින් වම්පස, වම්පස සවි කිරීම සඳහා රික්ත කුසලානය, ඉටි සවි කිරීම, සිහින් වීම, ඉටි කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කිරීම සහ කැපීම සිදු කෙරේ.
2.සිකන් කාබයිඩ් උරාකෑමට හොඳ තාප සන්නායකතාවක් ඇති අතර, ඉටි සහ ඉටි කාලය effectively ලදායී ලෙස කෙටි කළ හැකි අතර නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කළ හැකිය.
3.සිලිකන් කාබයිඩ් රික්ත කිරකර් ද හොඳ අම්ල සහ ක්ෂාරි විඛාදන ප්රතිරෝධය ඇත.
සාම්ප්රදායික සංයෝජන වාහක තහඩුව සමඟ සුසාන කර ගැනීම, පැටවීම සහ බෑම කෙටි කරන්න, උණුසුම සහ සිසිලන කාලය කෙටි කරන්න, වැඩ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරන්න; ඒ අතරම, එය ඉහළ සහ පහළ තහඩු අතර ඇඳුම අඩු කර, හොඳ ගුවන් නිරවද්යතාවයක් පවත්වා ගත හැකි අතර, සේවා ජීවිතය 40% කින් පමණ ව්යාප්ත කළ හැකිය.
5. ද්රව්යමය සමානුපාතිකය කුඩා, සැහැල්ලු බර වේ. ක්රියාකරුවන්ට පැලට් රැගෙන යාම පහසු වන අතර, ප්රවාහන දුෂ්කරතා නිසා ගැටීමේ හානිය 20% කින් පමණ අවම කිරීම අඩු කරයි.
6. සයිඩ්: උපරිම විෂ්කම්භය 640MM; පැතලි බව: 3um හෝ ඊට අඩු
යෙදුම් ක්ෂේත්රය:
1. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන
සැකසුම් කිරීම:
ෆොටෝෆ්ලොඩිටෝග්රැෆි හි වේෆර් සවි කිරීම සඳහා, ඉහළ නිරවද්යතාවය සහ ක්රියාවලි අනුකූලතාව සහතික කිරීම, තුනී චිත්රපට තැන්පත් කිරීම සහ වෙනත් ක්රියාදාමයන් සඳහා. එහි අධික උෂ්ණත්වය හා විඛාදන ප්රතිරෝධය කටුක අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පරිසරයන් සඳහා සුදුසු වේ.
Ep එපිටොක්සීය වර්ධනය:
SIC හෝ Gan Ethaxial වර්ධනයක්, වෆර් තාපයේ ඒකාකාරත්වය සහ ස් stall ස්ථිතික ගුණාත්මකභාවය, ඉහළ උෂ්ණත්වය ඉහළ නැංවීම, උපාංග කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කිරීම.
2. ඡායාරූප උපකරණ
Led LED නිෂ්පාදනය:
එපිටික්ස් වර්ධනයේ ඒකාකාරිත්වය සහතික කිරීම සඳහා නිල් මැණික් උපස්ථරයක් සවි කිරීමට භාවිතා කරන අතර, එපිටිලික් වර්ධනයේ ඒකාකාරිත්වය සහතික කිරීම සඳහා, ප්රමුඛ පෙළේ කාර්යක්ෂමතාව සහ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා.
● ලේසර් ඩියෝඩ්:
ක්රියාවලි උෂ්ණත්ව උෂ්ණත්ව ස්ථාවරත්වය සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ නිරවද්ය සවිකෘත, සවි කිරීම සහ තාපන උපස්ථරයක් ලෙස, ලේසර් දියෝඩයේ නිමැවුම් බලය සහ විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කිරීම.
3. නිරවද්ය යන්ත්ර
දෘශ්ය සංරචක සැකසීම:
සැකසීමේදී ඉහළ නිරවද්යතාවයක් සහ අඩු දූෂණයක් සහතික කිරීම සඳහා දෘශ්ය කාච සහ පෙරහන් වැනි නිරවද්ය සංරචක සවි කිරීම සඳහා එය භාවිතා කරන අතර ඉහළ තීව්රතා යන්ත්රෝපකරණ සඳහා සුදුසු වේ.
සෙරමික් සැකසුම්:
ඉහළ ස්ථායිතාවයක් ලෙස, එය අධික උෂ්ණත්ව හා විඛාදන පරිසරය යටතේ යන්ත්රෝපකරණ නිරවද්යතාවය සහ අනුකූලතාව සහතික කිරීම සඳහා සෙරමික් ද්රව්යවල නිරවද්යතාවයට සුදුසු ය.
4. විද්යාත්මක අත්හදා බැලීම්
Health ඉහළ උෂ්ණත්ව අත්හදා බැලීම:
ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරවල නියැදි සවි කිරීමේ උපකරණයක් ලෙස, උෂ්ණත්වය ඒකාකාරිත්වය සහ නියැදි ස්ථායිතාව සහතික කිරීම සඳහා එය 1600 at ට වඩා වැඩි අධික උෂ්ණත්ව අත්හදා බැලීම් සඳහා සහය දක්වයි.
Vicue රික්ත පරීක්ෂණය:
රික්ත පරිසරයේ නියැදි සවි කිරීම් හා තාපන වාහකයක් ලෙස, අත්හදා බැලීමේ නිරවද්යතාවයේ නිරවද්යතාවය සහ පුනරාවර්තනය කිරීම සහතික කිරීම, රික්ත ආලේපනය සහ තාප පිරියම් කිරීම සඳහා සුදුසු ය.
තාක්ෂණික පිරිවිතර:
(ද්රව්යමය දේපල) | (ඒකකය) | (SSIC) | |
(SIC අන්තර්ගතයන්) |
| (WT)% | > 99 |
(සාමාන්ය ධාන්ය ප්රමාණය) |
| මයික්රොන් | 4-10 |
(Dens නත්වය) |
| kg / dm3 | > 3.14 |
(පෙනෙන සිදුරු) |
| VO1% | <0.5 |
(විකර්ස් දෘ ness තාව) | HV 0.5 | ජීපීඒ | 28 |
* (නම්යශීලී ශක්තිය) | 20ºC | MPA | 450 කි |
(සම්පීඩන ශක්තිය) | 20ºC | MPA | 3900 |
(ප්රත්යාස්ථතා මාපාංකය) | 20ºC | ජීපීඒ | 420 |
(අස්ථි බිඳීම දැඩි බව) |
| MPA / M '% | 3.5 |
(තාප සන්නායකතාවය) | 20 ° ºc | W / (m * k) | 160 |
(ප්රතිරෝධය) | 20 ° ºc | OHM.CM | 106-108 |
| a (rt ** ... 80ºC) | K-1 * 10-6 | 4.3 |
|
| oºc | 1700 |
වසර ගණනාවක තාක්ෂණික සමුච්චය හා කර්මාන්ත පළපුරුද්දක් සහිත, ප්රමාණය, තාපන ක්රමය සහ රික්ත addsions ිල්ස්චේට් නිර්මාණය පාරිභෝගිකයාගේ විශේෂිත අවශ්යතාවන්ට අනුව සකස් කිරීමට, නිෂ්පාදකයාගේ විශේෂිත අවශ්යතා අනුව යතුරෙහි ප්රධාන පරාමිතීන් සකස් කළ හැකිය. SIC සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් චක්ස් ඔවුන්ගේ විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය, ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාව සහ රසායනික ස්ථාවරත්වය හේතුවෙන් වේෆර් සැකසුම්, එපිටිලොක්ස් වර්ධනයේ සහ වෙනත් ප්රධාන ක්රියාවලීන්හි අත්යවශ්ය සංරචක බවට පත්ව ඇත. විශේෂයෙන් SIC සහ Gan වැනි තෙවන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය නිෂ්පාදනය කිරීමේදී සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි කුකුළන්ගේ ඉල්ලුම අඛණ්ඩව වර්ධනය වේ. අනාගතයේදී, 5G, විදුලි වාහන, කෘතිම බුද්ධි බුද්ධි තොරතුරු සහ වෙනත් තාක්ෂණයන් සමඟ, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි කුකුළු වල යෙදුම් අපේක්ෂාවන් පුළුල් වනු ඇත.




සවිස්තරාත්මක රූප සටහන


