SiC සෙරමික් ෆෝක් අත / අන්ත ඉෆෙක්ටරය - අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා උසස් නිරවද්‍ය හැසිරවීම

කෙටි විස්තරය:

SiC සෙරමික් ෆෝක් ආම්, බොහෝ විට සෙරමික් අන්ත ප්‍රයෝගකයක් ලෙස හඳුන්වනු ලබන අතර, එය වේෆර් ප්‍රවාහනය, පෙළගැස්ම සහ අධි තාක්‍ෂණික කර්මාන්තවල, විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා නිෂ්පාදනය තුළ ස්ථානගත කිරීම සඳහා විශේෂයෙන් සංවර්ධනය කරන ලද ඉහළ කාර්ය සාධන නිරවද්‍යතා හැසිරවීමේ සංරචකයකි. අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි භාවිතයෙන් නිෂ්පාදනය කරන ලද මෙම සංරචකය සුවිශේෂී යාන්ත්‍රික ශක්තිය, අතිශය අඩු තාප ප්‍රසාරණය සහ තාප කම්පනයට සහ විඛාදනයට උසස් ප්‍රතිරෝධය ඒකාබද්ධ කරයි.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න

විශේෂාංග

විස්තරාත්මක රූප සටහන

නිෂ්පාදන දළ විශ්ලේෂණය

ඇලුමිනියම්, මල නොබැඳෙන වානේ හෝ ක්වාර්ට්ස් වලින් සාදන ලද සාම්ප්‍රදායික අන්ත ඵලකාරක මෙන් නොව, SiC සෙරමික් අන්ත ඵලකාරක රික්ත කුටි, පිරිසිදු කාමර සහ කටුක සැකසුම් පරිසරයන්හි අසමසම කාර්ය සාධනයක් ලබා දෙන අතර, ඒවා ඊළඟ පරම්පරාවේ වේෆර් හැසිරවීමේ රොබෝවරුන්ගේ ප්‍රධාන කොටසක් බවට පත් කරයි. දූෂණයෙන් තොර නිෂ්පාදනය සඳහා වැඩිවන ඉල්ලුම සහ චිප් සෑදීමේදී දැඩි ඉවසීම් සමඟ, සෙරමික් අන්ත ඵලකාරක භාවිතය වේගයෙන් කර්මාන්ත ප්‍රමිතිය බවට පත්වෙමින් තිබේ.

නිෂ්පාදන මූලධර්මය

නිෂ්පාදනයSiC සෙරමික් අන්ත ප්‍රයෝගකකාර්ය සාධනය සහ කල්පැවැත්ම යන දෙකම සහතික කරන ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත්, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ක්‍රියාවලීන් මාලාවක් ඇතුළත් වේ. සාමාන්‍යයෙන් ප්‍රධාන ක්‍රියාවලීන් දෙකක් භාවිතා වේ:

ප්‍රතික්‍රියා-බන්ධිත සිලිකන් කාබයිඩ් (RB-SiC)

මෙම ක්‍රියාවලියේදී, සිලිකන් කාබයිඩ් කුඩු සහ බන්ධකයෙන් සාදන ලද පූර්ව ආකෘතියක් ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී (~1500°C) උණු කළ සිලිකන් සමඟ ඇතුල් කරනු ලැබේ, එය අවශේෂ කාබන් සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කර ඝන, දෘඩ SiC-Si සංයුක්තයක් සාදයි. මෙම ක්‍රමය විශිෂ්ට මාන පාලනයක් ලබා දෙන අතර මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනය සඳහා ලාභදායී වේ.

පීඩන රහිත සින්ටර් කළ සිලිකන් කාබයිඩ් (SSiC)

SSiC සෑදී ඇත්තේ අති සියුම්, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් SiC කුඩු අතිශය ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී (>2000°C) ආකලන හෝ බන්ධන අවධියක් භාවිතා නොකර සින්ටර් කිරීමෙනි. මෙය 100% කට ආසන්න ඝනත්වයක් සහිත නිෂ්පාදනයක් සහ SiC ද්‍රව්‍ය අතර ලබා ගත හැකි ඉහළම යාන්ත්‍රික හා තාප ගුණාංග ඇති කරයි. එය අතිශය තීරණාත්මක වේෆර් හැසිරවීමේ යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසුය.

පසු-සැකසුම් කිරීම

නිරවද්‍ය CNC යන්ත්‍රෝපකරණ: ඉහළ සමතලා බවක් සහ සමාන්තරතාවයක් ලබා ගනී.
මතුපිට නිමාව: දියමන්ති ඔප දැමීම මතුපිට රළු බව <0.02 µm දක්වා අඩු කරයි.
පරීක්ෂාව: එක් එක් කැබැල්ල සත්‍යාපනය කිරීම සඳහා දෘශ්‍ය අන්තර්-අන්තර්මිතිය, CMM සහ විනාශකාරී නොවන පරීක්ෂණ භාවිතා කරනු ලැබේ.

මෙම පියවරයන් සහතික කරන්නේSiC අන්ත ප්‍රයෝගකයස්ථාවර වේෆර් ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය, විශිෂ්ට තලය සහ අවම අංශු උත්පාදනය ලබා දෙයි.

ප්‍රධාන විශේෂාංග සහ ප්‍රතිලාභ

විශේෂාංගය	විස්තර
අතිශය ඉහළ දෘඪතාව	විකර්ස් දෘඪතාව > 2500 HV, ගෙවී යාමට සහ චිපින් වලට ප්‍රතිරෝධී වේ.
අඩු තාප ප්‍රසාරණය	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, තාප චක්‍රයේ දී මාන ස්ථායිතාව සක්‍රීය කරයි.
රසායනික නිෂ්ක්‍රීයතාව	HF, HCl, ප්ලාස්මා වායු සහ අනෙකුත් විඛාදන කාරක වලට ප්‍රතිරෝධී වේ.
විශිෂ්ට තාප කම්පන ප්‍රතිරෝධය	රික්තක සහ උදුන පද්ධතිවල වේගවත් උණුසුම/සිසිලනය සඳහා සුදුසු වේ.
ඉහළ දෘඪතාව සහ ශක්තිය	අපගමනයකින් තොරව දිගු කැන්ටිලිවර් දෙබලක අත් සඳහා සහය දක්වයි.
අඩු වායු විමෝචනය	අතිශය ඉහළ රික්තක (UHV) පරිසරයන් සඳහා කදිමයි.
ISO 1 පන්තියේ පිරිසිදු කාමර සූදානම්	අංශු-නිදහස් ක්‍රියාකාරිත්වය වේෆර් අඛණ්ඩතාව සහතික කරයි.

අයදුම්පත්

SiC සෙරමික් ෆෝක් ආර්ම් / එන්ඩ් ඉෆෙක්ටරය අතිශය නිරවද්‍යතාවය, පිරිසිදුකම සහ රසායනික ප්‍රතිරෝධය අවශ්‍ය කර්මාන්තවල බහුලව භාවිතා වේ. ප්‍රධාන යෙදුම් අවස්ථා අතරට:

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය

තැන්පත් කිරීම් (CVD, PVD), කැටයම් කිරීම (RIE, DRIE) සහ පිරිසිදු කිරීමේ පද්ධතිවල වේෆර් පැටවීම/බෑම.
FOUP, කැසට් සහ ක්‍රියාවලි මෙවලම් අතර රොබෝ වේෆර් ප්‍රවාහනය.
තාප සැකසුම් හෝ ඇනීලිං අතරතුර ඉහළ උෂ්ණත්ව හැසිරවීම.

ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා සෛල නිෂ්පාදනය

ස්වයංක්‍රීය රේඛා තුළ බිඳෙනසුලු සිලිකන් වේෆර් හෝ සූර්ය උපස්ථර සියුම් ලෙස ප්‍රවාහනය කිරීම.

පැතලි පැනල් සංදර්ශක (FPD) කර්මාන්තය

OLED/LCD නිෂ්පාදන පරිසරයන් තුළ විශාල වීදුරු පැනල් හෝ උපස්ථර ගෙනයාම.

සංයුක්ත අර්ධ සන්නායක / MEMS

දූෂණය පාලනය සහ ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය ඉතා වැදගත් වන GaN, SiC සහ MEMS නිෂ්පාදන මාර්ගවල භාවිතා වේ.

සංවේදී මෙහෙයුම් වලදී දෝෂ රහිත, ස්ථාවර හැසිරවීම සහතික කිරීමේදී එහි අවසාන ඵලකාරක භූමිකාව විශේෂයෙන් තීරණාත්මක වේ.

අභිරුචිකරණ හැකියාවන්

විවිධ උපකරණ සහ ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා අපි පුළුල් අභිරුචිකරණයන් පිරිනමන්නෙමු:

දෙබලක නිර්මාණය: ද්වි-ප්‍රොන්ග්, බහු-ඇඟිලි, හෝ බෙදීම් මට්ටමේ පිරිසැලසුම්.
වේෆර් ප්‍රමාණයේ අනුකූලතාව: 2” සිට 12” දක්වා වේෆර්.
සවි කිරීමේ අතුරුමුහුණත්: OEM රොබෝ අවි සමඟ අනුකූල වේ.
ඝනකම සහ මතුපිට ඉවසීම්: මයික්‍රෝන මට්ටමේ සමතලා බව සහ දාර වටකුරු කිරීම ලබා ගත හැකිය.
ස්ලිප් විරෝධී විශේෂාංග: ආරක්ෂිත වේෆර් ග්‍රහණය සඳහා විකල්ප මතුපිට වයනය හෝ ආලේපන.

එක් එක්සෙරමික් අන්ත ප්‍රයෝගකයඅවම මෙවලම් වෙනස්කම් සමඟ නිරවද්‍ය සවි කිරීම සහතික කිරීම සඳහා සේවාදායකයින් සමඟ සම-නිර්මාණය කර ඇත.

නිතර අසන ප්‍රශ්න (නිතර අසන ප්‍රශ්න)

Q1: අන්ත ඵලකාරක යෙදුමක් සඳහා SiC, ක්වාර්ට්ස් වලට වඩා හොඳ වන්නේ කෙසේද?
ඒ 1:ක්වාර්ට්ස් එහි සංශුද්ධතාවය සඳහා බහුලව භාවිතා වුවද, එය යාන්ත්‍රික තද බවක් නොමැති අතර බර හෝ උෂ්ණත්ව කම්පනය යටතේ කැඩී යාමේ ප්‍රවණතාවක් ඇත. SiC උසස් ශක්තිය, ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය සහ තාප ස්ථායිතාව ලබා දෙන අතර, අක්‍රීය කාලය සහ වේෆර් හානි අවදානම සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි.

Q2: මෙම සෙරමික් ෆෝක් අත සියලුම රොබෝ වේෆර් හසුරුවන්නන් සමඟ අනුකූලද?
ඒ 2:ඔව්, අපගේ සෙරමික් අන්ත ප්‍රයෝගක බොහෝ ප්‍රධාන වේෆර් හැසිරවීමේ පද්ධති සමඟ අනුකූල වන අතර නිරවද්‍ය ඉංජිනේරු ඇඳීම් සමඟ ඔබේ නිශ්චිත රොබෝ ආකෘතිවලට අනුවර්තනය කළ හැකිය.

Q3: එයට 300 mm වේෆර් විකෘති කිරීමකින් තොරව හැසිරවිය හැකිද?
A3:නියත වශයෙන්ම. SiC හි ඉහළ දෘඩතාව නිසා සිහින්, දිගු දෙබලක අත් පවා චලනය අතරතුර එල්ලා වැටීමකින් හෝ අපගමනයකින් තොරව 300 mm වේෆර් ආරක්ෂිතව රඳවා තබා ගැනීමට ඉඩ සලසයි.

Q4: SiC සෙරමික් අන්ත ප්‍රයෝගකයක සාමාන්‍ය සේවා කාලය කුමක්ද?
ඒ 4:නිසි ලෙස භාවිතා කළ විට, තාප හා යාන්ත්‍රික ආතතියට එහි ඇති විශිෂ්ට ප්‍රතිරෝධය හේතුවෙන්, SiC අන්ත ප්‍රයෝගකයක් සාම්ප්‍රදායික ක්වාර්ට්ස් හෝ ඇලුමිනියම් ආකෘතිවලට වඩා 5 සිට 10 ගුණයකින් දිගු කාලයක් පැවතිය හැකිය.

Q5: ඔබ ආදේශන හෝ වේගවත් මූලාකෘති සේවා ලබා දෙනවාද?
A5:ඔව්, අපි වේගවත් සාම්පල නිෂ්පාදනයට සහාය දක්වන අතර CAD ඇඳීම් හෝ පවතින උපකරණවලින් ප්‍රතිලෝම ඉංජිනේරු කොටස් මත පදනම්ව ප්‍රතිස්ථාපන සේවා පිරිනමන්නෙමු.

අපි ගැන

XKH විශේෂ දෘශ්‍ය වීදුරු සහ නව ස්ඵටික ද්‍රව්‍යවල අධි තාක්‍ෂණික සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. අපගේ නිෂ්පාදන දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සහ හමුදාව සඳහා සේවය කරයි. අපි Sapphire දෘශ්‍ය සංරචක, ජංගම දුරකථන කාච ආවරණ, සෙරමික්, LT, සිලිකන් කාබයිඩ් SIC, ක්වාර්ට්ස් සහ අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වේෆර් පිරිනමන්නෙමු. දක්ෂ විශේෂඥතාව සහ අති නවීන උපකරණ සමඟින්, ප්‍රමුඛ පෙළේ දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික ද්‍රව්‍ය අධි තාක්‍ෂණික ව්‍යවසායයක් වීම අරමුණු කරගනිමින්, අපි සම්මත නොවන නිෂ්පාදන සැකසීමේ විශිෂ්ටත්වය අත්කර ගනිමු.