SiC බීජ ආලේපනය–බන්ධනය–සින්ටර් කිරීම ඒකාබද්ධ විසඳුම
විස්තරාත්මක රූප සටහන
නිරවද්ය ඉසින ආලේපනය • මධ්ය පෙළගැස්ම බන්ධනය • රික්ත නිදොස් කිරීම • කාබනීකරණය/සින්ටර් කිරීම ඒකාබද්ධ කිරීම
ක්රියාකරු මත යැපෙන කාර්යයේ සිට SiC බීජ බන්ධනය නැවත නැවත කළ හැකි, පරාමිති මත පදනම් වූ ක්රියාවලියක් බවට පරිවර්තනය කරන්න: පාලිත ඇලවුම් ස්ථර ඝණකම, වායු බෑග් එබීම සමඟ මධ්ය පෙළගැස්ම, රික්ත නිදොස්කරණය සහ උෂ්ණත්වය/පීඩනය-ගැලපුම් කළ හැකි කාබනීකරණ ඒකාබද්ධ කිරීම. 6/8/12-අඟල් නිෂ්පාදන අවස්ථා සඳහා ගොඩනගා ඇත.
නිෂ්පාදන දළ විශ්ලේෂණය
එය කුමක්ද
මෙම ඒකාබද්ධ විසඳුම SiC ස්ඵටික වර්ධනයේ ඉහළ ප්රවාහ පියවර සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අතර එහිදී බීජ/වේෆරය ග්රැෆයිට් කඩදාසි/මිනිරන් තහඩුවට (සහ අදාළ අතුරුමුහුණත්) බන්ධනය කර ඇත. එය ක්රියාවලි ලූපය වසා දමයි:
ආලේපනය (ඉසින මැලියම්) → බන්ධනය (පෙළගස්වා ගැනීම + එබීම + රික්තක නිදොස්කරණය) → සින්ටර් කිරීම/කාබනීකරණය (ඒකාබද්ධ කිරීම සහ සුව කිරීම)
ඇලවුම් සෑදීම, බුබුලු ඉවත් කිරීම සහ අවසාන ඒකාබද්ධ කිරීම එක් දාමයක් ලෙස පාලනය කිරීමෙන්, විසඳුම අනුකූලතාව, නිෂ්පාදන හැකියාව සහ පරිමාණය වැඩි දියුණු කරයි.
වින්යාස විකල්ප
A. අර්ධ ස්වයංක්රීය රේඛාව
SiC ඉසින ආලේපන යන්ත්රය → SiC බන්ධන යන්ත්රය → SiC සින්ටර් කිරීමේ උදුන
B. සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්රීය මාර්ගය
ස්වයංක්රීය ඉසින ආලේපන සහ බන්ධන යන්ත්රය → SiC සින්ටර් කිරීමේ උදුන
විකල්ප ඒකාබද්ධ කිරීම්: රොබෝ හැසිරවීම, ක්රමාංකනය/පෙළගැස්ම, හැඳුනුම්පත කියවීම, බුබුලු හඳුනාගැනීම
ප්රධාන ප්රතිලාභ
• වැඩිදියුණු කළ පුනරාවර්තන හැකියාව සඳහා පාලිත ඇලවුම් ස්ථර ඝණකම සහ ආවරණය
• ස්ථාවර සම්බන්ධතා සහ පීඩන ව්යාප්තිය සඳහා මැද පෙළගැස්ම සහ වායු බෑග් එබීම
• ඇලවුම් ස්ථරය තුළ බුබුලු/හිස්තැන් අඩු කිරීම සඳහා රික්තක නිදොස්කරණය
• අවසාන බන්ධනය ස්ථාවර කිරීම සඳහා වෙනස් කළ හැකි උෂ්ණත්ව/පීඩන කාබනීකරණ ඒකාබද්ධ කිරීම
• ස්ථාවර චක්ර කාලය, සොයා ගැනීමේ හැකියාව සහ මාර්ගගත තත්ත්ව පාලනය සඳහා ස්වයංක්රීයකරණ විකල්ප
මූලධර්මය
සාම්ප්රදායික ක්රම අරගල කරන්නේ ඇයි?
බීජ බන්ධන කාර්ය සාධනය සාමාන්යයෙන් සම්බන්ධිත විචල්ය තුනකින් සීමා වේ:
-
ඇලවුම් ස්ථර අනුකූලතාව (ඝනකම සහ ඒකාකාරිත්වය)
-
බුබුල/ශුන්ය පාලනය (ඇලවුම් ස්ථරයේ සිරවී ඇති වාතය)
-
සුව කිරීමෙන්/කාබනීකරණයෙන් පසු බන්ධනයෙන් පසු ස්ථායිතාව
අතින් ආලේප කිරීම සාමාන්යයෙන් ඝණකම නොගැලපීම, දුෂ්කර බුබුලු දැමීම, ඉහළ අභ්යන්තර හිස්බව අවදානම, මිනිරන් මතුපිට සීරීමට ලක්වීම සහ මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනය සඳහා දුර්වල පරිමාණයට හේතු වේ.
ඇලවුම් ප්රවාහ හැසිරීම, පෘෂ්ඨික ආතතිය සහ කේන්ද්රාපසාරී බලය හේතුවෙන් භ්රමණ ආලේපනය අස්ථායී ඝනකමක් ඇති කළ හැකිය. එය මිනිරන් කඩදාසි/තහඩු මත පැති දූෂණය සහ සවි කිරීමේ සීමාවන්ට ද මුහුණ දිය හැකි අතර, ඝන අන්තර්ගතයක් සහිත මැලියම් ඒකාකාරව ආලේප කිරීමට අපහසු විය හැකිය.
ඒකාබද්ධ ප්රවේශය ක්රියාත්මක වන ආකාරය
ආලේපනය: ඉසින ආලේපනය ඉලක්කගත පෘෂ්ඨයන් මත (බීජ/වේෆර්, මිනිරන් කඩදාසි/තහඩුව) වඩාත් පාලනය කළ හැකි ඇලවුම් ස්ථර ඝණකම සහ ආවරණයක් සාදයි.
බන්ධනය: මැද පෙළගැස්ම + වායු බෑග් එබීම ස්ථාවර සම්බන්ධතාවයක් සඳහා සහාය වේ; රික්ත නිදොස්කරණය ඇලවුම් ස්ථරයේ සිරවී ඇති වාතය, බුබුලු සහ හිස්තැන් අඩු කරයි.
සින්ටර් කිරීම/කාබනීකරණය: වෙනස් කළ හැකි උෂ්ණත්වය සහ පීඩනය සමඟ ඉහළ-උෂ්ණත්ව ඒකාබද්ධ කිරීම, බුබුලු-නිදහස් සහ ඒකාකාර පීඩන ප්රතිඵල ඉලක්ක කරමින් අවසාන බන්ධිත අතුරුමුහුණත ස්ථාවර කරයි.
යොමු කාර්ය සාධන ප්රකාශය
කාබනීකරණ බන්ධන අස්වැන්න 90%+ දක්වා ළඟා විය හැකිය (ක්රියාවලි යොමුව). සාමාන්ය බන්ධන අස්වැන්න යොමු කිරීම් සම්භාව්ය අවස්ථා කොටසේ ලැයිස්තුගත කර ඇත.
ක්රියාවලිය
අ. අර්ධ ස්වයංක්රීය කාර්ය ප්රවාහය
පියවර 1 — ඉසින ආලේපනය (ආලේපනය)
ස්ථායී ඝනකම සහ ඒකාකාර ආවරණයක් ලබා ගැනීම සඳහා ඉලක්කගත මතුපිටවලට ඉසින ආලේපනයක් හරහා මැලියම් යොදන්න.
පියවර 2 — පෙළගැස්ම සහ බන්ධනය (බන්ධනය)
මැද පෙළගැස්ම සිදු කරන්න, වායු බෑග් එබීම යොදන්න, සහ ඇලවුම් ස්ථරයේ සිරවී ඇති වාතය ඉවත් කිරීමට රික්ත නිදොස්කරණය භාවිතා කරන්න.
පියවර 3 — කාබනීකරණ ඒකාබද්ධ කිරීම (සින්ටර් කිරීම/කාබනීකරණය)
බන්ධිත කොටස් සින්ටර් කිරීමේ උදුනට මාරු කර අවසාන බන්ධනය ස්ථාවර කිරීම සඳහා වෙනස් කළ හැකි උෂ්ණත්වය සහ පීඩනය සමඟ ඉහළ උෂ්ණත්ව කාබනීකරණ ඒකාබද්ධ කිරීම ක්රියාත්මක කරන්න.
B. සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්රීය කාර්ය ප්රවාහය
ස්වයංක්රීය ඉසින ආලේපන සහ බන්ධන යන්ත්රය ආලේපන සහ බන්ධන ක්රියා ඒකාබද්ධ කරන අතර රොබෝ හැසිරවීම සහ ක්රමාංකනය ඇතුළත් කළ හැකිය. මාර්ගගත විකල්පවලට ලුහුබැඳීමේ හැකියාව සහ තත්ත්ව පාලනය සඳහා ID කියවීම සහ බුබුලු හඳුනාගැනීම ඇතුළත් කළ හැකිය. ඉන්පසු කොටස් කාබනීකරණය ඒකාබද්ධ කිරීම සඳහා සින්ටර් කිරීමේ උදුන වෙත යයි.
ක්රියාවලි මාර්ග නම්යශීලීභාවය
අතුරුමුහුණත් ද්රව්ය සහ කැමති පිළිවෙත් මත පදනම්ව, පද්ධතියට එකම අරමුණ පවත්වා ගනිමින් විවිධ ආලේපන අනුපිළිවෙලවල් සහ තනි-පාර්ශ්වික හෝ ද්විත්ව-පාර්ශ්වික ඉසින මාර්ග සඳහා සහාය විය හැකිය: ස්ථාවර ඇලවුම් ස්ථරය → ඵලදායී නිදොස්කරණය → ඒකාකාර ඒකාබද්ධ කිරීම.
අයදුම්පත්
ප්රාථමික යෙදුම
SiC ස්ඵටික වර්ධනය ඉහළට ගලා යන බීජ බන්ධනය: බීජ/වේෆර් ග්රැෆයිට් කඩදාසි/මිනිරන් තහඩුව සහ අදාළ අතුරුමුහුණත් සමඟ බන්ධනය කිරීම, ඉන්පසු කාබනීකරණ ඒකාබද්ධ කිරීම.
ප්රමාණයේ අවස්ථා
වින්යාස තේරීම සහ වලංගු ක්රියාවලි මාර්ගගත කිරීම හරහා 6/8/12-අඟල් බන්ධන යෙදුම් සඳහා සහය දක්වයි.
සාමාන්ය ගැළපුම් දර්ශක
• අතින් ආලේප කිරීම ඝනකම විචල්යතාවය, බුබුලු/හිස්තැන්, සීරීම් සහ අස්ථායී අස්වැන්නක් ඇති කරයි.
• මිනිරන් කඩදාසි/තහඩු මත භ්රමණ ආලේපන ඝණකම අස්ථායී හෝ දුෂ්කර ය; පැති දූෂණය/සවි කිරීමේ සීමාවන් පවතී.
• ඔබට දැඩි පුනරාවර්තන හැකියාව සහ අඩු ක්රියාකරු යැපීම සහිත පරිමාණය කළ හැකි නිෂ්පාදනයක් අවශ්ය වේ.
• ඔබට ස්වයංක්රීයකරණය, සොයා ගැනීමේ හැකියාව සහ මාර්ගගත QC විකල්ප (ID + බුබුලු හඳුනාගැනීම) අවශ්යයි.
සම්භාව්ය අවස්ථා (සාමාන්ය ප්රතිඵල)
සටහන: පහත දැක්වෙන්නේ සාමාන්ය යොමු දත්ත / ක්රියාවලි යොමු කිරීම් ය. සැබෑ කාර්ය සාධනය ඇලවුම් පද්ධතිය, පැමිණෙන ද්රව්ය තත්වයන්, වලංගු ක්රියාවලි කවුළුව සහ පරීක්ෂණ ප්රමිතීන් මත රඳා පවතී.
අවස්ථාව 1 — අඟල් 6/8 බීජ බන්ධනය (ප්රතිදානය සහ අස්වැන්න යොමුව)
මිනිරන් තහඩුවක් නැත: 6 pcs/ඒකකය/දිනකට
මිනිරන් තහඩුව සමඟ: 2.5 pcs/ඒකකය/දිනකට
බන්ධන අස්වැන්න: ≥95%
අවස්ථාව 2 — අඟල් 12 බීජ බන්ධනය (ප්රතිදානය සහ අස්වැන්න යොමුව)
මිනිරන් තහඩුවක් නැත: 5 pcs/ඒකකය/දිනකට
මිනිරන් තහඩුව සමඟ: 2 pcs/ඒකකය/දිනකට
බන්ධන අස්වැන්න: ≥95%
අවස්ථාව 3 — කාබනීකරණ ඒකාබද්ධ කිරීමේ අස්වැන්න යොමුව
කාබනීකරණ බන්ධන අස්වැන්න: 90%+ (ක්රියාවලි යොමුව)
ඉලක්ක ප්රතිඵලය: බුබුලු රහිත සහ ඒකාකාර පීඩන ප්රතිඵල (වලංගුකරණය සහ පරීක්ෂණ නිර්ණායකයන්ට යටත්ව)
නිති අසන පැණ
ප්රශ්නය 1: මෙම විසඳුම මගින් විසඳන මූලික ගැටළුව කුමක්ද?
A: එය ඇලවුම් ඝණකම/ආවරණය පාලනය කිරීම, බුබුලු දැමීමේ ක්රියාකාරිත්වය සහ පශ්චාත්-බන්ධන ඒකාබද්ධ කිරීම මගින් බීජ බන්ධනය ස්ථාවර කරයි - කුසලතා මත රඳා පවතින පියවරක් නැවත නැවත කළ හැකි නිෂ්පාදන ක්රියාවලියක් බවට පත් කරයි.
Q2: අතින් ආලේප කිරීම බොහෝ විට බුබුලු/හිස්තැන් ඇති කරන්නේ ඇයි?
A: අතින් කරන ක්රම මගින් ඝනකම ස්ථාවරව පවත්වා ගැනීමට අරගල කරන අතර, බුබුලු ඉවත් කිරීම වඩාත් අපහසු කරන අතර සිරවී ඇති වාතයේ අවදානම වැඩි කරයි. ඒවාට මිනිරන් මතුපිට සීරීමට ද හැකි අතර පරිමාවේදී ප්රමිතිකරණය කිරීමට අපහසු වේ.
Q3: මෙම යෙදුම සඳහා භ්රමණ ආලේපනය අස්ථායී විය හැක්කේ ඇයි?
A: ඝනකම ඇලවුම් ප්රවාහ හැසිරීම, පෘෂ්ඨික ආතතිය සහ කේන්ද්රාපසාරී බලයට සංවේදී වේ. ග්රැෆයිට් කඩදාසි/තහඩු ආලේපනය සවිකිරීම සහ පැති දූෂණය වීමේ අවදානම මගින් සීමා කළ හැකි අතර, ඝන අන්තර්ගතයන් සහිත මැලියම් ඒකාකාරව කබාය කරකැවීම දුෂ්කර විය හැකිය.
අපි ගැන
XKH විශේෂ දෘශ්ය වීදුරු සහ නව ස්ඵටික ද්රව්යවල අධි තාක්ෂණික සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. අපගේ නිෂ්පාදන දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සහ හමුදාව සඳහා සේවය කරයි. අපි Sapphire දෘශ්ය සංරචක, ජංගම දුරකථන කාච ආවරණ, සෙරමික්, LT, සිලිකන් කාබයිඩ් SIC, ක්වාර්ට්ස් සහ අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වේෆර් පිරිනමන්නෙමු. දක්ෂ විශේෂඥතාව සහ අති නවීන උපකරණ සමඟින්, ප්රමුඛ පෙළේ දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික ද්රව්ය අධි තාක්ෂණික ව්යවසායයක් වීම අරමුණු කරගනිමින්, අපි සම්මත නොවන නිෂ්පාදන සැකසීමේ විශිෂ්ටත්වය අත්කර ගනිමු.
