සිලිකන් කාබයිඩ් කැන්ටිලිවර් පැඩලය (SiC කැන්ටිලිවර් පැඩලය)
විස්තරාත්මක රූප සටහන
නිෂ්පාදන දළ විශ්ලේෂණය
ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත ප්රතික්රියා-බන්ධිත සිලිකන් කාබයිඩ් (RBSiC) වලින් නිෂ්පාදනය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් කැන්ටිලිවර් පැඩලය, අර්ධ සන්නායක සහ ප්රකාශ වෝල්ටීයතා යෙදුම් සඳහා වේෆර් පැටවීමේ සහ හැසිරවීමේ පද්ධතිවල භාවිතා වන තීරණාත්මක අංගයකි.
සාම්ප්රදායික ක්වාර්ට්ස් හෝ ග්රැෆයිට් පැඩල් සමඟ සසඳන විට, SiC කැන්ටිලිවර් පැඩල් උසස් යාන්ත්රික ශක්තියක්, ඉහළ දෘඪතාවක්, අඩු තාප ප්රසාරණයක් සහ කැපී පෙනෙන විඛාදන ප්රතිරෝධයක් ලබා දෙයි. ඒවා ඉහළ උෂ්ණත්ව යටතේ විශිෂ්ට ව්යුහාත්මක ස්ථාවරත්වයක් පවත්වා ගෙන යන අතර, විශාල වේෆර් ප්රමාණයේ දැඩි අවශ්යතා, දීර්ඝ සේවා කාලය සහ අතිශය අඩු දූෂණය සපුරාලයි.
විශාල වේෆර් විෂ්කම්භයන්, ඉහළ ප්රතිදානය සහ පිරිසිදු සැකසුම් පරිසරයන් දෙසට අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලීන් අඛණ්ඩව සංවර්ධනය වීමත් සමඟ, SiC කැන්ටිලිවර් පැඩල් ක්රමයෙන් සාම්ප්රදායික ද්රව්ය ප්රතිස්ථාපනය කර ඇති අතර, විසරණ ඌෂ්මක, LPCVD සහ ඒ ආශ්රිත ඉහළ උෂ්ණත්ව උපකරණ සඳහා වඩාත් කැමති තේරීම බවට පත්ව ඇත.
නිෂ්පාදන විශේෂාංග
-
විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාව
-
1000–1300℃ උෂ්ණත්වයකදී විරූපණයකින් තොරව විශ්වාසදායක ලෙස ක්රියා කරයි.
-
උපරිම සේවා උෂ්ණත්වය 1380℃ දක්වා.
-
-
ඉහළ බර දරණ ධාරිතාව
-
නැමීමේ ශක්තිය 250–280 MPa දක්වා, ක්වාර්ට්ස් පැඩල් වලට වඩා බෙහෙවින් වැඩි ය.
-
විශාල විෂ්කම්භයකින් යුත් වේෆර් (මි.මී. 300 සහ ඊට වැඩි) හැසිරවීමේ හැකියාව ඇත.
-
-
දිගු සේවා කාලය සහ අඩු නඩත්තුව
-
අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකය (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), LPCVD ආලේපන ද්රව්ය සමඟ හොඳින් ගැලපේ.
-
ආතතිය නිසා ඇතිවන ඉරිතැලීම් සහ පීල් වීම අඩු කරයි, පිරිසිදු කිරීමේ සහ නඩත්තු චක්ර සැලකිය යුතු ලෙස දීර්ඝ කරයි.
-
-
විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ සංශුද්ධතාවය
-
අම්ල සහ ක්ෂාර වලට විශිෂ්ට ප්රතිරෝධයක්.
-
අංශු උත්පාදනය සහ අපිරිසිදු ද්රව්ය මුදා හැරීම අවම කරමින්, විවෘත සිදුරු සහිත ඝන ක්ෂුද්ර ව්යුහය <0.1%.
-
-
ස්වයංක්රීයකරණයට අනුකූල නිර්මාණය
-
ඉහළ මාන නිරවද්යතාවයක් සහිත ස්ථාවර හරස්කඩ ජ්යාමිතිය.
-
රොබෝ වේෆර් පැටවීමේ සහ බෑමේ පද්ධති සමඟ බාධාවකින් තොරව ඒකාබද්ධ වන අතර, සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්රීය නිෂ්පාදනය සක්රීය කරයි.
-
භෞතික හා රසායනික ගුණාංග
| අයිතමය | ඒකකය | දත්ත |
|---|---|---|
| උපරිම සේවා උෂ්ණත්වය | ℃ | 1380 (ස්පාඤ්ඤය) |
| ඝනත්වය | උ/සෙ.මී³ | 3.04 - 3.08 |
| විවෘත සිදුරු | % | < 0.1 |
| නැමීමේ ශක්තිය | එම්පීඒ | 250 (20℃), 280 (1200℃) |
| ප්රත්යාස්ථතා මාපාංකය | ජීපීඒ | 330 (20℃), 300 (1200℃) |
| තාප සන්නායකතාවය | ප/මී·ක | 45 (1200℃) |
| තාප ප්රසාරණ සංගුණකය | කේ⁻¹×10⁻⁶ | 4.5 |
| විකර්ස් දෘඪතාව | HV2 (HV2) යනු කුමක්ද? | ≥ 2100 |
| අම්ල/ක්ෂාරීය ප්රතිරෝධය | - | විශිෂ්ටයි |
-
සම්මත දිග:2378 මි.මී., 2550 මි.මී., 2660 මි.මී.
-
ඉල්ලීම මත අභිරුචි මානයන් ලබා ගත හැකිය
අයදුම්පත්
-
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය
-
LPCVD (අඩු පීඩන රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම)
-
විසරණ ක්රියාවලීන් (පොස්පරස්, බෝරෝන්, ආදිය)
-
තාප ඔක්සිකරණය
-
-
ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය
-
පොලිසිලිකන් සහ මොනොක්රිස්ටලීන් වේෆර් විසරණය සහ ආලේපනය
-
ඉහළ-උෂ්ණත්ව ඇනීල් කිරීම සහ නිෂ්ක්රීය කිරීම
-
-
අනෙකුත් ක්ෂේත්ර
-
අධික උෂ්ණත්ව විඛාදන පරිසරයන්
-
දිගු සේවා කාලයක් සහ අඩු දූෂණයක් අවශ්ය නිරවද්ය වේෆර් හැසිරවීමේ පද්ධති
-
පාරිභෝගික ප්රතිලාභ
-
අඩු කළ මෙහෙයුම් පිරිවැය- ක්වාර්ට්ස් පැඩල් හා සසඳන විට දිගු ආයු කාලයක්, අක්රීය කාලය සහ ප්රතිස්ථාපන වාර ගණන අවම කිරීම.
-
ඉහළ අස්වැන්නක්- ඉතා අඩු දූෂණයක් වේෆර් මතුපිට පිරිසිදුකම සහතික කරන අතර දෝෂ අනුපාත අඩු කරයි.
-
අනාගත-සාධනය- විශාල වේෆර් ප්රමාණ සහ ඊළඟ පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලීන් සමඟ අනුකූල වේ.
-
වැඩිදියුණු කළ ඵලදායිතාව- රොබෝ ස්වයංක්රීයකරණ පද්ධති සමඟ සම්පූර්ණයෙන්ම අනුකූල වන අතර, ඉහළ පරිමාවකින් යුත් නිෂ්පාදනයට සහාය වේ.
නිතර අසන ප්රශ්න - සිලිකන් කාබයිඩ් කැන්ටිලිවර් පැඩලය
Q1: සිලිකන් කාබයිඩ් කැන්ටිලිවර් පැඩලයක් යනු කුමක්ද?
A: එය ප්රතික්රියා-බන්ධිත සිලිකන් කාබයිඩ් (RBSiC) වලින් සාදන ලද වේෆර් ආධාරක සහ හැසිරවීමේ සංරචකයකි. එය විසරණ ඌෂ්මක, LPCVD සහ අනෙකුත් අධි-උෂ්ණත්ව අර්ධ සන්නායක සහ ප්රකාශ වෝල්ටීයතා ක්රියාවලීන්හි බහුලව භාවිතා වේ.
Q2: ක්වාර්ට්ස් පැඩල් වලට වඩා SiC තෝරා ගන්නේ ඇයි?
A: ක්වාර්ට්ස් පැඩල් සමඟ සසඳන විට, SiC පැඩල් පිරිනමන්නේ:
-
ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තිය සහ බර දරාගැනීමේ ධාරිතාව
-
1380℃ දක්වා උෂ්ණත්වවලදී වඩා හොඳ තාප ස්ථායිතාව
-
බොහෝ දිගු සේවා කාලය සහ නඩත්තු චක්ර අඩු වීම.
-
අංශු උත්පාදනය හා දූෂණය වීමේ අවදානම අඩු වීම
-
විශාල වේෆර් ප්රමාණ සමඟ අනුකූලතාව (මි.මී. 300 සහ ඊට වැඩි)
Q3: SiC කැන්ටිලිවර් පැඩලයට සහාය විය හැකි වේෆර් ප්රමාණයන් මොනවාද?
A: 2378 mm, 2550 mm සහ 2660 mm උදුන පද්ධති සඳහා සම්මත පැඩල් ලබා ගත හැකිය. 300 mm සහ ඊට වැඩි වේෆර් සඳහා සහය දැක්වීම සඳහා අභිරුචිකරණය කළ මානයන් තිබේ.
අපි ගැන
XKH විශේෂ දෘශ්ය වීදුරු සහ නව ස්ඵටික ද්රව්යවල අධි තාක්ෂණික සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. අපගේ නිෂ්පාදන දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සහ හමුදාව සඳහා සේවය කරයි. අපි Sapphire දෘශ්ය සංරචක, ජංගම දුරකථන කාච ආවරණ, සෙරමික්, LT, සිලිකන් කාබයිඩ් SIC, ක්වාර්ට්ස් සහ අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වේෆර් පිරිනමන්නෙමු. දක්ෂ විශේෂඥතාව සහ අති නවීන උපකරණ සමඟින්, ප්රමුඛ පෙළේ දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික ද්රව්ය අධි තාක්ෂණික ව්යවසායයක් වීම අරමුණු කරගනිමින්, අපි සම්මත නොවන නිෂ්පාදන සැකසීමේ විශිෂ්ටත්වය අත්කර ගනිමු.
