සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් අන්ත ප්‍රයෝගකය (දෙබලක අත/අත් වර්ගය)

එමසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් අන්ත ඵලකයඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඉහළ ඝනත්වය සහ දිගුකාලීන විශ්වසනීයත්වය සහතික කරන විශේෂිත සෙරමික් නිෂ්පාදන වැඩ ප්‍රවාහයක් හරහා නිෂ්පාදනය කෙරේ. නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය පුරාම, දැඩි තත්ත්ව පාලනයන් මඟින් එක් එක්සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් අන්ත ඵලකයඅර්ධ සන්නායක පන්තියේ ස්වයංක්‍රීය පද්ධතිවල දැඩි අවශ්‍යතා සපුරාලයි.

1. ද්‍රව්‍ය සකස් කිරීම

නිෂ්පාදනය ආරම්භ වන්නේ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් SiC කුඩු තෝරා ගැනීමෙනි. මෙම කුඩු මගින් යාන්ත්‍රික ශක්තිය සහ සංශුද්ධතාවය තීරණය වේ.සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් අන්ත ඵලකය. පරිපූර්ණ අංශු ඇසුරුම් කිරීම සහ ඒකාකාර ඝනත්වය ප්‍රවර්ධනය කිරීම සඳහා විශේෂ බන්ධක සහ සින්ටර් කිරීමේ ආකලන මිශ්‍ර කරනු ලැබේ.

2. හැඩගැස්වීම සහ පෙර සැකසීම

කොළ පැහැති ශරීරයසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් අන්ත ඵලකයසමස්ථානික සම්පීඩනය හෝ සෙරමික් එන්නත් අච්චුව භාවිතයෙන් සාදනු ලැබේ. මෙය අවම අභ්‍යන්තර දෝෂ සහිත ආතති-සමතුලිත ව්‍යුහයක් සහතික කරයි. වේෆර් විෂ්කම්භයන් සහ රොබෝ සවිකිරීමේ අතුරුමුහුණත් වලට ගැලපෙන පරිදි දෙබලක විලාසිතාවේ ජ්‍යාමිතිය මෙම අදියරේදී හැඩගස්වා ඇත.

3. ඉහළ උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීම

හැඩැති සංරචකය රික්තක හෝ නිෂ්ක්‍රීය වායුගෝලයක 2000°C ට වැඩි උෂ්ණත්වයකදී සින්ටර් කර ඇත. මෙම පියවර අතරතුර,සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් අන්ත ඵලකයන්‍යායික ඝනත්වයට ආසන්නව ළඟා වන අතර විශිෂ්ට දෘඪතාව, තාප කම්පන ප්‍රතිරෝධය සහ රසායනික ස්ථායිතාව ලබා දෙයි. මෙම අදියර සංරචකයේ යාන්ත්‍රික අඛණ්ඩතාව නිර්වචනය කරයි.

4. CNC නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ

සින්ටර් කිරීමෙන් පසු, දියමන්ති ඇඹරීම සහ බහු-අක්ෂ CNC යන්ත්‍රකරණය ජ්‍යාමිතිය පිරිපහදු කරයි.සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් අන්ත ඵලකයවේෆර් ස්පර්ශක පෘෂ්ඨ, සවි කරන සිදුරු, පෙළගැස්වීමේ කට්ට සහ දෙබලක පරතරය වැනි තීරණාත්මක ලක්ෂණ ± 0.01 mm තරම් තද ඉවසීම් වලට යන්ත්‍රගත කර ඇත.

5. මතුපිට නිම කිරීම සහ පිරිසිදු කිරීම

අවසාන වශයෙන්,සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් අන්ත ඵලකයඅතිශය සියුම් ඔප දැමීම සහ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීමකට භාජනය වේ. මෙම පියවර මතුපිට රළුබව අඩු කරන අතර ක්ෂුද්‍ර අංශු ඉවත් කරයි, පිරිසිදු කාමර අනුකූලතාව සහතික කරයි. විකල්ප CVD-SiC ආලේපන හෝ ප්ලාස්මා-ප්‍රතිරෝධී ස්ථර තවදුරටත් කල්පැවැත්ම වැඩි දියුණු කළ හැකිය.

මෙම සූක්ෂම නිෂ්පාදන ප්‍රවේශය සෑම එකක්ම සහතික කරයිසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් අන්ත ඵලකයඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් ස්වයංක්‍රීයකරණ පරිසරයන් තුළ විශ්වාසදායක ලෙස ක්‍රියා කරයි.