සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත

කෙටි විස්තරය:

එමසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතඅර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, අභ්‍යවකාශ පද්ධති සහ උසස් රොබෝ විද්‍යාව වැනි ඉල්ලුමක් ඇති පරිසරයන්හි යෙදුම් සඳහා නිර්මාණය කරන ලද ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත්, ඉහළ ශක්තියකින් යුත් සංරචකයකි. එහි ද්විත්ව භූමිකාව සමඟ—a ලෙසදෙබලක හැඩැති ආධාරක ව්‍යුහයසහරොබෝ අතක් වැනි අන්ත-ඵලකය— මෙම සංරචකය බිඳෙනසුලු හෝ වටිනා කොටස් හැසිරවීම, සහාය දීම හෝ මාරු කිරීමේදී අසමසම බහුකාර්යතාවක් ලබා දෙයි.

දියුණු සෙරමික් සැකසුම් ශිල්පීය ක්‍රම භාවිතයෙන් නිෂ්පාදනය කරන ලද SiC දෙබලක අත/අත අද්විතීය සංයෝජනයක් සපයයියාන්ත්‍රික දෘඪතාව, තාප ස්ථායිතාව, සහරසායනික ප්‍රතිරෝධය, ආතතිය යටතේ සහ ආන්තික තත්වයන් යටතේ දිගුකාලීන කාර්ය සාධනයක් අවශ්‍ය වන පද්ධතිවල සාම්ප්‍රදායික ලෝහ හෝ පොලිමර් ආයුධ සඳහා එය කදිම ආදේශකයක් බවට පත් කරයි.


විශේෂාංග

විස්තරාත්මක රූප සටහන

සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත හඳුන්වාදීම

එමසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතවිශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක සහ දෘශ්‍ය කර්මාන්තවල ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් ස්වයංක්‍රීයකරණ පද්ධති සඳහා සංවර්ධනය කරන ලද දියුණු හැසිරවීමේ සංරචකයකි. මෙම සංරචකය වේෆර් හැසිරවීම සඳහා ප්‍රශස්තිකරණය කරන ලද සුවිශේෂී U-හැඩැති සැලසුමකින් සමන්විත වන අතර, ආන්තික පාරිසරික තත්ත්වයන් යටතේ යාන්ත්‍රික ශක්තිය සහ මාන නිරවද්‍යතාවය යන දෙකම සහතික කරයි. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් වලින් නිර්මාණය කර ඇත,දෙබලක අත/අතසුවිශේෂී දෘඪතාව, තාප ස්ථායිතාව සහ රසායනික ප්‍රතිරෝධය ලබා දෙයි.

අර්ධ සන්නායක උපාංග සියුම් ජ්‍යාමිතීන් සහ දැඩි ඉවසීම් කරා පරිණාමය වන විට, දූෂණයෙන් තොර සහ තාප ස්ථායී සංරචක සඳහා ඇති ඉල්ලුම තීරණාත්මක වේ.සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතඅඩු අංශු උත්පාදනය, අතිශය සුමට මතුපිට සහ ශක්තිමත් ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව ලබා දීමෙන් මෙම අභියෝගයට මුහුණ දෙයි. වේෆර් ප්‍රවාහනයේදී, උපස්ථර ස්ථානගත කිරීමේදී හෝ රොබෝ මෙවලම් හිස් වලදී, මෙම සංරචකය විශ්වසනීයත්වය සහ කල්පැවැත්ම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත.

මෙය තෝරා ගැනීමට ප්‍රධාන හේතුසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතඇතුළත් වේ:

  • මාන නිරවද්‍යතාවය සඳහා අවම තාප ප්‍රසාරණය

  • දිගු සේවා කාලය සඳහා ඉහළ දෘඪතාව

  • අම්ල, ක්ෂාර සහ ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායු වලට ප්‍රතිරෝධය

  • ISO පන්තියේ 1 පිරිසිදු කාමර පරිසරයන් සමඟ අනුකූලතාව

SIC දෙබලක2
SIC දෙබලක4

සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත නිෂ්පාදන මූලධර්මය

එමසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතඋසස් ද්‍රව්‍ය ගුණාංග සහ මාන අනුකූලතාව සහතික කිරීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ පාලනයක් සහිත සෙරමික් සැකසුම් කාර්ය ප්‍රවාහයක් හරහා නිෂ්පාදනය කෙරේ.

1. කුඩු සකස් කිරීම

මෙම ක්‍රියාවලිය ආරම්භ වන්නේ අතිශය සියුම් සිලිකන් කාබයිඩ් කුඩු තෝරා ගැනීමෙනි. මෙම කුඩු සංයුක්ත කිරීම සහ ඝනත්වය පහසු කිරීම සඳහා බන්ධක සහ සින්ටර් කිරීමේ ආධාරක සමඟ මිශ්‍ර කරනු ලැබේ. මේ සඳහාදෙබලක අත/අත, β-SiC හෝ α-SiC කුඩු දෘඪතාව සහ තද බව යන දෙකම සහතික කිරීමට භාවිතා කරයි.

2. හැඩගැස්වීම සහ පෙර සැකසීම

සංකීර්ණත්වය මත පදනම්වදෙබලක අත/අතනිර්මාණය, කොටස සමස්ථානික පීඩනය, ඉන්ජෙක්ෂන් මෝල්ඩින් හෝ ස්ලිප් වාත්තු කිරීම භාවිතයෙන් හැඩගස්වා ඇත. මෙය සංකීර්ණ ජ්‍යාමිතීන් සහ තුනී බිත්ති ව්‍යුහයන් සඳහා ඉඩ සලසයි, එය සැහැල්ලු ස්වභාවය සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත.

3. ඉහළ-උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීම

සින්ටර් කිරීම රික්තක හෝ ආගන් වායුගෝලවල 2000°C ට වැඩි උෂ්ණත්වයකදී සිදු කෙරේ. මෙම අදියර හරිත ශරීරය සම්පූර්ණයෙන්ම ඝනත්වයට පත් වූ සෙරමික් සංරචකයක් බවට පරිවර්තනය කරයි. සින්ටර් කරන ලදදෙබලක අත/අතකැපී පෙනෙන යාන්ත්‍රික සහ තාපජ ගුණාංග සපයමින්, ආසන්න න්‍යායික ඝනත්වයක් ලබා ගනී.

4. නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ

සින්ටර් කිරීමෙන් පසු,සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතදියමන්ති ඇඹරීම සහ CNC යන්ත්‍රෝපකරණ වලට භාජනය වේ. මෙය ±0.01 mm ඇතුළත සමතලා බව සහතික කරන අතර ස්වයංක්‍රීය පද්ධතිවල එහි ස්ථාපනය සඳහා තීරණාත්මක සවි කිරීම් සිදුරු සහ ස්ථානගත කිරීමේ අංග ඇතුළත් කිරීමට ඉඩ සලසයි.

5. මතුපිට නිමාව

ඔප දැමීම මගින් මතුපිට රළු බව අඩු කරයි (Ra < 0.02 μm), අංශු ජනනය අඩු කිරීම සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වේ. ප්ලාස්මා ප්‍රතිරෝධය වැඩි දියුණු කිරීමට හෝ ප්‍රති-ස්ථිතික හැසිරීම වැනි ක්‍රියාකාරීත්වයක් එක් කිරීමට විකල්ප CVD ආලේපන යෙදිය හැකිය.

මෙම ක්‍රියාවලිය පුරාම, සහතික කිරීම සඳහා තත්ත්ව පාලන ප්‍රොටෝකෝල යොදනු ලැබේසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතවඩාත්ම සංවේදී යෙදුම්වල විශ්වාසදායක ලෙස ක්‍රියා කරයි.

සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතෙහි පරාමිතීන්

CVD-SIC ආලේපනයේ ප්‍රධාන පිරිවිතර
SiC-CVD ගුණාංග
ස්ඵටික ව්‍යුහය FCC β අවධිය
ඝනත්වය උ/සෙ.මී ³ 3.21
දෘඪතාව විකර්ස් දෘඪතාව 2500 රූබල්
ධාන්‍ය ප්‍රමාණය μm 2~10
රසායනික සංශුද්ධතාවය % 99.99995
තාප ධාරිතාව ජ·කිලෝග්‍රෑම්-1 ·කේ-1 640 යි
උපසිරැසිකරණ උෂ්ණත්වය 2700 රූ.
ෆෙලෙක්සරල් ශක්තිය MPa (RT 4-ලක්ෂ්‍ය) 415
යංග්ගේ මොඩියුලස් Gpa (4pt වංගුව, 1300℃) 430 (ස්වයංක්‍රීය)
තාප ප්‍රසාරණය (CTE) 10-6K-1 හි කොටස් 4.5
තාප සන්නායකතාවය (ප/කිලෝමීටර) 300 යි

සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් ආර්ම්/හෑන්ඩ් වල යෙදුම්

එමසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතඉහළ සංශුද්ධතාවය, ස්ථායිතාව සහ යාන්ත්‍රික නිරවද්‍යතාවය අත්‍යවශ්‍ය කර්මාන්ත පුරා බහුලව භාවිතා වේ. මේවාට ඇතුළත් වන්නේ:

1. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී,සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතකැටයම් කුටි, තැන්පත් කිරීමේ පද්ධති සහ පරීක්ෂණ උපකරණ වැනි ක්‍රියාවලි මෙවලම් තුළ සිලිකන් වේෆර් ප්‍රවාහනය කිරීමට භාවිතා කරයි. එහි තාප ප්‍රතිරෝධය සහ මාන නිරවද්‍යතාවය වේෆර් නොගැලපීම සහ දූෂණය අවම කිරීම සඳහා එය කදිම කරයි.

2. ප්‍රදර්ශන පැනල් නිෂ්පාදනය

OLED සහ LCD සංදර්ශක නිෂ්පාදනයේදී,දෙබලක අත/අතබිඳෙන සුළු වීදුරු උපස්ථර හසුරුවන පික්-ඇන්ඩ්-ප්ලේස් පද්ධතිවල යොදනු ලැබේ. එහි අඩු ස්කන්ධය සහ ඉහළ තද බව කම්පනය හෝ අපගමනයකින් තොරව වේගවත් හා ස්ථාවර චලනයකට ඉඩ සලසයි.

3. දෘශ්‍ය සහ ෆෝටෝනික් පද්ධති

කාච, දර්පණ හෝ ෆෝටෝනික් චිප් පෙළගැස්වීම සහ ස්ථානගත කිරීම සඳහා,සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතලේසර් සැකසුම් සහ නිරවද්‍ය මිනුම් විද්‍යා යෙදුම්වල තීරණාත්මක, කම්පන-නිදහස් සහාය ලබා දෙයි.

4. අභ්‍යවකාශ සහ රික්ත පද්ධති

අභ්‍යවකාශ දෘශ්‍ය පද්ධති සහ රික්ත උපකරණවල, මෙම සංරචකයේ චුම්භක නොවන, විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන ව්‍යුහය දිගුකාලීන ස්ථාවරත්වයක් සහතික කරයි.දෙබලක අත/අතවායුව ඉවත් නොකර අතිශය ඉහළ රික්තකයක (UHV) ක්‍රියා කළ හැකිය.

මේ සියලු ක්ෂේත්‍රවල,සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතවිශ්වසනීයත්වය, පිරිසිදුකම සහ සේවා කාලය තුළ සාම්ප්‍රදායික ලෝහ හෝ පොලිමර් විකල්ප අභිබවා යයි.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත පිළිබඳ නිතර අසන ප්‍රශ්න

Q1: සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත මඟින් සහාය දක්වන වේෆර් ප්‍රමාණයන් මොනවාද?

එමදෙබලක අත/අත150 mm, 200 mm සහ 300 mm වේෆර් සඳහා සහය දැක්වීමට අභිරුචිකරණය කළ හැකිය. දෙබලක පරතරය, බාහු පළල සහ සිදුරු රටා ඔබේ නිශ්චිත ස්වයංක්‍රීය වේදිකාවට ගැලපෙන පරිදි සකස් කළ හැකිය.

Q2: සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත රික්ත පද්ධති සමඟ අනුකූලද?

ඔව්.දෙබලක අත/අතඅඩු රික්තක සහ අතිශය ඉහළ රික්තක පද්ධති දෙකටම සුදුසු වේ. එය අඩු වායු පිටකිරීමේ අනුපාත ඇති අතර අංශු මුදා නොහරින අතර, එය පිරිසිදු කාමර සහ රික්තක පරිසරයන් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.

Q3: දෙබලක අත/අතට ආලේපන හෝ මතුපිට වෙනස් කිරීම් එකතු කළ හැකිද?

නිසැකවම.සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතඑහි ප්ලාස්මා ප්‍රතිරෝධය, ප්‍රති-ස්ථිතික ගුණාංග හෝ මතුපිට දෘඪතාව වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා CVD-SiC, කාබන් හෝ ඔක්සයිඩ් ස්ථරවලින් ආලේප කළ හැක.

Q4: දෙබලක අතෙහි/අතෙහි ගුණාත්මකභාවය සත්‍යාපනය කරන්නේ කෙසේද?

එක් එක්සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතCMM සහ ලේසර් මිනුම් විද්‍යා මෙවලම් භාවිතයෙන් මාන පරීක්ෂාවට ලක් වේ. ISO සහ SEMI ප්‍රමිතීන් සපුරාලීම සඳහා SEM සහ ස්පර්ශ නොවන පැතිකඩමිතිය හරහා මතුපිට ගුණාත්මකභාවය ඇගයීමට ලක් කෙරේ.

Q5: අභිරුචි දෙබලක අත/අත් ඇණවුම් සඳහා ඉදිරි කාලය කුමක්ද?

සාමාන්‍යයෙන් සංකීර්ණත්වය සහ ප්‍රමාණය අනුව සති 3 සිට 5 දක්වා කාලය ගතවේ. හදිසි ඉල්ලීම් සඳහා වේගවත් මූලාකෘතිකරණය ලබා ගත හැකිය.

මෙම නිතර අසන ප්‍රශ්න ඉංජිනේරුවන්ට සහ ප්‍රසම්පාදන කණ්ඩායම්වලට තෝරා ගැනීමේදී ඇති හැකියාවන් සහ විකල්ප තේරුම් ගැනීමට උපකාර කිරීම අරමුණු කරයි.සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත.

අපි ගැන

XKH විශේෂ දෘශ්‍ය වීදුරු සහ නව ස්ඵටික ද්‍රව්‍යවල අධි තාක්‍ෂණික සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. අපගේ නිෂ්පාදන දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සහ හමුදාව සඳහා සේවය කරයි. අපි Sapphire දෘශ්‍ය සංරචක, ජංගම දුරකථන කාච ආවරණ, සෙරමික්, LT, සිලිකන් කාබයිඩ් SIC, ක්වාර්ට්ස් සහ අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වේෆර් පිරිනමන්නෙමු. දක්ෂ විශේෂඥතාව සහ අති නවීන උපකරණ සමඟින්, ප්‍රමුඛ පෙළේ දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික ද්‍රව්‍ය අධි තාක්‍ෂණික ව්‍යවසායයක් වීම අරමුණු කරගනිමින්, අපි සම්මත නොවන නිෂ්පාදන සැකසීමේ විශිෂ්ටත්වය අත්කර ගනිමු.

14--සිලිකන්-කාබයිඩ්-ආලේපිත-තුනී_494816

  • පෙර:
  • ඊළඟ:

  • ඔබගේ පණිවිඩය මෙහි ලියා අපට එවන්න.