සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ට්රේකික් ට්රේකර් සිලිකන් සෙරමික් ටියුබ් සිලිකික් සෙරමික් ටියුබ් කිරීම ඉහළ උෂ්ණත්වය සක්රිය කිරීම අභිරුචි සැකසීම
ප්රධාන ලක්ෂණ:
1. සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් තැටි
- ඉහළ දෘ ness තාව සහ පළඳින්න ප්රතිරෝධය: දෘ ness තාව දියමන්ති වලට සමීප වන අතර බොහෝ කාලයක් වේෆිර සැකසුම් වල යාන්ත්රික ඇඳුමට ඔරොත්තු දිය හැකිය.
- ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ අඩු තාප පුළුල් කිරීමේ සංග්රහ: වේගවත් තාප විසුරුවා හැරීම සහ මානයන් ස්ථායිතාව, තාප ආතතිය නිසා ඇති වන විරූපණය වළක්වා ගැනීම.
- ඉහළ පැතලි බව සහ මතුපිට නිමාව: මතුපිට පැතලි බව, වේෆර් සහ තැටිය අතර පූර්ණ සම්බන්ධතා සහතික කරමින්, වේෆර් සහ තැටිය අතර පූර්ණ සම්බන්ධතා සහතික කිරීම, දූෂණය හා හානිව අඩු කිරීම.
රසායනික ස්ථායිතාව: ශක්තිමත් විඛාදන ප්රතිරෝධය, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනවල තෙත් පිරිසිදු කිරීම සහ එතිඩින් ක්රියාවලි සඳහා සුදුසු වේ.
2. සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් නළය
- ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය: එය අර්ධ සන්නායක ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්රියාවලියක් සඳහා දීර් time කාලයක් තිස්සේ 1600 ° C ට වැඩි ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයක වැඩ කළ හැකිය.
විශිෂ්ට විඛාදන ප්රතිරෝධය: අම්ල, ක්ෂාලිස් සහ විවිධ රසායනික ද්රාවක, කටුක ක්රියාවලි පරිසරයන්ට ප්රතිරෝධී වේ.
- ඉහළ දෘ hard තාව සහ පළඳින්න ප්රතිරෝධය: අංශු ඛාදන ඛාදනය හා යාන්ත්රික ඇඳුම්, සේවා ජීවිතය දිගු කරන්න.
- ඉහළ තාප සන්නායකතාවක් සහ තාප ප්රසාරණයේ අඩු සංගුණකය: තාප හා මානයන් ස්ථායිතාව නිරාවරණය වීම, තාප ආතතිය නිසා ඇති වන විරූපණය හෝ ඉරිතැලීම් අඩු කිරීම.
නිෂ්පාදන පරාමිතිය:
සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් තැටි පරාමිතිය:
(ද්රව්යමය දේපල) | (ඒකකය) | (SSIC) | |
(SIC අන්තර්ගතයන්) | (WT)% | > 99 | |
(සාමාන්ය ධාන්ය ප්රමාණය) | මයික්රොන් | 4-10 | |
(Dens නත්වය) | kg / dm3 | > 3.14 | |
(පෙනෙන සිදුරු) | VO1% | <0.5 | |
(විකර්ස් දෘ ness තාව) | HV 0.5 | ජීපීඒ | 28 |
* () නම්යශීලී ශක්තිය * (කරුණු තුනක්) | 20ºC | MPA | 450 කි |
(සම්පීඩන ශක්තිය) | 20ºC | MPA | 3900 |
(ප්රත්යාස්ථතා මාපාංකය) | 20ºC | ජීපීඒ | 420 |
(අස්ථි බිඳීම දැඩි බව) | MPA / M '% | 3.5 | |
(තාප සන්නායකතාවය) | 20 ° ºc | W / (m * k) | 160 |
(ප්රතිරෝධය) | 20 ° ºc | OHM.CM | 106-108 |
(තාප පුළුල් සංගුණකය) | a (rt ** ... 80ºC) | K-1 * 10-6 | 4.3 |
(උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය) | oºc | 1700 |
සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ටියුබ් පරාමිතිය:
අයිතම | දර්ශකය |
α-sic | 99% විනාඩි |
පෙනෙන සිදුරු | 16% උපරිම |
තොග ity නත්වය | 2.7g / cm3 min |
අධික උෂ්ණත්වයේ දී ශක්තිය නැමීම | 100 mpa min |
තාප ප්රසාරණයේ සංගුණකය | K-1 4.7x10 -6 |
තාප සන්නායකතාවයේ සංගුණකය (1400ºC) | 24 W / mk |
උපරිම. වැඩ කරන උෂ්ණත්වය | 1650ºC |
ප්රධාන යෙදුම්:
1. සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි තහඩුව
- වේෆර් කැපීම සහ ඔප දැමීම: කැපීම හා ඔප දැමීමේදී ඉහළ නිරවද්යතාවයක් සහ ස්ථාවරත්වය සහතික කිරීම සඳහා දරණ වේදිකාවක් ලෙස සේවය කරයි.
- ලිතෝග්රැෆි ක්රියාවලිය: නිරාවරණයේදී ඉහළ නිරවද්යතාවයක් සහතික කිරීම සඳහා වේෆරයේ ලිතොග්රැෆි යන්ත්රය තුළ සවි කර ඇත.
- රසායනික යාන්ත්රික ඔප දැමීම (සීඑම්පී): පෑඩ් ඔප දැමීම සඳහා ආධාරක වේදිකාවක් ලෙස, ඒකාකාර පීඩනය සහ තාප බෙදාහැරීම සැපයීම.
2. සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් නළය
- ඉහළ උෂ්ණත්ව උදුන: විසරණය උදුන සහ ඔක්සිකාරණ උදුන වැනි ඉහළ උෂ්ණත්ව උපකරණ සඳහා භාවිතා කිරීම.
- CVD / PVD ක්රියාවලිය: ප්රතික්රියා කුටීරයේ දරණ නළයක් ලෙස, ඉහළ උෂ්ණත්ව හා විඛාදන වායූන් වලට ප්රතිරෝධී වේ.
- අර්ධ සන්නායක උපකරණ උපාංග: උපකරණවල තාප කළමනාකරණ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා තාප හුවමාරුව, ගෑස් නල මාර්ග යනාදිය සඳහා.
සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි තැටි, චූෂණ කෝප්ප සහ සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි සඳහා XKH මඟින් අභිරුචි සේවා රාශියක් ඉදිරිපත් කරයි. සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ට්රම්ප් සහ චූෂණ කෝප්ප, විවිධ ප්රමාණයේ, හැඩයන් සහ මතුපිට රළුබව යන පාරිභෝගික අවශ්යතා අනුව සහ විශේෂ ආලේපන ප්රතිකාර සඳහා සහය දක්වන්න, ඇඳුම් ප්රතිරෝධය සහ විඛාදන ප්රතිරෝධය වැඩි කිරීම; සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් නල සඳහා, xkh විවිධ අභ්යන්තර විෂ්කම්භය, පිටත විෂ්කම්භය, දිග සහ සංකීර්ණ ව්යුහයක් රිසිකරණය කළ හැකි අතර ඔප දැමූ නළය හෝ සිදුරු ආලේපන සහ වෙනත් මතුපිට ප්රතිකාර ක්රියාවලීන් සපයයි. අර්ධ සන්නායක, LED සහ ෆූටෝ වෝල්ටීයතා වැනි ඉහළ පෙළේ නිෂ්පාදන ක්ෂේත්ර ක්ෂේත්රවල ඉල්ලීම් අවශ්යතා සපුරාලීම සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි නිෂ්පාදනවල කාර්ය සාධන ප්රතිලාභවලින් පාරිභෝගිකයින්ට හැකිය.
සවිස්තරාත්මක රූප සටහන



