සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් තැටි සකර් සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් නළ සැපයුම ඉහළ උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීමේ අභිරුචි සැකසුම්
ප්‍රධාන අංග:
1. සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් තැටිය
- ඉහළ දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය: දෘඪතාව දියමන්තියට ආසන්න වන අතර, වේෆර් සැකසීමේදී යාන්ත්‍රික ඇඳුම් වලට දිගු කාලයක් ඔරොත්තු දිය හැකිය.
- ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය: වේගවත් තාප විසර්ජනය සහ මාන ස්ථායිතාව, තාප ආතතිය නිසා ඇතිවන විරූපණය වැළැක්වීම.
- ඉහළ පැතලි බව සහ මතුපිට නිමාව: මතුපිට පැතලි බව මයික්‍රෝන මට්ටම දක්වා වන අතර, වේෆරය සහ තැටිය අතර සම්පූර්ණ සම්බන්ධතාවය සහතික කරයි, දූෂණය හා හානිය අඩු කරයි.
රසායනික ස්ථායිතාව: ශක්තිමත් විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ තෙත් පිරිසිදු කිරීම සහ කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන් සඳහා සුදුසු වේ.
2. සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් නළය
- ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය: එය 1600°C ට වැඩි ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයක දිගු කාලයක් ක්‍රියා කළ හැකි අතර අර්ධ සන්නායක ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්‍රියාවලියට සුදුසු වේ.
විශිෂ්ට විඛාදන ප්‍රතිරෝධය: අම්ල, ක්ෂාර සහ විවිධ රසායනික ද්‍රාවක වලට ප්‍රතිරෝධී, කටුක ක්‍රියාවලි පරිසරයන් සඳහා සුදුසු වේ.
- ඉහළ දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය: අංශු ඛාදනයට සහ යාන්ත්‍රික ඇඳුම් වලට ප්‍රතිරෝධය දැක්වීම, සේවා කාලය දීර්ඝ කිරීම.
- ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ තාප ප්‍රසාරණයේ අඩු සංගුණකය: තාපය වේගයෙන් සන්නයනය කිරීම සහ මාන ස්ථායිතාව, තාප ආතතිය නිසා ඇතිවන විරූපණය හෝ ඉරිතැලීම් අඩු කිරීම.
නිෂ්පාදන පරාමිතිය:
සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් තැටි පරාමිතීන්:
| (ද්‍රව්‍යමය ගුණය) | (ඒකකය) | (ssic) | |
| (SiC අන්තර්ගතය) | (බටහිර)% | >99 ට | |
| (සාමාන්‍ය ධාන්‍ය ප්‍රමාණය) | මයික්‍රෝන | 4-10 | |
| (ඝනත්වය) | කි.ග්‍රෑ/දි.මී.3 | >3.14 | |
| (පෙනෙන සිදුරු සහිත බව) | Vo1% | <0.5 <0.5 | |
| (විකර්ස් දෘඪතාව) | අධෝරක්ත විදුලි 0.5 | ජීපීඒ | 28 |
| *() නම්‍යශීලී ශක්තිය* (ලකුණු තුනක්) | 20ºC | එම්පීඒ | 450 (450) |
| (සම්පීඩන ශක්තිය) | 20ºC | එම්පීඒ | 3900 කි |
| (ප්‍රත්‍යාස්ථතා මාපාංකය) | 20ºC | ජීපීඒ | 420 (420) |
| (බිඳීම් තද බව) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (තාප සන්නායකතාවය) | 20°ºC | ඝන මීටර් | 160 යි |
| (ප්‍රතිරෝධය) | 20°ºC | ඕම්.සෙ.මී. | 106-108 |
(තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය) | අ (ආර්ටී**...80ºC) | කේ-1*10-6 | 4.3 ශ්‍රේණිය |
(උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය) | oºC | 1700 යි | |
සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් නල පරාමිතීන්:
| අයිතම | දර්ශකය |
| α-SIC | 99% විනාඩි |
| පෙනෙන සිදුරු බව | උපරිම 16% |
| තොග ඝනත්වය | 2.7g/cm3 මිනිත්තු |
| ඉහළ උෂ්ණත්වයේ දී නැමීමේ ශක්තිය | මිනිත්තු 100 MPa |
| තාප ප්‍රසාරණයේ සංගුණකය | කේ-1 4.7x10 -6 |
| තාප සන්නායකතා සංගුණකය (1400ºC) | 24 W/mk |
| උපරිම වැඩ කරන උෂ්ණත්වය | 1650ºC |
ප්‍රධාන යෙදුම්:
1. සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් තහඩුව
- වේෆර් කැපීම සහ ඔප දැමීම: කැපීම සහ ඔප දැමීමේදී ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ ස්ථාවරත්වයක් සහතික කිරීම සඳහා දරණ වේදිකාවක් ලෙස සේවය කරයි.
- ලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලිය: නිරාවරණය අතරතුර ඉහළ නිරවද්‍යතා ස්ථානගත කිරීමක් සහතික කිරීම සඳහා වේෆරය ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රය තුළ සවි කර ඇත.
- රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීම (CMP): ඔප දැමීමේ පෑඩ් සඳහා ආධාරක වේදිකාවක් ලෙස ක්‍රියා කරයි, ඒකාකාර පීඩනය සහ තාප ව්‍යාප්තිය සපයයි.
2. සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් නළය
- ඉහළ උෂ්ණත්ව උදුන නළය: ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්‍රියාවලි ප්‍රතිකාර සඳහා වේෆර් රැගෙන යාම සඳහා විසරණ උදුන සහ ඔක්සිකරණ උදුන වැනි ඉහළ උෂ්ණත්ව උපකරණ සඳහා භාවිතා වේ.
- CVD/PVD ක්‍රියාවලිය: ප්‍රතික්‍රියා කුටියේ බෙයාරින් නලයක් ලෙස, ඉහළ උෂ්ණත්වයන්ට සහ විඛාදන වායුවලට ප්‍රතිරෝධී වේ.
- අර්ධ සන්නායක උපකරණ උපාංග: උපකරණවල තාප කළමනාකරණ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා තාප හුවමාරුකාරක, ගෑස් නල මාර්ග ආදිය සඳහා.
සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් තැටි, චූෂණ කෝප්ප සහ සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් නල සඳහා XKH සම්පූර්ණ පරාසයක අභිරුචි සේවා සපයයි. සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් තැටි සහ චූෂණ කෝප්ප, විවිධ ප්‍රමාණ, හැඩයන් සහ මතුපිට රළුබව පිළිබඳ පාරිභෝගික අවශ්‍යතා අනුව XKH අභිරුචිකරණය කළ හැකි අතර විශේෂ ආලේපන ප්‍රතිකාර සඳහා සහාය වේ, ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය සහ විඛාදන ප්‍රතිරෝධය වැඩි දියුණු කරයි; සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් නල සඳහා, XKH හට විවිධ අභ්‍යන්තර විෂ්කම්භය, පිටත විෂ්කම්භය, දිග සහ සංකීර්ණ ව්‍යුහය (හැඩැති නළය හෝ සිදුරු සහිත නළය වැනි) අභිරුචිකරණය කළ හැකි අතර ඔප දැමීම, ප්‍රති-ඔක්සිකරණ ආලේපනය සහ අනෙකුත් මතුපිට ප්‍රතිකාර ක්‍රියාවලීන් සැපයිය හැකිය. අර්ධ සන්නායක, LED සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා වැනි ඉහළ මට්ටමේ නිෂ්පාදන ක්ෂේත්‍රවල ඉල්ලුම සපුරාලීම සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් නිෂ්පාදනවල කාර්ය සාධන ප්‍රතිලාභවලින් පාරිභෝගිකයින්ට පූර්ණ ප්‍රයෝජන ගත හැකි බව XKH සහතික කරයි.
විස්තරාත්මක රූප සටහන
