තීරණාත්මක හැසිරවීමේ පද්ධති සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් SiC සෙරමික් දෙබලක අත/අත

සිලිකන් කාබයිඩ් SiC සෙරමික් ෆෝක් අත/අත තීරණාත්මක හැසිරවීමේ පද්ධති සඳහා විශේෂාංගගත රූපය

කෙටි විස්තරය:

එමසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතයනු දියුණු කාර්මික ස්වයංක්‍රීයකරණය, අර්ධ සන්නායක සැකසුම් සහ අතිශය පිරිසිදු පරිසරයන් සඳහා සංවර්ධනය කරන ලද අති නවීන සංරචකයකි. එහි සුවිශේෂී දෙබලක ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය සහ අතිශය පැතලි සෙරමික් මතුපිට සිලිකන් වේෆර්, වීදුරු පැනල් සහ දෘශ්‍ය උපාංග ඇතුළු සියුම් උපස්ථර හැසිරවීමට වඩාත් සුදුසු වේ. නිරවද්‍යතාවයෙන් නිර්මාණය කර අතිශය පිරිසිදු සිලිකන් කාබයිඩ් වලින් නිෂ්පාදනය කරන ලද,සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතඅසමසම යාන්ත්‍රික ශක්තිය, තාප විශ්වසනීයත්වය සහ දූෂණය පාලනය ලබා දෙයි.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න

විශේෂාංග

විස්තරාත්මක රූප සටහන

සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත හඳුන්වාදීම

සාම්ප්‍රදායික ලෝහ හෝ ප්ලාස්ටික් ආයුධ මෙන් නොව,සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතඅධික තාප, රසායනික සහ රික්තක තත්වයන් යටතේ ස්ථාවර කාර්ය සාධනයක් ලබා දෙයි. 1 පන්තියේ පිරිසිදු කාමරයක හෝ ඉහළ රික්තක ප්ලාස්මා කුටියක් තුළ ක්‍රියාත්මක වුවද, මෙම සංරචකය වටිනා කොටස් ආරක්ෂිත, කාර්යක්ෂම සහ අපද්‍රව්‍ය-නිදහස් ප්‍රවාහනය සහතික කරයි.

රොබෝ ආයුධ, වේෆර් හසුරුවන්නන් සහ ස්වයංක්‍රීය හුවමාරු මෙවලම් සඳහා සකස් කරන ලද ව්‍යුහයක් සමඟ,සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතඕනෑම ඉහළ නිරවද්‍යතා පද්ධතියක් සඳහා ස්මාර්ට් උත්ශ්‍රේණි කිරීමකි.

සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් දෙබලක අත/අත නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය

ඉහළ කාර්යසාධනයක් නිර්මාණය කිරීමසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතපුනරාවර්තන හැකියාව, විශ්වසනීයත්වය සහ අතිශය අඩු දෝෂ අනුපාත සහතික කරන තදින් පාලනය කරන ලද සෙරමික් ඉංජිනේරු වැඩ ප්‍රවාහයක් ඇතුළත් වේ.

1. ද්‍රව්‍ය ඉංජිනේරු විද්‍යාව

නිෂ්පාදනයේදී අතිශය පිරිසිදු සිලිකන් කාබයිඩ් කුඩු පමණක් භාවිතා වේ.සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත, අඩු අයනික දූෂණය සහ ඉහළ තොග ශක්තිය සහතික කරයි.ප්‍රශස්ත ඝනත්වයක් ලබා ගැනීම සඳහා කුඩු සින්ටර් කිරීමේ ආකලන සහ බන්ධක සමඟ නිශ්චිතවම මිශ්‍ර කර ඇත.

2. මූලික ව්‍යුහය සැකසීම

හි මූලික ජ්‍යාමිතියදෙබලක අත/අතඉහළ හරිත ඝනත්වය සහ ඒකාකාර ආතති ව්‍යාප්තිය සහතික කරන සීතල සමස්ථානික සම්පීඩනය හෝ ඉන්ජෙක්ෂන් මෝල්ඩින් භාවිතයෙන් සෑදී ඇත. U-හැඩයේ වින්‍යාසය දෘඪතාව-බර අනුපාතය සහ ගතික ප්‍රතිචාරය සඳහා ප්‍රශස්ත කර ඇත.

3. සින්ටර් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය

කොළ පැහැති ශරීරයසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත2000°C ට වැඩි උෂ්ණත්වයකදී ඉහළ උෂ්ණත්ව, නිෂ්ක්‍රීය වායු උදුනක සින්ටර් කර ඇත. මෙම පියවර මගින් ආසන්න න්‍යායික ඝනත්වය සහතික කරන අතර, සැබෑ ලෝකයේ තාප බර යටතේ ඉරිතැලීම්, විකෘති කිරීම් සහ මාන අපගමනයට ප්‍රතිරෝධී සංරචකයක් නිපදවයි.

4. නිරවද්‍ය ඇඹරීම සහ යන්ත්‍රෝපකරණ

උසස් CNC දියමන්ති මෙවලම් භාවිතා කරනුයේ අවසාන මානයන් හැඩගැස්වීම සඳහා ය.සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත. තද ඉවසීම් (± 0.01 මි.මී.) සහ දර්පණ මට්ටමේ මතුපිට නිමාව අංශු මුදා හැරීම සහ යාන්ත්‍රික ආතතිය අඩු කරයි.

5. මතුපිට සමීකරණය සහ පිරිසිදු කිරීම

අවසාන මතුපිට නිමාවට රසායනික ඔප දැමීම සහ අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම ඇතුළත් වේ.දෙබලක අත/අතඅතිශය පිරිසිදු පද්ධතිවල සෘජු ඒකාබද්ධ කිරීම සඳහා. විකල්ප ආලේපන (CVD-SiC, ප්‍රති-පරාවර්තක ස්ථර) ද ඇත.

මෙම සූක්ෂම ක්‍රියාවලිය එක් එක් බව සහතික කරයිසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතSEMI සහ ISO පිරිසිදු කාමර අවශ්‍යතා ඇතුළුව ඉතාමත් දැඩි කාර්මික ප්‍රමිතීන් සපුරාලයි.

සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතෙහි පරාමිතිය

අයිතමය	පරීක්ෂණ කොන්දේසි	දත්ත	ඒකකය
සිලිකන් කාබයිඩ් අන්තර්ගතය	/	> 99.5	%
සාමාන්‍ය ධාන්‍ය ප්‍රමාණය	/	4-10	මයික්‍රෝන
ඝනත්වය	/	>3.14	ග්රෑම්/සෙ.මී.3
පෙනෙන සිදුරු බව	/	<0.5 <0.5	වෙළුම %
විකර්ස් දෘඪතාව	HV0.5 යනු HV0.5 හි නවතම අනුවාදයයි.	2800 ආර්.	කි.ග්‍රෑ/මි.මී.2
ඉරිතැලීමේ මාපාංකය (ලකුණු 3)	පරීක්ෂණ තීරු ප්‍රමාණය: 3 x 4 x 40mm	450 (450)	එම්පීඒ
සම්පීඩන ශක්තිය	20°C උෂ්ණත්වය	3900 කි	එම්පීඒ
ප්‍රත්‍යාස්ථතා මාපාංකය	20°C උෂ්ණත්වය	420 (420)	ජීපීඒ
අස්ථි බිඳීමේ තද බව	/	3.5	MPa/m^{1/2 යි}
තාප සන්නායකතාවය	20°C උෂ්ණත්වය	160 යි	බ/(mk)
විද්‍යුත් ප්‍රතිරෝධකතාව	20°C උෂ්ණත්වය	10⁶-10 -⁸	Ωසෙ.මී.
තාප ප්‍රසාරණයේ සංගුණකය	20°C-800°C	4.3 ශ්‍රේණිය	K^-110^-6
උපරිම යෙදුම් උෂ්ණත්වය	ඔක්සයිඩ් වායුගෝලය	1600 ආර්.	°C
උපරිම යෙදුම් උෂ්ණත්වය	නිෂ්ක්‍රීය වායුගෝලය	1950	°C

සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් ආර්ම්/හෑන්ඩ් වල යෙදුම්

එමසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත්, අධි අවදානම් සහිත සහ දූෂණයට සංවේදී යෙදුම්වල භාවිතය සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. එය ශුන්‍ය සම්මුතියකින් තොරව තීරණාත්මක සංරචක විශ්වාසදායක ලෙස හැසිරවීම, මාරු කිරීම හෝ සහාය ලබා දෙයි.

➤ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය

ඉදිරිපස වේෆර් හුවමාරුව සහ FOUP මධ්‍යස්ථානවල රොබෝ දෙබලක් ලෙස භාවිතා කරයි.
ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම සහ PVD/CVD ක්‍රියාවලීන් සඳහා රික්ත කුටිවලට ඒකාබද්ධ කර ඇත.
මිනුම් විද්‍යාවේ සහ වේෆර් පෙළගැස්වීමේ මෙවලම්වල වාහක හස්තයක් ලෙස ක්‍රියා කරයි.

එමසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතවිද්‍යුත් ස්ථිතික විසර්ජන (ESD) අවදානම් ඉවත් කරයි, මාන නිරවද්‍යතාවයට සහය දක්වයි, සහ ප්ලාස්මා විඛාදනයට ප්‍රතිරෝධී වේ.

➤ ෆොටෝනික්ස් සහ දෘෂ්ටි විද්‍යාව

නිෂ්පාදනය හෝ පරීක්ෂා කිරීමේදී සියුම් කාච, ලේසර් ස්ඵටික සහ සංවේදක සඳහා සහය දක්වයි.
එහි ඉහළ තද බව කම්පනය වළක්වන අතර, සෙරමික් ශරීරය දෘශ්‍ය පෘෂ්ඨයන් දූෂණය වීමට ප්‍රතිරෝධී වේ.

➤ සංදර්ශක සහ පැනල් නිෂ්පාදනය

ප්‍රවාහනයේදී හෝ පරීක්ෂා කිරීමේදී තුනී වීදුරු, OLED මොඩියුල සහ LCD උපස්ථර හසුරුවයි.
පැතලි හා රසායනිකව නිෂ්ක්‍රීයසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතසීරීම් හෝ රසායනික කැටයම් වලින් ආරක්ෂා කරයි.

➤ අභ්‍යවකාශ සහ විද්‍යාත්මක උපකරණ

චන්ද්‍රිකා ප්‍රකාශ විද්‍යා එකලස් කිරීම, රික්ත රොබෝ විද්‍යාව සහ සමමුහුර්ත කදම්භ රේඛා සැකසුම් වල භාවිතා වේ.
අභ්‍යවකාශ ශ්‍රේණියේ පිරිසිදු කාමර සහ විකිරණශීලී පරිසරවල දෝෂ රහිතව ක්‍රියා කරයි.

සෑම ක්ෂේත්‍රයකම,සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතපද්ධති කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරයි, කොටස් අසාර්ථක වීම අඩු කරයි, සහ අක්‍රීය කාලය අවම කරයි.

නිතර අසන ප්‍රශ්න – සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත පිළිබඳ නිතර අසන ප්‍රශ්න

Q1: සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත ලෝහ විකල්පවලට වඩා හොඳ වන්නේ කුමක් නිසාද?

එමසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතඋසස් දෘඪතාව, අඩු ඝනත්වය, වඩා හොඳ රසායනික ප්‍රතිරෝධය සහ ලෝහවලට වඩා සැලකිය යුතු ලෙස අඩු තාප ප්‍රසාරණය ඇත. එය පිරිසිදු කාමරයට අනුකූල වන අතර විඛාදනයෙන් හෝ අංශු උත්පාදනයෙන් තොරය.

Q2: මගේ සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත සඳහා අභිරුචි මානයන් ඉල්ලා සිටිය හැකිද?

ඔව්. අපි දෙබලක පළල, ඝණකම, සවි කිරීමේ සිදුරු, කටවුට් සහ මතුපිට ප්‍රතිකාර ඇතුළුව සම්පූර්ණ අභිරුචිකරණය පිරිනමන්නෙමු. 6", 8" හෝ 12" වේෆර් සඳහා වේවා, ඔබේදෙබලක අත/අතගැලපෙන පරිදි සකස් කළ හැකිය.

Q3: සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත ප්ලාස්මා හෝ රික්තය යටතේ කොපමණ කාලයක් පවතිනවාද?

ඉහළ ඝනත්ව SiC ද්‍රව්‍ය සහ නිෂ්ක්‍රීය ස්වභාවය නිසා,දෙබලක අත/අතක්‍රියාවලි චක්‍ර දහස් ගණනකට පසුව පවා ක්‍රියාකාරීව පවතී. ආක්‍රමණශීලී ප්ලාස්මා හෝ රික්ත තාප බර යටතේ එය අවම ගෙවී යාමක් පෙන්නුම් කරයි.

Q4: නිෂ්පාදනය ISO 1 පන්තියේ පිරිසිදු කාමර සඳහා සුදුසුද?

නියත වශයෙන්ම.සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අතISO 1 පන්තියේ අවශ්‍යතාවලට වඩා අංශු මට්ටම් බෙහෙවින් අඩු, සහතික කළ පිරිසිදු කාමර පහසුකම්වල නිෂ්පාදනය කර ඇසුරුම් කර ඇත.

Q5: මෙම දෙබලක අත/අත සඳහා උපරිම ක්‍රියාකාරී උෂ්ණත්වය කුමක්ද?

එමසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත1500°C දක්වා අඛණ්ඩව ක්‍රියා කළ හැකි බැවින්, ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්‍රියාවලි කුටි සහ තාප රික්ත පද්ධතිවල සෘජු භාවිතය සඳහා සුදුසු වේ.

මෙම නිතර අසන ප්‍රශ්න ඉංජිනේරුවන්, රසායනාගාර කළමනාකරුවන් සහ පද්ධති ඒකාබද්ධ කරන්නන්ගෙන් වඩාත් පොදු තාක්ෂණික ගැටළු පිළිබිඹු කරයි.සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ෆෝක් අත/අත.

අපි ගැන

XKH විශේෂ දෘශ්‍ය වීදුරු සහ නව ස්ඵටික ද්‍රව්‍යවල අධි තාක්‍ෂණික සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. අපගේ නිෂ්පාදන දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සහ හමුදාව සඳහා සේවය කරයි. අපි Sapphire දෘශ්‍ය සංරචක, ජංගම දුරකථන කාච ආවරණ, සෙරමික්, LT, සිලිකන් කාබයිඩ් SIC, ක්වාර්ට්ස් සහ අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වේෆර් පිරිනමන්නෙමු. දක්ෂ විශේෂඥතාව සහ අති නවීන උපකරණ සමඟින්, ප්‍රමුඛ පෙළේ දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික ද්‍රව්‍ය අධි තාක්‍ෂණික ව්‍යවසායයක් වීම අරමුණු කරගනිමින්, අපි සම්මත නොවන නිෂ්පාදන සැකසීමේ විශිෂ්ටත්වය අත්කර ගනිමු.