සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) සෙරමික් තහඩුව
විස්තරාත්මක රූප සටහන
නිෂ්පාදන දළ විශ්ලේෂණය
සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) සෙරමික් තහඩු යනු සුවිශේෂී තාප ස්ථායිතාව, යාන්ත්රික ශක්තිමත් බව සහ රසායනික ප්රතිරෝධය අවශ්ය පරිසරයන් සඳහා නිර්මාණය කරන ලද ඉහළ ශක්තියකින් යුත්, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් උසස් සෙරමික් සංරචක වේ. විශිෂ්ට දෘඪතාව, අඩු ඝනත්වය සහ උසස් තාප සන්නායකතාවය සමඟින්, SiC තහඩු අර්ධ සන්නායක සැකසුම්, ඉහළ උෂ්ණත්ව උදුන්, නිරවද්ය යන්ත්රෝපකරණ සහ විඛාදන කාර්මික පරිසරයන්හි බහුලව භාවිතා වේ.
මෙම තහඩු ආන්තික තත්වයන් යටතේ ව්යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගෙන යන අතර, ඊළඟ පරම්පරාවේ ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත උපකරණ සඳහා කදිම ද්රව්ය විසඳුමක් බවට පත් කරයි.
ප්රධාන විශේෂාංග සහ ගුණාංග
-
ඉහළ දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය- දියමන්ති හා සැසඳිය හැකි අතර, දිගු සේවා කාලයක් සහතික කරයි.
-
අඩු තාප ප්රසාරණය- වේගවත් උණුසුම හෝ සිසිලනය යටතේ විරූපණය අවම කරයි.
-
ඉහළ තාප සන්නායකතාවය- තාප පාලන පද්ධති සඳහා කාර්යක්ෂම තාප විසර්ජනය.
-
විශිෂ්ට රසායනික ස්ථායිතාව- අම්ල, ක්ෂාර සහ ප්ලාස්මා පරිසරයන්ට ප්රතිරෝධී වේ.
-
සැහැල්ලු නමුත් අතිශයින්ම ශක්තිමත්- ලෝහ හා සසඳන විට ඉහළ ශක්තිය-බර අනුපාතය.
-
විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව කාර්ය සාධනය- 1600°C දක්වා වැඩ කරන උෂ්ණත්වය (ශ්රේණිය අනුව).
-
ශක්තිමත් යාන්ත්රික දෘඪතාව- නිරවද්ය ආධාරක සහ ව්යුහාත්මක ස්ථාවරත්වය සඳහා කදිමයි.
නිෂ්පාදන ක්රමය
SiC සෙරමික් තහඩු සාමාන්යයෙන් පහත සඳහන් ක්රියාවලීන්ගෙන් එකක් හරහා නිපදවනු ලැබේ:
• ප්රතික්රියා-බන්ධිත සිලිකන් කාබයිඩ් (RBSC / RBSiC)
-
උණු කළ සිලිකන් සිදුරු සහිත SiC පූර්ව ආකෘතියකට කාන්දු කිරීමෙන් සෑදී ඇත.
-
ඉහළ ශක්තියක්, හොඳ යන්ත්රෝපකරණ හැකියාව සහ මාන ස්ථායිතාවයක් දක්වයි.
-
තද සමතලා පාලනයක් අවශ්ය විශාල තහඩු සඳහා සුදුසු වේ.
• සින්ටර් කළ සිලිකන් කාබයිඩ් (SSiC)
-
අධි-පිරිසිදු SiC කුඩු පීඩන රහිත සින්ටර් කිරීම හරහා නිපදවනු ලැබේ.
-
උසස් සංශුද්ධතාවය, ශක්තිය සහ විඛාදන ප්රතිරෝධය ලබා දෙයි
-
අතිශය පිරිසිදු තත්වයන් අවශ්ය අර්ධ සන්නායක සහ රසායනික යෙදුම් සඳහා කදිමයි.
• CVD සිලිකන් කාබයිඩ් (CVD-SiC)
-
රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ ක්රියාවලිය
-
ඉහළම සංශුද්ධතාවය, අතිශයින් ඝන සහ අතිශය සුමට මතුපිටක්
-
අර්ධ සන්නායක වේෆර් වාහක, susceptors සහ රික්ත කුටීර කොටස් වල බහුලව දක්නට ලැබේ.
අයදුම්පත්
SiC සෙරමික් තහඩු බහු කර්මාන්ත හරහා බහුලව භාවිතා වේ:
අර්ධ සන්නායක සහ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ
-
වේෆර් වාහක තහඩු
-
සසෙප්ටර්
-
විසරණ උදුන සංරචක
-
කැටයම් සහ තැන්පත් කිරීමේ කුටීර කොටස්
ඉහළ උෂ්ණත්ව උදුන සංරචක
-
ආධාරක තහඩු
-
උඳුන් ගෘහ භාණ්ඩ
-
තාපන පද්ධති පරිවරණය සහ ආරක්ෂාව
කාර්මික උපකරණ
-
යාන්ත්රික ඇඳුම් තහඩු
-
ස්ලයිඩින් පෑඩ්
-
පොම්ප සහ කපාට සංරචක
-
රසායනික විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන තහඩු
අභ්යවකාශ සහ ආරක්ෂක
-
සැහැල්ලු, ඉහළ ශක්තියක් සහිත ව්යුහාත්මක තහඩු
-
ඉහළ උෂ්ණත්ව ආවරණ සංරචක
පිරිවිතර සහ අභිරුචිකරණය
SiC සෙරමික් තහඩු අභිරුචිකරණය කළ ඇඳීම් අනුව නිෂ්පාදනය කළ හැකිය:
• මානයන්:
ඝණකම: 0.5–30 මි.මී.
උපරිම පැති දිග: 600 mm දක්වා (ක්රියාවලිය අනුව වෙනස් වේ)
• ඉවසීම:
යන්ත්රෝපකරණ ශ්රේණිය අනුව ±0.01–0.05 මි.මී.
• මතුපිට නිමාව:
-
බිම / ලැප් කළ
-
ඔප දැමූ (CVD-SiC සඳහා Ra < 5 nm)
-
සින්ටර් කරන ලද මතුපිට
• ද්රව්ය ශ්රේණි:
ආර්බීඑස්අයිසී / එස්එස්අයිසී / සීවීඩී-එස්අයිසී
• හැඩ විකල්ප:
පැතලි තහඩු, හතරැස් තහඩු, වටකුරු තහඩු, සිදුරු සහිත තහඩු, ආදිය.
ක්වාර්ට්ස් වීදුරු පිළිබඳ නිතර අසන ප්රශ්න
Q1: RBSiC සහ SSiC තහඩු අතර වෙනස කුමක්ද?
A:RBSiC හොඳ යාන්ත්රික ශක්තියක් සහ පිරිවැය කාර්ය සාධනයක් ලබා දෙන අතර, SSiC ඉහළ සංශුද්ධතාවය, වඩා හොඳ විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ ඉහළ ශක්තියක් ඇත. අර්ධ සන්නායක සහ රසායනික යෙදුම් සඳහා SSiC වඩාත් කැමති වේ.
Q2: SiC සෙරමික් තහඩු තාප කම්පනයට ඔරොත්තු දිය හැකිද?
A:ඔව්. SiC හි තාප ප්රසාරණය අඩු වන අතර තාප සන්නායකතාවය ඉහළ බැවින් විශිෂ්ට තාප කම්පන ප්රතිරෝධයක් සහතික කෙරේ.
Q3: දර්පණ මතුපිට යෙදීම් සඳහා තහඩු ඔප දැමිය හැකිද?
A:ඔව්. CVD-SiC සහ අධි-පිරිසිදු SSiC මගින් දෘශ්ය හෝ අර්ධ සන්නායක අවශ්යතා සඳහා දර්පණ ශ්රේණියේ ඔප දැමීමක් ලබා ගත හැක.
Q4: ඔබ අභිරුචි යන්ත්රෝපකරණ සඳහා සහාය දක්වනවාද?
A:ඔව්. සිදුරු, කට්ට, අවපාත සහ විශේෂ හැඩතල ඇතුළුව ඔබේ ඇඳීම් අනුව තහඩු නිෂ්පාදනය කළ හැකිය.
අපි ගැන
XKH විශේෂ දෘශ්ය වීදුරු සහ නව ස්ඵටික ද්රව්යවල අධි තාක්ෂණික සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. අපගේ නිෂ්පාදන දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සහ හමුදාව සඳහා සේවය කරයි. අපි Sapphire දෘශ්ය සංරචක, ජංගම දුරකථන කාච ආවරණ, සෙරමික්, LT, සිලිකන් කාබයිඩ් SIC, ක්වාර්ට්ස් සහ අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වේෆර් පිරිනමන්නෙමු. දක්ෂ විශේෂඥතාව සහ අති නවීන උපකරණ සමඟින්, ප්රමුඛ පෙළේ දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික ද්රව්ය අධි තාක්ෂණික ව්යවසායයක් වීම අරමුණු කරගනිමින්, අපි සම්මත නොවන නිෂ්පාදන සැකසීමේ විශිෂ්ටත්වය අත්කර ගනිමු.
