සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) වේෆර් බෝට්ටුව
විස්තරාත්මක රූප සටහන
ක්වාර්ට්ස් වීදුරු පිළිබඳ දළ විශ්ලේෂණය
සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) වේෆර් බෝට්ටුව යනු අධි-සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් SiC ද්රව්ය වලින් සාදන ලද අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලි වාහකයක් වන අතර, එපිටැක්සි, ඔක්සිකරණය, විසරණය සහ ඇනීලිං වැනි තීරණාත්මක ඉහළ-උෂ්ණත්ව ක්රියාවලීන්හිදී වේෆර් රඳවා තබා ගැනීමට සහ ප්රවාහනය කිරීමට නිර්මාණය කර ඇත.
බල අර්ධ සන්නායක සහ පුළුල් බෑන්ඩ්ගැප් උපාංගවල වේගවත් සංවර්ධනයත් සමඟ, සාම්ප්රදායික ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී විරූපණය, දැඩි අංශු දූෂණය සහ කෙටි සේවා කාලය වැනි සීමාවන්ට මුහුණ දෙයි. උසස් තාප ස්ථායිතාව, අඩු දූෂණය සහ දීර්ඝ ආයු කාලය සහිත SiC වේෆර් බෝට්ටු, ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු වැඩි වැඩියෙන් ප්රතිස්ථාපනය කරමින් SiC උපාංග නිෂ්පාදනයේ වඩාත් කැමති තේරීම බවට පත්වෙමින් තිබේ.
මූලික ලක්ෂණ
1. ද්රව්යමය වාසි
-
අධි-පිරිසිදු SiC වලින් නිෂ්පාදනය කර ඇතඉහළ දෘඪතාව සහ ශක්තිය.
-
2700°C ට වැඩි ද්රවාංකය, ක්වාර්ට්ස් වලට වඩා බෙහෙවින් වැඩි, ආන්තික පරිසරවල දිගුකාලීන ස්ථාවරත්වයක් සහතික කරයි.
2. තාප ගුණාංග
-
වේගවත් හා ඒකාකාර තාප හුවමාරුව සඳහා ඉහළ තාප සන්නායකතාවය, වේෆර් ආතතිය අවම කිරීම.
-
තාප ප්රසාරණ සංගුණකය (CTE) SiC උපස්ථර සමඟ සමීපව ගැලපෙන අතර, වේෆර් නැමීම සහ ඉරිතැලීම් අඩු කරයි.
3. රසායනික ස්ථායිතාව
-
ඉහළ උෂ්ණත්වයන් සහ විවිධ වායුගෝල (H₂, N₂, Ar, NH₃, ආදිය) යටතේ ස්ථායී වේ.
-
විශිෂ්ට ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය, දිරාපත්වීම සහ අංශු උත්පාදනය වැළැක්වීම.
4. ක්රියාවලි කාර්ය සාධනය
-
සුමට හා ඝන පෘෂ්ඨයක් අංශු වැගිරීම සහ දූෂණය අඩු කරයි.
-
දිගුකාලීන භාවිතයෙන් පසු මාන ස්ථායිතාව සහ බර පැටවීමේ ධාරිතාව පවත්වා ගනී.
5. පිරිවැය කාර්යක්ෂමතාව
-
ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටුවලට වඩා 3-5 ගුණයකින් දිගු සේවා කාලය.
-
නඩත්තු වාර ගණන අඩු කිරීම, අක්රීය කාලය සහ ප්රතිස්ථාපන පිරිවැය අඩු කිරීම.
අයදුම්පත්
-
SiC එපිටැක්සි: ඉහළ උෂ්ණත්ව එපිටැක්සියල් වර්ධනයේදී අඟල් 4, අඟල් 6 සහ අඟල් 8 SiC උපස්ථර සඳහා සහාය වීම.
-
බල උපාංග නිෂ්පාදනය: SiC MOSFET, Schottky Barrier Diodes (SBD), IGBT සහ අනෙකුත් උපාංග සඳහා කදිමයි.
-
තාප පිරියම් කිරීම: ඇනීලිං, නයිට්රීකරණය සහ කාබනීකරණ ක්රියාවලීන්.
-
ඔක්සිකරණය සහ විසරණය: ඉහළ උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණය සහ විසරණය සඳහා ස්ථාවර වේෆර් ආධාරක වේදිකාව.
තාක්ෂණික පිරිවිතර
| අයිතමය | පිරිවිතර |
|---|---|
| ද්රව්ය | අධි-පිරිසිදු සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) |
| වේෆර් ප්රමාණය | අඟල් 4 / අඟල් 6 / අඟල් 8 (අභිරුචිකරණය කළ හැකි) |
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය. | ≤ 1800°C උෂ්ණත්වය |
| තාප ප්රසාරණය CTE | 4.2 × 10⁻⁶ /K (SiC උපස්ථරයට ආසන්නව) |
| තාප සන්නායකතාවය | 120–200 W/m·K |
| මතුපිට රළුබව | රා < 0.2 μm |
| සමාන්තරකරණය | ±0.1 මි.මී. |
| සේවා කාලය | ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටුවලට වඩා ≥ 3× දිගයි |
සංසන්දනය: ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටුව එදිරිව SiC බෝට්ටුව
| මානය | ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටුව | SiC බෝට්ටුව |
|---|---|---|
| උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය | ≤ 1200°C, අධික උෂ්ණත්වයේදී විරූපණය. | ≤ 1800°C, තාප ස්ථායී |
| SiC සමඟ CTE ගැලපීම | විශාල නොගැලපීම, වේෆර් ආතතියේ අවදානම | සමීප ගැළපීම, වේෆර් ඉරිතැලීම අඩු කරයි |
| අංශු දූෂණය | ඉහළ, අපද්රව්ය ජනනය කරයි | පහත්, සිනිඳු සහ ඝන මතුපිටක් |
| සේවා කාලය | කෙටි, නිතර ආදේශ කිරීම | දිගු, 3–5× දිගු ආයු කාලයක් |
| සුදුසු ක්රියාවලිය | සාම්ප්රදායික Si එපිටැක්සි | SiC එපිටැක්සි සහ බල උපාංග සඳහා ප්රශස්ත කර ඇත. |
නිතර අසන ප්රශ්න - සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) වේෆර් බෝට්ටු
1. SiC වේෆර් බෝට්ටුවක් යනු කුමක්ද?
SiC වේෆර් බෝට්ටුවක් යනු අධි-පිරිසිදු සිලිකන් කාබයිඩ් වලින් සාදන ලද අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලි වාහකයකි. එය එපිටැක්සි, ඔක්සිකරණය, විසරණය සහ ඇනීලිං වැනි ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්රියාවලීන්හිදී වේෆර් රඳවා තබා ගැනීමට සහ ප්රවාහනය කිරීමට භාවිතා කරයි. සාම්ප්රදායික ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු හා සසඳන විට, SiC වේෆර් බෝට්ටු උසස් තාප ස්ථායිතාව, අඩු දූෂණය සහ දිගු සේවා කාලය ලබා දෙයි.
2. ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු වෙනුවට SiC වේෆර් බෝට්ටු තෝරා ගන්නේ ඇයි?
-
ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය: ක්වාර්ට්ස් (≤1200°C) ට සාපේක්ෂව 1800°C දක්වා ස්ථායී වේ.
-
වඩා හොඳ CTE ගැළපීමක්: SiC උපස්ථර වලට ආසන්නව, වේෆර් ආතතිය සහ ඉරිතැලීම් අවම කරයි.
-
පහළ අංශු උත්පාදනය: සුමට, ඝන මතුපිටක් දූෂණය අඩු කරයි.
-
දිගු ආයු කාලයක්: ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු වලට වඩා 3-5 ගුණයකින් දිගු, හිමිකාරිත්වයේ පිරිවැය අඩු කරයි.
3. SiC වේෆර් බෝට්ටු සඳහා සහාය විය හැකි වේෆර් ප්රමාණයන් මොනවාද?
අපි සම්මත නිර්මාණ සපයන්නේඅඟල් 4, අඟල් 6 සහ අඟල් 8වේෆර්, පාරිභෝගික අවශ්යතා සපුරාලීම සඳහා සම්පූර්ණ අභිරුචිකරණය සමඟින්.
4. SiC වේෆර් බෝට්ටු බහුලව භාවිතා වන්නේ කුමන ක්රියාවලීන්හිදීද?
-
SiC එපිටැක්සියල් වර්ධනය
-
බල අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනය (SiC MOSFETs, SBDs, IGBTs)
-
අධි-උෂ්ණත්ව ඇනීලිං, නයිට්රීකරණය සහ කාබනීකරණය
-
ඔක්සිකරණ සහ විසරණ ක්රියාවලීන්
අපි ගැන
XKH විශේෂ දෘශ්ය වීදුරු සහ නව ස්ඵටික ද්රව්යවල අධි තාක්ෂණික සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. අපගේ නිෂ්පාදන දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සහ හමුදාව සඳහා සේවය කරයි. අපි Sapphire දෘශ්ය සංරචක, ජංගම දුරකථන කාච ආවරණ, සෙරමික්, LT, සිලිකන් කාබයිඩ් SIC, ක්වාර්ට්ස් සහ අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වේෆර් පිරිනමන්නෙමු. දක්ෂ විශේෂඥතාව සහ අති නවීන උපකරණ සමඟින්, ප්රමුඛ පෙළේ දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික ද්රව්ය අධි තාක්ෂණික ව්යවසායයක් වීම අරමුණු කරගනිමින්, අපි සම්මත නොවන නිෂ්පාදන සැකසීමේ විශිෂ්ටත්වය අත්කර ගනිමු.
