අතිශය නිරවද්ය SiC වායු දරණ අදියර
විස්තරාත්මක රූප සටහන
දළ විශ්ලේෂණය
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ අඛණ්ඩ පරිණාමයත් සමඟ, සැකසුම් සහ පරීක්ෂණ උපකරණ සඳහා ඉහළ කාර්ය සාධනයක් අවශ්ය වේ. චලන පාලනය සහ නැනෝමීටර මට්ටමේ ස්ථානගත කිරීම පිළිබඳ පුළුල් විශේෂඥතාවක් මත ගොඩනඟමින්, අපි තල H-වර්ගයේ ද්විත්ව-අක්ෂ අතිශය නිරවද්යතා වායු-දරණ වේදිකාවක් සංවර්ධනය කර ඇත්තෙමු.
සීමිත මූලද්රව්ය-ප්රශස්තිකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) සෙරමික් ව්යුහයක් සහ වන්දි ලබා දෙන වායු-දරණ තාක්ෂණය සමඟින් නිර්මාණය කර ඇති මෙම වේදිකාව කැපී පෙනෙන නිරවද්යතාවය, දෘඩතාව සහ ගතික ප්රතිචාරය ලබා දෙයි. එය ඉතා සුදුසු වන්නේ:
-
අර්ධ සන්නායක සැකසීම සහ පරීක්ෂා කිරීම
ක්ෂුද්ර/නැනෝ නිෂ්පාදනය සහ මිනුම් විද්යාව
නැනෝමීටර පරිමාණයෙන් මැස්සන් කැපීම සහ ඔප දැමීම
අධිවේගී නිරවද්යතා ස්කෑන් කිරීම
මූලික ලක්ෂණ
-
SiC වායු දරණ මාර්ගෝපදේශ මාර්ගයඅතිශය ඉහළ තද බව සහ නිරවද්යතාවය සඳහා
-
ඉහළ ගතිකය: වේගය 1 m/s දක්වා, ත්වරණය 4 g දක්වා, වේගවත් තැන්පත් වීම
-
ද්විත්ව ධාවක ගැන්ට්රි Y-අක්ෂයඉහළ බර ධාරිතාවක් සහ ස්ථාවරත්වයක් සහතික කරයි
-
කේතක විකල්ප: දෘශ්ය ග්රේටින් හෝ ලේසර් ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටරය
-
ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්යතාවය: ±0.15 μm;පුනරාවර්තන හැකියාව: ±75 nm
-
ප්රශස්ත කේබල් මාර්ගගත කිරීමපිරිසිදු නිර්මාණය සහ දිගුකාලීන විශ්වසනීයත්වය සඳහා
-
අභිරුචිකරණය කළ හැකි වින්යාසයන්යෙදුම්-විශේෂිත අවශ්යතා සඳහා
අතිශය නිරවද්ය නිර්මාණය සහ සෘජු-ධාවනය, ස්පර්ශ නොවන ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය
-
SiC සෙරමික් රාමුව: ඇලුමිනියම් මිශ්ර ලෝහයේ දෘඪතාව ~5× සහ තාප ප්රසාරණය අඩු වීම ~5×, අධිවේගී ස්ථායිතාව සහ තාප ශක්තිමත් බව සහතික කරයි.
-
වන්දි ගෙවන ලද වාතය දරණ: හිමිකාර නිර්මාණය දෘඪතාව, බර පැටවීමේ ධාරිතාව සහ චලන ස්ථායිතාව වැඩි දියුණු කරයි.
-
ගතික කාර්ය සාධනය: 1 m/s ප්රවේගය සහ 4 g ත්වරණයට සහය දක්වයි, ඉහළ ප්රතිදාන ක්රියාවලීන් සඳහා වඩාත් සුදුසුය.
-
බාධාවකින් තොරව ඒකාබද්ධ කිරීම: කම්පන හුදකලා පද්ධති, භ්රමණ අදියර, ඇලවීමේ මොඩියුල සහ වේෆර් හැසිරවීමේ වේදිකා සමඟ අනුකූල වේ.
-
කේබල් කළමනාකරණය: පාලිත නැමීමේ අරය දීර්ඝ සේවා කාලය සඳහා ආතතිය අවම කරයි.
-
හර රහිත රේඛීය මෝටරය: ශුන්ය දඟර බලයක් සහිත සුමට චලිතය.
-
බහු-මෝටර් ධාවකය: ලෝඩ්-ප්ලේන් මෝටරයේ ස්ථානගත කිරීම සෘජු බව, පැතලි බව සහ කෝණික නිරවද්යතාවය වැඩි දියුණු කරයි.
-
තාප හුදකලාව: මෝටර වේදිකා ව්යුහයෙන් හුදකලා කර ඇත; අධි කාර්යබහුල චක්ර සඳහා විකල්ප වාතය හෝ ජල සිසිලනය.
පිරිවිතර
| ආකෘතිය | 400-400 | 500-500 | 600-600 |
|---|---|---|---|
| අක්ෂ | X (ස්කෑන්) / Y (පියවර) | X (ස්කෑන්) / Y (පියවර) | X (ස්කෑන්) / Y (පියවර) |
| ගමන් (මි.මී.) | 400 / 400 | 500 / 500 | 600 / 600 |
| නිරවද්යතාවය (μm) | ±0.15 | ±0.2 යනු කුමක්ද? | ±0.2 යනු කුමක්ද? |
| පුනරාවර්තන හැකියාව (nm) | ±75 | ±100 | ±100 |
| විභේදනය (nm) | 0.3 | 0.3 | 0.3 |
| උපරිම වේගය (m/s) | 1 | 1 | 1 |
| ත්වරණය (g) | 4 | 4 | 4 |
| සෘජු බව (μm) | ±0.2 යනු කුමක්ද? | ±0.3 යනු කුමක්ද? | ±0.4 |
| ස්ථායිතාව (nm) | ±5 | ±5 | ±5 |
| උපරිම බර (kg) | 20 | 20 | 20 |
| තාරතාව/රෝල්/යා (චාප-තත්පර) | ±1 ±1 | ±1 ±1 | ±1 ±1 |
පරීක්ෂණ කොන්දේසි:
-
වායු සැපයුම: පිරිසිදු, වියලි; පිනි ලක්ෂ්යය ≤ 0°F; අංශු පෙරීම ≤ 0.25 μm; හෝ 99.99% නයිට්රජන්.
-
20±1 °C, 40-60% RH හි වේදිකා මධ්යයට ඉහළින් 25 mm මනින ලද නිරවද්යතාවය.
අයදුම්පත්
-
අර්ධ සන්නායක ලිතෝග්රැෆි, පරීක්ෂාව සහ වේෆර් හැසිරවීම
-
ක්ෂුද්ර/නැනෝ නිෂ්පාදනය සහ නිරවද්ය මිනුම් විද්යාව
-
ඉහළ මට්ටමේ දෘෂ්ටි විද්යාව නිෂ්පාදනය සහ අන්තර්-අන්තර්මිතිය
-
අභ්යවකාශ හා උසස් විද්යාත්මක පර්යේෂණ
නිතර අසන ප්රශ්න - සිලිකන් කාබයිඩ් වායු දරණ අදියර
1. වාතය දරණ වේදිකාවක් යනු කුමක්ද?
වාතය දරණ වේදිකාවක්, වේදිකාව සහ මාර්ගෝපදේශක මාර්ගය අතර පීඩනයට ලක් වූ වාතයේ තුනී පටලයක් භාවිතා කරමින්,ඝර්ෂණ රහිත, ඇඳීම් රහිත සහ අතිශය සුමට චලිතයසාම්ප්රදායික යාන්ත්රික බෙයාරිං මෙන් නොව, එය ඇලෙන සුළු ලිස්සා යාම ඉවත් කරයි, නැනෝමීටර මට්ටමේ නිරවද්යතාවයක් ලබා දෙයි, සහ දිගුකාලීන විශ්වසනීයත්වයට සහාය වේ.
2. වේදිකා ව්යුහය සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) භාවිතා කරන්නේ ඇයි?
-
ඉහළ තද බව: ඇලුමිනියම් මිශ්ර ලෝහයේ ~5×, ගතික චලිතයේදී විරූපණය අවම කරයි.
-
අඩු තාප ප්රසාරණය: ඇලුමිනියම් වලට වඩා ~5× අඩු, උෂ්ණත්ව විචලනයන් යටතේ නිරවද්යතාවය පවත්වා ගැනීම.
-
සැහැල්ලු: වානේ හා සසඳන විට අඩු ඝනත්වය, අධිවේගී සහ අධිවේගී ක්රියාකාරිත්වය සක්රීය කරයි.
-
විශිෂ්ට ස්ථාවරත්වයක්: අතිශය නිරවද්ය ස්ථානගත කිරීම සඳහා සුපිරි තෙතමනය සහ දෘඩතාව.
3. වේදිකාවට ලිහිසිකරණය හෝ නඩත්තුව අවශ්යද?
සාම්ප්රදායික ලිහිසි තෙල් අවශ්ය නොවේ, මන්ද එහි ඇති බැවිනියාන්ත්රික සම්බන්ධතාවක් නැතනිර්දේශිත නඩත්තු කටයුතුවලට ඇතුළත් වන්නේ:
-
සැපයීමපිරිසිදු, වියළි සම්පීඩිත වාතය හෝ නයිට්රජන්
-
පෙරහන් සහ වියළන යන්ත්ර වරින් වර පරීක්ෂා කිරීම
-
කේබල් සහ සිසිලන පද්ධති නිරීක්ෂණය කිරීම
4. වායු සැපයුම් අවශ්යතා මොනවාද?
-
පිනි ලක්ෂ්යය: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
-
අංශු පෙරීම: ≤ 0.25 μm
-
පිරිසිදු, වියළි වාතය හෝ 99.99% පිරිසිදු නයිට්රජන්
-
අවම උච්චාවචනයන් සහිත ස්ථාවර පීඩනය
අපි ගැන
XKH විශේෂ දෘශ්ය වීදුරු සහ නව ස්ඵටික ද්රව්යවල අධි තාක්ෂණික සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. අපගේ නිෂ්පාදන දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සහ හමුදාව සඳහා සේවය කරයි. අපි Sapphire දෘශ්ය සංරචක, ජංගම දුරකථන කාච ආවරණ, සෙරමික්, LT, සිලිකන් කාබයිඩ් SIC, ක්වාර්ට්ස් සහ අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වේෆර් පිරිනමන්නෙමු. දක්ෂ විශේෂඥතාව සහ අති නවීන උපකරණ සමඟින්, ප්රමුඛ පෙළේ දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික ද්රව්ය අධි තාක්ෂණික ව්යවසායයක් වීම අරමුණු කරගනිමින්, අපි සම්මත නොවන නිෂ්පාදන සැකසීමේ විශිෂ්ටත්වය අත්කර ගනිමු.
