ස්ඵටික දිශානතිය මැනීම සඳහා වේෆර් දිශානති පද්ධතිය
උපකරණ හැඳින්වීම
වේෆර් දිශානති උපකරණ යනු එක්ස් කිරණ විවර්තන (XRD) මූලධර්ම මත පදනම් වූ නිරවද්‍ය උපාංග වන අතර ඒවා ප්‍රධාන වශයෙන් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, දෘශ්‍ය ද්‍රව්‍ය, පිඟන් මැටි සහ අනෙකුත් ස්ඵටික ද්‍රව්‍ය කර්මාන්තවල භාවිතා වේ.
මෙම උපකරණ ස්ඵටික දැලිස් දිශානතිය තීරණය කරන අතර නිරවද්‍ය කැපීම හෝ ඔප දැමීමේ ක්‍රියාවලීන් මෙහෙයවයි. ප්‍රධාන ලක්ෂණ අතරට:
- ඉහළ නිරවද්‍යතා මිනුම්:0.001° දක්වා කෝණික විභේදන සහිත ස්ඵටික විද්‍යාත්මක තල නිරාකරණය කිරීමේ හැකියාව ඇත.
- විශාල සාම්පල අනුකූලතාව:සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC), නිල් මැණික් සහ සිලිකන් (Si) වැනි ද්‍රව්‍ය සඳහා සුදුසු, විෂ්කම්භය 450 mm දක්වා සහ බර කිලෝග්‍රෑම් 30 දක්වා වේෆර් සඳහා සහය දක්වයි.
- මොඩියුලර් නිර්මාණය:පුළුල් කළ හැකි ක්‍රියාකාරීත්වයන් අතරට රොකිං වක්‍ර විශ්ලේෂණය, ත්‍රිමාණ මතුපිට දෝෂ සිතියම්ගත කිරීම සහ බහු-නියැදි සැකසුම් සඳහා ගොඩගැසීමේ උපාංග ඇතුළත් වේ.
ප්‍රධාන තාක්ෂණික පරාමිතීන්
| පරාමිති කාණ්ඩය | සාමාන්‍ය අගයන්/වින්‍යාසය |
| එක්ස් කිරණ මූලාශ්‍රය | Cu-Kα (0.4×1 මි.මී. නාභිගත ස්ථානය), 30 kV ත්වරණ වෝල්ටීයතාවය, 0–5 mA වෙනස් කළ හැකි නල ධාරාව |
| කෝණික පරාසය | θ: -10° සිට +50° දක්වා; 2θ: -10° සිට +100° දක්වා |
| නිරවද්‍යතාවය | ඇලවීමේ කෝණ විභේදනය: 0.001°, මතුපිට දෝෂ හඳුනාගැනීම: ±30 චාප තත්පර (රොකින් වක්‍රය) |
| ස්කෑන් කිරීමේ වේගය | ඔමේගා ස්කෑන් තත්පර 5 කින් සම්පූර්ණ දැලිස් දිශානතිය සම්පූර්ණ කරයි; තීටා ස්කෑන් කිරීම විනාඩි 1 ක් ගතවේ. |
| සාම්පල අදියර | V-groove, වායුමය චූෂණ, බහු-කෝණ භ්‍රමණය, අඟල් 2–8 වේෆර් සමඟ අනුකූල වේ. |
| පුළුල් කළ හැකි කාර්යයන් | රොකිං වක්‍ර විශ්ලේෂණය, ත්‍රිමාණ සිතියම්ගත කිරීම, ගොඩගැසීමේ උපාංගය, දෘශ්‍ය දෝෂ හඳුනාගැනීම (සීරීම්, GBs) |
වැඩ කිරීමේ මූලධර්මය
1. එක්ස් කිරණ විවර්තන පදනම
- එක්ස් කිරණ ස්ඵටික දැලිසෙහි පරමාණුක න්‍යෂ්ටි සහ ඉලෙක්ට්‍රෝන සමඟ අන්තර්ක්‍රියා කර විවර්තන රටා ජනනය කරයි. බ්‍රැග්ගේ නියමය (nλ = 2d sinθ) විවර්තන කෝණ (θ) සහ දැලිස් පරතරය (d) අතර සම්බන්ධතාවය පාලනය කරයි.
අනාවරක මගින් මෙම රටා ග්‍රහණය කර ගන්නා අතර, ඒවා ස්ඵටික විද්‍යාත්මක ව්‍යුහය ප්‍රතිනිර්මාණය කිරීම සඳහා විශ්ලේෂණය කෙරේ.
2. ඔමේගා ස්කෑනිං තාක්ෂණය
- ස්ඵටිකය ස්ථාවර අක්ෂයක් වටා අඛණ්ඩව භ්‍රමණය වන අතර X-කිරණ එය ආලෝකමත් කරයි.
- අනාවරක මඟින් බහු ස්ඵටික විද්‍යාත්මක තල හරහා විවර්තන සංඥා එකතු කරන අතර, තත්පර 5 කින් සම්පූර්ණ දැලිස් දිශානතිය තීරණය කිරීමට හැකියාව ලැබේ.
3. රොකින් වක්‍ර විශ්ලේෂණය
- දැලිස් දෝෂ සහ වික්‍රියා තක්සේරු කරමින්, උච්ච පළල (FWHM) මැනීම සඳහා වෙනස් වන X-කිරණ සිදුවීම් කෝණ සහිත ස්ථාවර ස්ඵටික කෝණය.
4. ස්වයංක්‍රීය පාලනය
- PLC සහ ටච්ස්ක්‍රීන් අතුරුමුහුණත් මඟින් සංවෘත-ලූප් පාලනය සඳහා පෙර සැකසූ කැපුම් කෝණ, තත්‍ය කාලීන ප්‍රතිපෝෂණ සහ කැපුම් යන්ත්‍ර සමඟ ඒකාබද්ධ කිරීම සක්‍රීය කරයි.
වාසි සහ විශේෂාංග
1. නිරවද්‍යතාවය සහ කාර්යක්ෂමතාව
- කෝණික නිරවද්‍යතාවය ± 0.001°, දෝෂ හඳුනාගැනීමේ විභේදනය <30 චාප තත්පර.
- ඔමේගා ස්කෑන් වේගය සාම්ප්‍රදායික තීටා ස්කෑන් වලට වඩා 200× වේගවත්ය.
2. මොඩියුලරිටි සහ පරිමාණය කිරීමේ හැකියාව
- විශේෂිත යෙදුම් සඳහා පුළුල් කළ හැකිය (උදා: SiC වේෆර්, ටර්බයින් තල).
- තත්‍ය කාලීන නිෂ්පාදන අධීක්ෂණය සඳහා MES පද්ධති සමඟ ඒකාබද්ධ වේ.
3. අනුකූලතාව සහ ස්ථාවරත්වය
- අක්‍රමවත් හැඩැති සාම්පල (උදා: ඉරිතලා ඇති නිල් මැණික් කුට්ටි) නවාතැන් ගත හැකිය.
- වායු සිසිලන සැලසුම නඩත්තු අවශ්‍යතා අඩු කරයි.
4. බුද්ධිමත් මෙහෙයුම
- එක්-ක්ලික් ක්‍රමාංකනය සහ බහු-කාර්ය සැකසුම්.
- මානව දෝෂ අවම කිරීම සඳහා යොමු ස්ඵටික සමඟ ස්වයංක්‍රීය ක්‍රමාංකනය.
අයදුම්පත්
1. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය
- වේෆර් ඩයිසිං දිශානතිය: ප්‍රශස්ත කැපුම් කාර්යක්ෂමතාව සඳහා Si, SiC, GaN වේෆර් දිශානති තීරණය කරයි.
- දෝෂ සිතියම්ගත කිරීම: චිප් අස්වැන්න වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා මතුපිට සීරීම් හෝ විස්ථාපන හඳුනා ගනී.
2. දෘශ්‍ය ද්‍රව්‍ය
- ලේසර් උපාංග සඳහා රේඛීය නොවන ස්ඵටික (උදා: LBO, BBO).
- LED උපස්ථර සඳහා නිල් මැණික් වේෆර් යොමු මතුපිට සලකුණු කිරීම.
3. පිඟන් මැටි සහ සංයුක්ත
- ඉහළ උෂ්ණත්ව යෙදුම් සඳහා Si3N4 සහ ZrO2 වල ධාන්‍ය දිශානතිය විශ්ලේෂණය කරයි.
4. පර්යේෂණ සහ තත්ත්ව පාලනය
- නව ද්‍රව්‍ය සංවර්ධනය සඳහා විශ්ව විද්‍යාල/රසායනාගාර (උදා: අධි එන්ට්‍රොපි මිශ්‍ර ලෝහ).
- කාණ්ඩ අනුකූලතාව සහතික කිරීම සඳහා කාර්මික QC.
XKH හි සේවාවන්
XKH, ස්ථාපනය, ක්‍රියාවලි පරාමිති ප්‍රශස්තිකරණය, රොකිං වක්‍ර විශ්ලේෂණය සහ 3D මතුපිට දෝෂ සිතියම්ගත කිරීම ඇතුළුව වේෆර් දිශානති උපකරණ සඳහා පුළුල් ජීවන චක්‍ර තාක්ෂණික සහාය ලබා දෙයි. අර්ධ සන්නායක සහ දෘශ්‍ය ද්‍රව්‍ය නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව 30% කට වඩා වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා සකස් කළ විසඳුම් (උදා: ඉන්ගෝට් ස්ටැකිං තාක්ෂණය) සපයනු ලැබේ. කැපවූ කණ්ඩායමක් ස්ථානීය පුහුණුවක් පවත්වන අතර, 24/7 දුරස්ථ සහාය සහ වේගවත් අමතර කොටස් ප්‍රතිස්ථාපනය උපකරණ විශ්වසනීයත්වය සහතික කරයි.
ආශ්රිත නිෂ්පාදන
-
UV ලේසර් නිෂ්පාදක යන්ත්රය සංවේදී ද්‍රව්‍ය H නැත...
-
SiC ස්ඵටික වර්ධන උදුන SiC Ingot වර්ධනය වන 4i...
-
CNC ඉන්ගෝට් රවුම් කිරීමේ යන්ත්රය (නිල් මැණික්, SiC, ... සඳහා)
-
අඟල් 12 සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්‍රීය නිරවද්‍ය ඩයිසිං කියත් සම...
-
දෘඪ සහ... සඳහා නිරවද්‍ය මයික්රොජෙට් ලේසර් පද්ධතිය
-
ලේසර් ව්යාජ විරෝධී සලකුණු කිරීමේ උපකරණ Sap...