අඟල් 4 අඟල් 6 ලිතියම් නියෝබේට් තනි ස්ඵටික පටල LNOI වේෆර්
LNOI ද්‍රව්‍ය සකස් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය ප්‍රධාන වශයෙන් පහත පියවර හතරකට බෙදා ඇත
(1) ඔහු අයන X-කට් ලිතියම් නයෝබේට් ද්‍රව්‍යයට යම් ශක්තියකින් එන්නත් කරන ලද අතර, ලිතියම් නයෝබේට් මතුපිට ස්ථරයට පහළින් යම් ගැඹුරකදී දෝෂ සහිත ස්ථරයට හඳුන්වා දෙන ලදී;
(2) අයන තැන්පත් කරන ලද ලිතියම් නයෝබේට් ද්‍රව්‍ය බන්ධන ව්‍යුහයක් සෑදීම සඳහා ඔක්සයිඩ් තට්ටුවක් සහිත සිලිකන් උපස්ථරයකට බන්ධනය කර ඇත;
(3) He ion implantation මගින් හඳුන්වා දුන් දෝෂයන් පරිණාමය වීම සහ ඉරිතැලීම් සෑදීම සඳහා එකතු කිරීම සඳහා බන්ධන ව්‍යුහය නිර්ණය කරන ලදී. අවසාන වශයෙන්, ලිතියම් නයෝබේට් අවශේෂ ලිතියම් නයෝබේට් පෙති සහ LNOI වේෆර් සෑදීමට දෝෂ සහිත ස්ථරය දිගේ වෙන් කරන ලදී.
LNOI වේෆරයේ යෙදුම් සහ වාසි
1--ලිතියම් නියෝබේට් piezoelectric පටල (LNOI) ඉහළ piezoelectric සංගුණකය සහ පාර විද්යුත් නියත ඇති අතර, යාන්ත්රික ශක්තිය විද්යුත් ශක්තිය බවට හෝ විද්යුත් ශක්තිය යාන්ත්රික ශක්තිය බවට පරිවර්තනය කළ හැක. එබැවින්, පීඩන සංවේදක, ත්වරණ සංවේදක, උෂ්ණත්ව සංවේදක වැනි සංවේදක ක්ෂේත්රයේ බහුලව භාවිතා වේ. මීට අමතරව, lithium niobate piezoelectric පටලය piezoelectric සෙරමික් පරිවර්තක සංකීර්ණ piezoelectric සෙරමික් ෆිල්ටරය වැනි ධ්වනි උපාංග සහ කම්පන උපාංගවලද භාවිතා කළ හැක.
2-lithium niobate piezoelectric පටලයේ ස්ථායීතාවය ද එහි එක් වාසියකි. එහි ස්ඵටික ව්‍යුහයේ ස්ථායීතාවය සහ රසායනික නිෂ්ක්‍රියතාවය නිසා, ලිතියම් නියෝබේට් පීසෝ ඉලෙක්ට්‍රික් පටලයට ඉහළ උෂ්ණත්වය, අධික ආර්ද්‍රතාවය, ප්‍රබල අම්ලය, ප්‍රබල ක්ෂාර සහ වෙනත් කටුක පරිසරයක හොඳ විඛාදන ප්‍රතිරෝධයක් සහ කල්පැවැත්මක් සහිතව ක්‍රියා කළ හැකිය.
3-Lithium niobate piezoelectric පටලය යනු විශිෂ්ට කාර්ය සාධනයක් සහ ස්ථාවරත්වයක් සහිත නව piezoelectric ද්‍රව්‍යයක් වන අතර පුළුල් යෙදුම් අපේක්ෂාවක් ඇත. විද්‍යාවේ සහ තාක්‍ෂණයේ අඛණ්ඩ සංවර්ධනයත් සමඟ, ලිතියම් නියෝබේට් පීසෝ ඉලෙක්ට්‍රික් චිත්‍රපටය වැඩි නගරවල යෙදෙනු ඇත, මිනිසුන්ගේ ජීවිතවලට වඩාත් පහසුවක් සහ නවෝත්පාදනයක් ගෙන එනු ඇත.
විස්තරාත්මක රූප සටහන
