8 අඟල් 200mm Silicon Carbide SiC Wafers 4H-N වර්ගයේ නිෂ්පාදන ශ්‍රේණිය 500um ඝනකම

8 අඟල් 200mm සිලිකන් කාබයිඩ් SiC Wafers 4H-N වර්ගයේ නිෂ්පාදන ශ්‍රේණිය 500um ඝනකම විශේෂාංගිත රූපය

කෙටි විස්තරය:

Shanghai Xinkehui Tech. Co., Ltd උසස් තත්ත්වයේ සිලිකන් කාබයිඩ් වේෆර් සහ N- සහ අර්ධ පරිවාරක වර්ග සහිත අඟල් 8 ක විෂ්කම්භයක් දක්වා උපස්ථර සඳහා හොඳම තේරීම සහ මිල ගණන් ඉදිරිපත් කරයි. කුඩා හා විශාල අර්ධ සන්නායක උපාංග සමාගම් සහ ලොව පුරා පර්යේෂණ විද්‍යාගාර අපගේ සිලිකොන් කාබයිඩ් වේෆර් භාවිතා කරන අතර ඒවා මත රඳා පවතී.

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

200mm අඟල් 8 SiC උපස්ථර පිරිවිතර

ප්රමාණය: අඟල් 8;

විෂ්කම්භය: 200mm ± 0.2;

ඝනකම: 500um±25;

මතුපිට දිශානතිය: 4 දෙසට [11-20]± 0.5°;

නොච් දිශානතිය:[1-100]±1°;

නොච් ගැඹුර: 1±0.25mm;

ක්ෂුද්ර පයිප්ප: <1cm2;

හෙක්ස් තහඩු: කිසිවකට අවසර නැත;

ප්රතිරෝධකතාව: 0.015 ~ 0.028Ω;

EPD:<8000cm2;

TED:<6000cm2

BPD:<2000cm2

TSD:<1000cm2

SF: ප්රදේශය<1%

TTV≤15um;

Warp≤40um;

දුන්න≤25um

බහු ප්රදේශ: ≤5%;

සීරීම්: <5 සහ සමුච්චිත දිග< 1 වේෆර් විෂ්කම්භය;

චිප්ස්/ඉන්ඩන්ට්: කිසිවකුට අවසර නැත D>0.5mm පළල සහ ගැඹුර;

ඉරිතැලීම්: කිසිවක් නැත;

පැල්ලම: නැත

වේෆර් දාරය: චැම්ෆර්;

මතුපිට නිමාව: ද්විත්ව පැති පොලිෂ්, Si මුහුණ CMP;

ඇසුරුම් කිරීම: බහු වේෆර් කැසට් හෝ තනි වේෆර් බහාලුම්;

200mm 4H-SiC ස්ඵටික Mainl සකස් කිරීමේ වත්මන් දුෂ්කරතා

1) උසස් තත්ත්වයේ 200mm 4H-SiC බීජ ස්ඵටික සකස් කිරීම;

2) විශාල ප්රමාණයේ උෂ්ණත්ව ක්ෂේත්රයේ ඒකාකාර නොවන සහ න්යෂ්ටික ක්රියාවලිය පාලනය කිරීම;

3) විශාල කරන ලද ස්ඵටික වර්ධන පද්ධතිවල වායුමය සංරචකවල ප්රවාහන කාර්යක්ෂමතාව සහ පරිණාමය;

4) විශාල ප්රමාණයේ තාප ආතතිය වැඩිවීම නිසා ඇතිවන ස්ඵටික ඉරිතැලීම් සහ දෝෂ පැතිරීම.

මෙම අභියෝග ජය ගැනීමට සහ උසස් තත්ත්වයේ 200mm SiC වේෆර් විසඳුම් යෝජනා කරනු ලැබේ:

200mm බීජ ස්ඵටික සකස් කිරීම, සුදුසු උෂ්ණත්ව ක්ෂේත්‍ර ප්‍රවාහ ක්ෂේත්‍රය සහ ප්‍රසාරණය වන එකලස් කිරීම සම්බන්ධයෙන් අධ්‍යයනය කර, ස්ඵටිකවල ගුණාත්මක භාවය සහ ප්‍රසාරණය වන ප්‍රමාණය සැලකිල්ලට ගැනීමට සැලසුම් කර ඇත. 150mm SiC se:d ස්ඵටිකයකින් පටන් ගෙන, එය 200mm දක්වා ළඟා වන තෙක් SiC ස්ඵටිකීකරණය ක්‍රමයෙන් පුළුල් කිරීමට බීජ ස්ඵටික පුනරාවර්තනය සිදු කරන්න; බහු ස්ඵටික වර්ධනය සහ සැකසුම් හරහා, ක්‍රිස්ටල් ප්‍රසාරණය වන ප්‍රදේශයේ ස්ඵටික ගුණය ක්‍රමයෙන් ප්‍රශස්ත කිරීම සහ 200mm බීජ ස්ඵටිකවල ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම.

200mm සන්නායක ස්ඵටික සහ උපස්ථර සකස් කිරීම සම්බන්ධයෙන්, පර්යේෂණ මගින් විශාල ප්‍රමාණයේ ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා උෂ්ණත්වය සහ ප්‍රවාහ ක්ෂේත්‍ර සැලසුම ප්‍රශස්ත කර ඇත, 200mm සන්නායක SiC ස්ඵටික වර්ධනයක් සිදු කරයි, සහ මාත්‍රණ ඒකාකාරිත්වය පාලනය කරයි. ස්ඵටිකයේ රළු සැකසුම් සහ හැඩගැස්වීමෙන් පසුව, සම්මත විෂ්කම්භයක් සහිත 8-අංක විද්යුත් සන්නායක 4H-SiC ingot එකක් ලබා ගන්නා ලදී. 525um ඝනකමකින් යුත් SiC 200mm වේෆර් ලබා ගැනීම සඳහා කැපීම, ඇඹරීම, ඔප දැමීම, සැකසීමෙන් පසුව