නිල් මැණික් SiC Si සඳහා අයන කදම්භ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රය
විස්තරාත්මක රූප සටහන
අයන කදම්භ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රයේ නිෂ්පාදන දළ විශ්ලේෂණය
අයන කදම්භ රූපකරණ සහ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රය අයන ඉසීමේ මූලධර්මය මත පදනම් වේ. ඉහළ රික්තක කුටියක් තුළ, අයන ප්‍රභවයක් ප්ලාස්මා ජනනය කරයි, එය අධි ශක්ති අයන කදම්භයක් බවට වේගවත් වේ. මෙම කදම්භය දෘශ්‍ය සංරචකයේ මතුපිටට බෝම්බ හෙලන අතර, අතිශය නිරවද්‍ය මතුපිට නිවැරදි කිරීම සහ නිමාව ලබා ගැනීම සඳහා පරමාණුක පරිමාණයෙන් ද්‍රව්‍ය ඉවත් කරයි.
ස්පර්ශ නොවන ක්‍රියාවලියක් ලෙස, අයන කදම්භ ඔප දැමීම යාන්ත්‍රික ආතතිය ඉවත් කරන අතර භූගත හානි වළක්වයි, තාරකා විද්‍යාව, අභ්‍යවකාශය, අර්ධ සන්නායක සහ උසස් පර්යේෂණ යෙදුම්වල භාවිතා වන ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් දෘෂ්ටි විද්‍යාව නිෂ්පාදනය සඳහා එය වඩාත් සුදුසු වේ.
අයන කදම්භ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රයේ ක්‍රියාකාරී මූලධර්මය
අයන පරම්පරාව
නිෂ්ක්‍රීය වායුව (උදා: ආගන්) රික්තක කුටියට හඳුන්වා දී විද්‍යුත් විසර්ජනයක් හරහා අයනීකරණය කර ප්ලාස්මා සාදයි.
ත්වරණය සහ කදම්භ සැකැස්ම
අයන ඉලෙක්ට්‍රෝන වෝල්ට් (eV) සිය ගණනක් හෝ දහස් ගණනක් දක්වා ත්වරණය කර ස්ථාවර, නාභිගත කදම්භ ස්ථානයක් බවට හැඩගස්වනු ලැබේ.
ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම
අයන කදම්භය රසායනික ප්‍රතික්‍රියා ආරම්භ නොකර මතුපිටින් පරමාණු භෞතිකව විසිරී යයි.
දෝෂ හඳුනාගැනීම සහ මාර්ග සැලසුම් කිරීම
මතුපිට රූප අපගමනයන් අන්තර්-ෆෙරෝමිතිය භාවිතයෙන් මනිනු ලැබේ. රැඳී සිටින වේලාවන් තීරණය කිරීමට සහ ප්‍රශස්ත මෙවලම් මාර්ග ජනනය කිරීමට ඉවත් කිරීමේ කාර්යයන් යොදනු ලැබේ.
සංවෘත-ලූප් නිවැරදි කිරීම
RMS/PV නිරවද්‍යතා ඉලක්ක සපුරා ගන්නා තෙක් සැකසුම් සහ මිනුම්වල පුනරාවර්තන චක්‍ර දිගටම පවතී.
අයන කදම්භ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රයේ ප්‍රධාන ලක්ෂණ
විශ්වීය මතුපිට අනුකූලතාව- පැතලි, ගෝලාකාර, ගෝලාකාර සහ නිදහස් ආකෘති පෘෂ්ඨ ක්‍රියාවලි කරයි.
අතිශය ස්ථායී ඉවත් කිරීමේ අනුපාතය– උප-නැනෝමීටර රූප නිවැරදි කිරීම සක්‍රීය කරයි
හානි-නිදහස් සැකසුම්- භූගත දෝෂ හෝ ව්‍යුහාත්මක වෙනස්කම් නොමැත.
ස්ථාවර කාර්ය සාධනය- විවිධ දෘඪතාවන්ගෙන් යුත් ද්‍රව්‍ය මත සමානව හොඳින් ක්‍රියා කරයි
අඩු/මධ්‍යම සංඛ්‍යාත නිවැරදි කිරීම- මධ්‍යම/අධි-සංඛ්‍යාත කෞතුක වස්තු ජනනය නොකර දෝෂ ඉවත් කරයි.
අඩු නඩත්තු අවශ්‍යතාවයක්- අවම අක්‍රීය කාලයක් සහිත දිගු අඛණ්ඩ ක්‍රියාකාරිත්වය
අයන කදම්භ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රයේ ප්‍රධාන තාක්ෂණික පිරිවිතර
| අයිතමය | පිරිවිතර |
| සැකසුම් ක්‍රමය | ඉහළ රික්තක පරිසරයක අයන ඉසිනය |
| සැකසුම් වර්ගය | ස්පර්ශ නොවන මතුපිට ගණනය කිරීම සහ ඔප දැමීම |
| උපරිම වැඩ කොටස ප්‍රමාණය | Φ4000 මි.මී. |
| චලන අක්ෂ | 3-අක්ෂ / 5-අක්ෂ |
| ඉවත් කිරීමේ ස්ථායිතාව | ≥95% |
| මතුපිට නිරවද්‍යතාවය | PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (සාමාන්‍ය RMS < 1 nm; PV < 15 nm) |
| සංඛ්‍යාත නිවැරදි කිරීමේ හැකියාව | මධ්‍ය/ඉහළ සංඛ්‍යාත දෝෂ හඳුන්වා නොදී අඩු-මධ්‍යම සංඛ්‍යාත දෝෂ ඉවත් කරයි. |
| අඛණ්ඩ ක්‍රියාකාරිත්වය | රික්ත නඩත්තුවකින් තොරව සති 3–5 |
| නඩත්තු පිරිවැය | අඩු |
අයන කදම්භ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රයේ සැකසුම් හැකියාවන්
සහාය දක්වන මතුපිට වර්ග
සරල: පැතලි, ගෝලාකාර, ප්‍රිස්මය
සංකීර්ණය: සමමිතික/අසමමිතික ගෝලය, අක්ෂයෙන් පිටත ගෝලය, සිලින්ඩරාකාර
විශේෂ: අතිශය තුනී ප්‍රකාශ විද්‍යාව, ස්ලැට් ප්‍රකාශ විද්‍යාව, අර්ධගෝලාකාර ප්‍රකාශ විද්‍යාව, අනුකූලතා ප්‍රකාශ විද්‍යාව, අදියර තහඩු, නිදහස් ආකෘති පෘෂ්ඨ
සහාය දක්වන ද්‍රව්‍ය
දෘශ්‍ය වීදුරු: ක්වාර්ට්ස්, ක්ෂුද්‍ර ස්ඵටික, K9, ආදිය.
අධෝරක්ත ද්‍රව්‍ය: සිලිකන්, ජර්මනියම්, ආදිය.
ලෝහ: ඇලුමිනියම්, මල නොබැඳෙන වානේ, ටයිටේනියම් මිශ්‍ර ලෝහ ආදිය.
ස්ඵටික: YAG, තනි-ස්ඵටික සිලිකන් කාබයිඩ්, ආදිය.
දෘඩ/බිඳෙන සුළු ද්‍රව්‍ය: සිලිකන් කාබයිඩ්, ආදිය.
මතුපිට ගුණාත්මකභාවය / නිරවද්‍යතාවය
PV < 10 nm
ආර්එම්එස් ≤ 0.5 නැනෝමීටර්
අයන කදම්භ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රයේ සැකසුම් නඩු අධ්‍යයන
1 වන අවස්ථාව – සම්මත පැතලි කැඩපත
වැඩ කොටස: D630 mm ක්වාර්ට්ස් පැතලි
ප්‍රතිඵලය: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm
අවස්ථාව 2 – එක්ස් කිරණ පරාවර්තක දර්පණය
වැඩ කොටස: 150 × 30 මි.මී. සිලිකන් පැතලි
ප්‍රතිඵලය: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; බෑවුම 0.13 µrad
3 වන අවස්ථාව - අක්ෂයෙන් පිටත දර්පණය
වැඩ කොටස: D326 mm අක්ෂයෙන් පිටත බිම් දර්පණය
ප්‍රතිඵලය: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm
ක්වාර්ට්ස් වීදුරු පිළිබඳ නිතර අසන ප්‍රශ්න
නිතර අසන ප්‍රශ්න - අයන කදම්භ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රය
Q1: අයන කදම්භ ඔප දැමීම යනු කුමක්ද?
ඒ 1:අයන කදම්භ ඔප දැමීම යනු ස්පර්ශ නොවන ක්‍රියාවලියක් වන අතර එය වැඩ කොටස් මතුපිටකින් ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම සඳහා නාභිගත අයන කදම්භයක් (ආගන් අයන වැනි) භාවිතා කරයි. අයන වේගවත් කර මතුපිට දෙසට යොමු කර ඇති අතර එමඟින් පරමාණුක මට්ටමේ ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම සිදු වන අතර එමඟින් අතිශය සුමට නිමාවක් ලැබේ. මෙම ක්‍රියාවලිය යාන්ත්‍රික ආතතිය සහ භූගත හානි ඉවත් කරයි, එය නිරවද්‍ය දෘශ්‍ය සංරචක සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.
Q2: අයන කදම්භ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රයට කුමන ආකාරයේ මතුපිට සැකසීමට හැකිද?
ඒ 2:එමඅයන කදම්භ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රයසරල දෘශ්‍ය සංරචක ඇතුළුව විවිධ පෘෂ්ඨ සැකසිය හැක.පැතලි, ගෝල සහ ප්‍රිස්ම, මෙන්ම සංකීර්ණ ජ්‍යාමිතීන් වැනිඅක්ෂයෙන් පිටත අක්ෂ ගෝල, සහනිදහස් ආකෘති මතුපිට. එය විශේෂයෙන් දෘශ්‍ය වීදුරු, අධෝරක්ත ප්‍රකාශ විද්‍යාව, ලෝහ සහ දෘඩ/බිඳෙන සුළු ද්‍රව්‍ය වැනි ද්‍රව්‍ය මත ඵලදායී වේ.
Q3: අයන කදම්භ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රයට වැඩ කළ හැකි ද්‍රව්‍ය මොනවාද?
A3:එමඅයන කදම්භ ඔප දැමීමේ යන්ත්‍රයපුළුල් පරාසයක ද්‍රව්‍ය ඔප දැමිය හැකිය, ඒවා අතර:
-
දෘශ්‍ය වීදුරු: ක්වාර්ට්ස්, ක්ෂුද්‍ර ස්ඵටික, K9, ආදිය.
-
අධෝරක්ත ද්‍රව්‍ය: සිලිකන්, ජර්මනියම්, ආදිය.
-
ලෝහ: ඇලුමිනියම්, මල නොබැඳෙන වානේ, ටයිටේනියම් මිශ්‍ර ලෝහ ආදිය.
-
ස්ඵටික ද්‍රව්‍ය: YAG, තනි-ස්ඵටික සිලිකන් කාබයිඩ්, ආදිය.
-
අනෙකුත් දෘඩ/බිඳෙන සුළු ද්‍රව්‍ය: සිලිකන් කාබයිඩ්, ආදිය.
අපි ගැන
XKH විශේෂ දෘශ්‍ය වීදුරු සහ නව ස්ඵටික ද්‍රව්‍යවල අධි තාක්ෂණික සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වයි. අපගේ නිෂ්පාදන දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සහ හමුදාව සඳහා සේවය කරයි. අපි Sapphire දෘශ්‍ය සංරචක, ජංගම දුරකථන කාච ආවරණ, සෙරමික්, LT, සිලිකන් කාබයිඩ් SIC, ක්වාර්ට්ස් සහ අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වේෆර් පිරිනමන්නෙමු. දක්ෂ විශේෂඥතාව සහ අති නවීන උපකරණ සමඟින්, ප්‍රමුඛ පෙළේ දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික ද්‍රව්‍ය අධි තාක්ෂණික ව්‍යවසායයක් වීම අරමුණු කරගනිමින්, අපි සම්මත නොවන නිෂ්පාදන සැකසීමේ විශිෂ්ටත්වය අත්කර ගනිමු.
