අඟල් 8 SiC නිවේදනයක දිගුකාලීන ස්ථාවර සැපයුමක්

දැනට, අපගේ සමාගමට අඟල් 8N වර්ගයේ SiC වේෆර් කුඩා කාණ්ඩයක් සැපයීම දිගටම කරගෙන යා හැක, ඔබට සාම්පල අවශ්‍යතා තිබේ නම්, කරුණාකර මාව සම්බන්ධ කර ගැනීමට නිදහස් වන්න. අප සතුව නැව්ගත කිරීමට සූදානම් සාම්පල වේෆර් කිහිපයක් තිබේ.

අඟල් 8 SiC නිවේදනයක දිගුකාලීන ස්ථාවර සැපයුමක්
අඟල් 8 SiC නිවේදනයක දිගුකාලීන ස්ථාවර සැපයුම1

අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය ක්ෂේත්‍රයේ, සමාගම විශාල ප්‍රමාණයේ SiC ස්ඵටික පර්යේෂණ සහ සංවර්ධනයේ ප්‍රධාන ඉදිරි ගමනක් සිදු කර ඇත. විෂ්කම්භය විශාල කිරීමේ බහු වටයකින් පසු තමන්ගේම බීජ ස්ඵටික භාවිතා කිරීමෙන්, සමාගම අඟල් 8 N-වර්ගයේ SiC ස්ඵටික සාර්ථකව වගා කර ඇති අතර, එය අඟල් 8 SIC ස්ඵටිකවල වර්ධන ක්‍රියාවලියේදී අසමාන උෂ්ණත්ව ක්ෂේත්‍රය, ස්ඵටික ඉරිතැලීම සහ වායු අදියර අමුද්‍රව්‍ය බෙදා හැරීම වැනි දුෂ්කර ගැටළු විසඳන අතර විශාල ප්‍රමාණයේ SIC ස්ඵටික සහ ස්වයංක්‍රීය සහ පාලනය කළ හැකි සැකසුම් තාක්ෂණයේ වර්ධනය වේගවත් කරයි. SiC තනි ස්ඵටික උපස්ථර කර්මාන්තයේ සමාගමේ මූලික තරඟකාරිත්වය බෙහෙවින් වැඩි දියුණු කරයි. ඒ සමඟම, සමාගම විශාල ප්‍රමාණයේ සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථර සකස් කිරීමේ පර්යේෂණාත්මක රේඛාවේ තාක්‍ෂණය සහ ක්‍රියාවලිය සමුච්චය කිරීම සක්‍රීයව ප්‍රවර්ධනය කරයි, ඉහළ සහ පහළ ක්ෂේත්‍රවල තාක්ෂණික හුවමාරුව සහ කාර්මික සහයෝගීතාවය ශක්තිමත් කරයි, සහ නිෂ්පාදන කාර්ය සාධනය නිරන්තරයෙන් පුනරාවර්තනය කිරීමට ගනුදෙනුකරුවන් සමඟ සහයෝගයෙන් කටයුතු කරයි, සහ සිලිකන් කාබයිඩ් ද්‍රව්‍යවල කාර්මික යෙදුමේ වේගය ඒකාබද්ධව ප්‍රවර්ධනය කරයි.

අඟල් 8 N-වර්ගයේ SiC DSP පිරිවිතර

අංකය අයිතමය ඒකකය නිෂ්පාදනය පර්යේෂණ ඩමී
1. පරාමිතීන්
1.1 ශ්‍රේණිය බහු වර්ගය -- 4H 4H 4H
1.2 ශ්‍රේණිය මතුපිට දිශානතිය ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5
2. විදුලි පරාමිතිය
2.1 ශ්‍රේණිය මාත්‍රකය -- n-වර්ගයේ නයිට්‍රජන් n-වර්ගයේ නයිට්‍රජන් n-වර්ගයේ නයිට්‍රජන්
2.2 2.2 ශ්‍රේණිය ප්‍රතිරෝධකතාව ඕම් ·සෙ.මී. 0.015~0.025 0.01~0.03 NA
3. යාන්ත්‍රික පරාමිතිය
3.1. විෂ්කම්භය mm 200±0.2 200±0.2 200±0.2
3.2 ඝණකම μm 500±25 500±25 500±25
3.3. නොච් දිශානතිය ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4. නොච් ගැඹුර mm 1 ~ 1.5 1 ~ 1.5 1 ~ 1.5
3.5 එල්ටීවී μm ≤5(මි.මී. 10*මි.මී. 10) ≤5(මි.මී. 10*මි.මී. 10) ≤10(මි.මී. 10*මි.මී. 10)
3.6. ටීටීවී μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7. දුන්න μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 3.8 වෝර්ප් μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 මාස්ටර් ඒඑෆ්එම් nm රා≤0.2 රා≤0.2 රා≤0.2
4. ව්‍යුහය
4.1 ශ්‍රේණිය ක්ෂුද්‍ර පයිප්ප ඝනත්වය ඉඒ/සෙ.මී2 ≤2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 ශ්‍රේණිය ලෝහ අන්තර්ගතය පරමාණු/සෙ.මී.2 ≤1E11 යනු කුමක්ද? ≤1E11 යනු කුමක්ද? NA
4.3 ශ්‍රේණිය ටීඑස්ඩී ඉඒ/සෙ.මී2 ≤500 ≤500 ට වඩා ≤1000 ≤ NA
4.4 ශ්‍රේණිය බීපීඩී ඉඒ/සෙ.මී2 ≤2000 ≤2000 ≤5000 ≤2000 ට වඩා වැඩියි NA
4.5 ටෙඩ් ඉඒ/සෙ.මී2 ≤7000 ක් ≤10000 NA
5. ධනාත්මක ගුණාත්මකභාවය
5.1 5.1 ඉදිරිපස -- Si Si Si
5.2 5.2 මතුපිට නිමාව -- සි-ෆේස් CMP සි-ෆේස් CMP සි-ෆේස් CMP
5.3. අංශුව ea/වේෆර් ≤100(ප්‍රමාණය≥0.3μm) NA NA
5.4 ශ්‍රේණිය සීරීම ea/වේෆර් ≤5,මුළු දිග ≤200mm NA NA
5.5 ශ්‍රේණිය දාරය
චිප්ස්/ඉන්ඩෙන්ට්ස්/ඉරිතැලීම්/පැල්ලම්/දූෂණය
-- කිසිවක් නැත කිසිවක් නැත NA
5.6 ශ්‍රේණිය බහු-වර්ගයේ ප්‍රදේශ -- කිසිවක් නැත ප්‍රදේශය ≤10% ප්‍රදේශය ≤30%
5.7 ශ්‍රේණිය ඉදිරිපස සලකුණු කිරීම -- කිසිවක් නැත කිසිවක් නැත කිසිවක් නැත
6. පසුපස ගුණාත්මකභාවය
6.1 ශ්‍රේණිය පසුපස නිමාව -- සී-ෆේස් මන්ත්‍රී සී-ෆේස් මන්ත්‍රී සී-ෆේස් මන්ත්‍රී
6.2 ශ්‍රේණිය සීරීම mm NA NA NA
6.3 ශ්‍රේණිය පිටුපස දෝෂ දාරය
චිප්ස්/ඉන්ඩෙන්ට්ස්
-- කිසිවක් නැත කිසිවක් නැත NA
6.4 ශ්‍රේණිය පිටුපස රළුබව nm රා≤5 රා≤5 රා≤5
6.5 ශ්‍රේණිය පසුපස සලකුණු කිරීම -- නොච් නොච් නොච්
7. දාරය
7.1 දාරය -- චැම්ෆර් චැම්ෆර් චැම්ෆර්
8. පැකේජය
8.1 ඇසුරුම්කරණය -- රික්තකය සමඟ එපි-රෙඩි
ඇසුරුම්කරණය
රික්තකය සමඟ එපි-රෙඩි
ඇසුරුම්කරණය
රික්තකය සමඟ එපි-රෙඩි
ඇසුරුම්කරණය
8.2 යි ඇසුරුම්කරණය -- බහු-වේෆර්
කැසට් ඇසුරුම්
බහු-වේෆර්
කැසට් ඇසුරුම්
බහු-වේෆර්
කැසට් ඇසුරුම්

පළ කිරීමේ කාලය: අප්‍රේල්-18-2023